VeTek Semiconductor sa špecializuje na výrobu ultračistých produktov s povlakom z karbidu kremíka, tieto povlaky sú určené na aplikáciu na čistený grafit, keramiku a žiaruvzdorné kovové komponenty.
Naše vysoko čisté nátery sú primárne určené na použitie v polovodičovom a elektronickom priemysle. Slúžia ako ochranná vrstva pre doštičkové nosiče, susceptory a vyhrievacie prvky a chránia ich pred korozívnym a reaktívnym prostredím, ktoré sa vyskytuje v procesoch ako MOCVD a EPI. Tieto procesy sú neoddeliteľnou súčasťou spracovania plátkov a výroby zariadení. Okrem toho sú naše nátery vhodné pre aplikácie vo vákuových peciach a ohrev vzoriek, kde sa stretávame s vysokým vákuom, reaktívnym a kyslíkovým prostredím.
Vo VeTek Semiconductor ponúkame komplexné riešenie s našimi pokročilými možnosťami strojárskej dielne. To nám umožňuje vyrábať základné komponenty s použitím grafitu, keramiky alebo žiaruvzdorných kovov a nanášať keramické povlaky SiC alebo TaC vo vlastnej réžii. Poskytujeme tiež lakovacie služby pre diely dodané zákazníkom, čím zaisťujeme flexibilitu pri splnení rôznych potrieb.
Naše produkty s povlakom z karbidu kremíka sa široko používajú v epitaxii Si, epitaxii SiC, systéme MOCVD, procese RTP / RTA, procese leptania, procese leptania ICP / PSS, procese rôznych typov LED vrátane modrej a zelenej LED, UV LED a hlbokého UV LED atď., Ktoré sú prispôsobené zariadeniam od LPE, Aixtron, Veeco, Nuflare, TEL, ASM, Annealsys, TSI atď.
Základné fyzikálne vlastnosti CVD SiC povlaku | |
Nehnuteľnosť | Typická hodnota |
Kryštálová štruktúra | FCC β fáza polykryštalická, hlavne (111) orientovaná |
Hustota | 3,21 g/cm³ |
Tvrdosť | Tvrdosť 2500 Vickers (záťaž 500g) |
Veľkosť zrna | 2 ~ 10 μm |
Chemická čistota | 99,99995 % |
Tepelná kapacita | 640 J·kg-1·K-1 |
Teplota sublimácie | 2700 ℃ |
Pevnosť v ohybe | 415 MPa RT 4-bod |
Youngov modul | Ohyb 430 Gpa 4pt, 1300 ℃ |
Tepelná vodivosť | 300W·m-1·K-1 |
Tepelná expanzia (CTE) | 4,5×10-6K-1 |
VeTeK Semiconductor vyrába grafitový ohrievač MOCVD s povlakom SiC, ktorý je kľúčovou súčasťou procesu MOCVD. Na základe vysoko čistého grafitového substrátu je povrch potiahnutý vysoko čistým SiC povlakom, ktorý poskytuje vynikajúcu stabilitu pri vysokých teplotách a odolnosť proti korózii. S vysokou kvalitou a vysoko prispôsobenými produktovými službami je grafitový ohrievač MOCVD SiC Coating od VeTeK Semiconductor ideálnou voľbou na zabezpečenie stability procesu MOCVD a kvality nanášania tenkých vrstiev. VeTeK Semiconductor sa teší, že sa stane vaším partnerom.
Čítaj viacOdoslať dopytVeTek Semiconductor je popredným výrobcom a dodávateľom produktov SiC povlakov v Číne. SiC potiahnutý Epi susceptor od VeTek Semiconductor má najvyššiu úroveň kvality v tomto odvetví, je vhodný pre viaceré štýly epitaxných rastových pecí a poskytuje vysoko prispôsobené produktové služby. VeTek Semiconductor sa teší, že sa stane vaším dlhodobým partnerom v Číne.
Čítaj viacOdoslať dopytSiC povlak Monokryštalický kremík epitaxiálny zásobník je dôležitým doplnkom pre monokryštalický kremík epitaxiálny rast pece, zaisťuje minimálne znečistenie a stabilné epitaxiálne rastové prostredie. Monokryštalická silikónová epitaxná podložka VeTek Semiconductor SiC povlak má mimoriadne dlhú životnosť a poskytuje rôzne možnosti prispôsobenia. VeTek Semiconductor sa teší, že sa stane vaším dlhodobým partnerom v Číne.
Čítaj viacOdoslať dopytPevný nosič SiC doštičiek VeTek Semiconductor je navrhnutý pre prostredia odolné voči vysokej teplote a korózii v polovodičových epitaxných procesoch a je vhodný pre všetky typy procesov výroby doštičiek s vysokými požiadavkami na čistotu. VeTek Semiconductor je popredným dodávateľom doštičiek v Číne a teší sa, že sa stane vaším dlhodobým partnerom v polovodičovom priemysle.
Čítaj viacOdoslať dopytAko popredný výrobca a dodávateľ satelitného krytu s povlakom SiC pre produkty MOCVD v Číne má satelitný kryt s povlakom SiC s povlakom Vetek pre produkty MOCVD extrémne vysokú tepelnú odolnosť, vynikajúcu odolnosť proti oxidácii a vynikajúcu odolnosť proti korózii, čo zohráva nenahraditeľnú úlohu pri zabezpečovaní vysokokvalitnej epitaxie. rast na oblátkach. Vítame vaše ďalšie otázky.
Čítaj viacOdoslať dopytVeTek Semiconductor je popredný výrobca polovodičových zariadení v Číne a profesionálny výrobca a dodávateľ sprchovej hlavice v tvare pevného disku SiC. Naša sprchová hlavica v tvare disku sa široko používa pri výrobe nanášania tenkých vrstiev, ako je proces CVD, aby sa zabezpečila rovnomerná distribúcia reakčného plynu a je jednou z hlavných súčastí CVD pece.
Čítaj viacOdoslať dopyt