Keramické elektrostatické skľučovadlo

Procesy výroby polovodičov, najmä spracovanie doštičiek, sa uskutočňujú vo vákuovom prostredí a mechanické upínacie doštičky nesie 

určité riziká. Keď sa sila sústredí na upínací bod, krehké kremíkové doštičky môžu uvoľniť drobné úlomky, čo spôsobí vážne poškodenie výroby doštičiek.

V tomto prípade sa lepšou voľbou stáva keramické elektrostatické skľučovadlo, ktoré doštičku zafixuje elektrostatickou silou. Elektrostatická sila pôsobí na plátok rovnomerne, takže plátok môže byť pripevnený naplocho, čím sa zvyšuje presnosť procesu.

Podľa relevantných výskumných prác má keramické elektrostatické skľučovadlo silnejšie sanie ako iné elektrostatické skľučovadlá. Napríklad keramické elektrostatické skľučovadlo má oveľa silnejšie sanie ako elektrostatické skľučovadlo z PET fólie.

Keramické skľučovadlo je zvyčajne vyrobené z vysokovýkonných keramických materiálov ako Al2O3, AlN alebo SiC, ktoré majú vysokú tepelnú odolnosť, izoláciu a odolnosť proti korózii. Porézne keramické skľučovadlo SiC je nielen stabilné pri extrémnych teplotách, ale tiež účinne zabraňuje degradácii keramického E-skľučovadla v dôsledku chemických činidiel a plazmového leptania počas výrobného procesu.

Regulácia teploty: Vysoká tepelná vodivosť a stabilné tepelné vlastnosti keramických materiálov umožňujú vákuovému skľučovadlu Alumina Ceramic efektívne kontrolovať teplotu, čím optimalizujú rozloženie teploty počas procesu.

Prispôsobivosť podtlaku: Keramické elektrostatické skľučovadlo je vhodné pre vákuové prostredie, najmä pri nízkotlakových a vysoko presných procesoch leptania.

Nízka tvorba častíc: Porézne skľučovadlo SiC Ceramic E-skľučovadlo má hladký povrch, ktorý môže znížiť kontamináciu časticami počas fixácie plátku a pomôcť zlepšiť výťažnosť produktu.

Použitie: Používa sa hlavne pri výrobe polovodičov, odnímateľné keramické elektrostatické skľučovadlo poskytujúce presné polohovanie a stabilitu, čo je veľmi užitočné pre litografiu, leptanie a iné výrobné procesy spracovania polovodičových doštičiek. Zabezpečte, aby bol plátok počas spracovania neporušený a zvýšte kvalitu výroby čipov.

Semiconductor VeTekVýrobne keramických E-skľučovadiel: