Grafitový otočný prijímač

Vysoko čistý grafitový rotačný susceptor hrá dôležitú úlohu v epitaxnom raste nitridu gália (proces MOCVD). VeTek Semiconductor je popredný výrobca a dodávateľ grafitových rotačných susceptorov v Číne. Vyvinuli sme mnoho vysoko čistých grafitových produktov na báze vysoko čistých grafitových materiálov, ktoré plne spĺňajú požiadavky polovodičového priemyslu. VeTek Semiconductor sa teší, že sa stane vaším partnerom v rotačnom grafitovom susceptore.

Odoslať dopyt

Popis produktu

Schematic diagram of the working process of High purity graphite rotating susceptor

Rotačné susceptory z grafitu s vysokou čistotou sa používajú v zariadeniach na spracovanie materiálov v prostredí s vysokou teplotou a vysokým vákuom. Pri epitaxnom raste nitridu gália (proces MOCVD) hrajú podpornú úlohu pri rotácii substrátu. Rotačný grafitový susceptor VeTekSemi má nasledujúce výhody:

● Vysoká čistota: Obsah nečistôt v rotačných susceptoroch z grafitu s vysokou čistotou je nižší ako 5 ppm. Táto úroveň čistoty grafitu môže zabrániť uvoľňovaniu nečistôt pri vysokých teplotách, aby sa zabezpečila čistota procesu nanášania. Preto nie je potrebný žiadny náter na splnenie pracovných požiadaviek.

Grafit vysokej čistoty

● Vynikajúce tepelné vlastnosti: Vysoko čistý grafit má vynikajúcu tepelnú vodivosť a jeho tepelná vodivosť je oveľa vyššia ako u iných materiálov. Koeficient tepelnej rozťažnosti je malý a dokáže udržať stabilný výkon pri zmenách teploty.

● Dobré mechanické vlastnosti: Vysoko čistý grafit má dobrú odolnosť proti opotrebovaniu a húževnatosť, čo môže spĺňať komplexné požiadavky procesu CVD.

● Vynikajúca vodivosť: Vodivosť je stokrát vyššia ako u bežných nekovových minerálov.

● Chemická stabilita: Môže odolávať korózii z kyselín, zásad a organických rozpúšťadiel

Okrem toho, ako popredný výrobca a dodávateľ rotačných susceptorov z grafitu s vysokou čistotou v Číne, VeTek Semiconductor dodáva aj vysokokvalitnéGrafitový susceptor potiahnutý SiC pre MOCVD, Sudový susceptor potiahnutý SiC, Grafitový prijímač potiahnutý TaCaMOCVD SiC povlakový susceptor.Semiconductor VeTeksa zaviazal poskytovať pokročilé technológie a produktové riešenia pre polovodičový priemysel a tiež podporuje prispôsobené služby. Úprimne sa tešíme, že sa staneme vaším dlhodobým partnerom v Číne.

Semiconductor VeTekObchody s produktmi grafitových rotačných susceptorov:

Graphite Susceptor Vetek Semiconductor Graphite Rotating Susceptor test Semiconductor ceramics technology