Prelom v technológii karbidu tantalu, epitaxné znečistenie SiC znížené o 75 %?

Nemecký výskumný ústav Fraunhofer IISB nedávno urobil prelom vo výskume a vývojitechnológia povlakovania karbidu tantalua vyvinuli roztok na nanášanie sprejom, ktorý je flexibilnejší a šetrnejší k životnému prostrediu ako roztok na nanášanie CVD a bol komerčne využitý.

A domáci vetek polovodič tiež urobil prelom v tejto oblasti, podrobnosti nájdete nižšie.

Fraunhofer IISB:

Vývoj novej technológie povlaku TaC

5. marca podľa médií „Zložený polovodič“, Fraunhofer IISB vyvinul novýtechnológia povlakovania karbidu tantalu (TaC).-Taccotta. Technologická licencia bola prevedená na Nippon Kornmeyer Carbon Group (NKCG) a NKCG začala svojim zákazníkom poskytovať grafitové diely potiahnuté TaC.

Tradičným spôsobom výroby povlakov TaC v priemysle je chemické vylučovanie z pár (CVD), ktoré má nevýhody, ako sú vysoké výrobné náklady a dlhé dodacie lehoty. Okrem toho je metóda CVD náchylná aj na praskanie TaC pri opakovanom zahrievaní a ochladzovaní komponentov. Tieto trhliny odhaľujú základný grafit, ktorý sa časom vážne degraduje a je potrebné ho vymeniť.

Inováciou Taccotty je, že používa metódu nanášania striekaním na vodnej báze, po ktorej nasleduje tepelná úprava na vytvorenie povlaku TaC s vysokou mechanickou stabilitou a nastaviteľnou hrúbkou na povrchu.grafitový substrát. Hrúbku povlaku je možné nastaviť od 20 mikrónov do 200 mikrónov, aby vyhovovala rôznym požiadavkám na aplikáciu.

Procesná technológia TaC vyvinutá spoločnosťou Fraunhofer IISB dokáže upraviť požadované vlastnosti povlaku, ako je hrúbka, ako je uvedené nižšie, v rozsahu od 35 μm do 110 μm

Striekací náter Taccotta má konkrétne nasledujúce kľúčové vlastnosti a výhody:

● Šetrnejší k životnému prostrediu: S vodou riediteľným nástrekom je táto metóda šetrnejšia k životnému prostrediu a ľahko sa industrializuje;

● Flexibilita: Technológia Taccotta sa dokáže prispôsobiť komponentom rôznych veľkostí a geometrií, čo umožňuje čiastočné potiahnutie a renováciu komponentov, čo pri CVD nie je možné.

● Znížené znečistenie tantalom: Grafitové komponenty s povlakom Taccotta sa používajú pri epitaxnej výrobe SiC a znečistenie tantalom je znížené o 75 % v porovnaní s existujúcimiCVD povlaky.

● Odolnosť proti opotrebovaniu: Testy proti poškriabaniu ukazujú, že zvýšenie hrúbky povlaku môže výrazne zlepšiť odolnosť proti opotrebovaniu.

Scratch test

Uvádza sa, že technológia bola propagovaná na komercializáciu spoločnosťou NKCG, spoločným podnikom zameraným na poskytovanie vysokovýkonných grafitových materiálov a súvisiacich produktov. NKCG sa bude v budúcnosti dlhodobo podieľať aj na vývoji technológie Taccotta. Spoločnosť začala svojim zákazníkom poskytovať grafitové komponenty založené na technológii Taccotta.

Vetek Semiconductor podporuje lokalizáciu TaC

Začiatkom roku 2023 spoločnosť vetek semiconductor uviedla na trh novú generáciuRast kryštálov SiCmateriál tepelného poľa -porézny karbid tantalu.

Podľa správ, vetek semiconductor spustil prielom vo vývojiporézny karbid tantalus veľkou pórovitosťou prostredníctvom nezávislého technologického výskumu a vývoja. Jeho pórovitosť môže dosiahnuť až 75 %, čím dosahuje medzinárodné vedúce postavenie.