Masívna sprchová hlavica v tvare disku SiC

Úlohou sprchovej hlavice v tvare disku v tvare pevného SiC v procese CVD je rovnomerne distribuovať reakčný plyn nad oblasťou depozície tak, aby mohol byť plyn rovnomerne rozptýlený po celom reaktore, aby sa získal plochý a rovnomerný film.

Sprchová hlavica Solid SiC je umiestnená v hornej časti pece CVD alebo v blízkosti vstupu plynu. Reakčný plyn vstupuje do štruktúry v tvare disku cez otvory rozmiestnené na sprchovej hlavici a difunduje po povrchu sprchovej hlavice. Vďaka viackanálovej konštrukcii a rovnomerne rozloženým výstupom môže reakčný plyn prúdiť rovnomerne do celej oblasti reaktora, čím sa zabráni koncentrácii alebo turbulencii a zabezpečí sa konzistencia hrúbky vrstvy nanesenej na substrát.

Štruktúra sprchovej hlavice v tvare polovodičového disku má zároveň difúzny efekt, ktorý môže účinne znížiť rýchlosť prúdenia plynu, aby mohol byť rovnomerne rozptýlený na výstupe z dýzy a znížiť vplyv miestneho plynu. zmeny toku na efekt depozície. Pomáha predchádzať priamemu vplyvu plynu na substrát a predchádza problémom s nerovnomerným ukladaním.

Z hľadiska materiálov je plynová sprchová hlavica Solid SiC vyrobená z vysokoteplotne odolného, ​​korózii odolného a vysokopevnostného materiálu Solid SiC s veľmi vysokou stabilitou. V CVD peci môže stabilne pracovať dlhú dobu a má dlhú životnosť.

Semiconductor VeTekposkytuje vysokokvalitné prispôsobené služby. Tvar a usporiadanie otvorov sprchovej hlavice v tvare disku Solid SiC je možné flexibilne upraviť podľa procesných požiadaviek zákazníka, aby sa prispôsobili rôznym typom plynov, prietokom a materiálom nanášania. Pre rôzne veľkosti reaktorov alebo veľkosti substrátov je možné prispôsobiť sprchové hlavice v tvare kotúča s rôznymi priemermi a rozmiestnením otvorov, aby sa optimalizoval efekt distribúcie plynu.

Semiconductor VeTekmá vyspelé procesy a pokročilé technológie pre produkty sprchovej hlavice Solid SiC Semiconductor, ktoré pomáhajú veľkému počtu zákazníkov dosahovať neustály pokrok v procesoch CVD. VeTek Semiconductor sa teší, že sa stane vaším dlhodobým partnerom v Číne.

Fyzikálne vlastnosti tuhého SiC

Semiconductor VeTekVýrobné závody na výrobu sprchovej hlavice v tvare kotúča z masívneho SiC