Čína UV LED Susceptor výrobca, dodávateľ, továreň

VeTek Semiconductor je výrobca špecializujúci sa na UV LED susceptory, má dlhoročné skúsenosti s výskumom, vývojom a výrobou LED EPI susceptorov a bol uznaný mnohými zákazníkmi v tomto odvetví.

LED, teda polovodičová dióda vyžarujúca svetlo, fyzikálna podstata jej luminiscencie spočíva v tom, že po nabudení polovodičového pn prechodu sa pod pohonom elektrického potenciálu elektróny a otvory v polovodičovom materiáli kombinujú a vytvárajú fotóny tak, aby dosiahnuť luminiscenciu polovodičov. Preto je epitaxná technológia jedným zo základov a jadra LED a je tiež hlavným rozhodujúcim faktorom pre elektrické a optické vlastnosti LED.

Technológia epitaxie (EPI) sa týka rastu monokryštálového materiálu na monokryštálovom substráte s rovnakým usporiadaním mriežky ako substrát. Základný princíp: Na substráte zahriatom na vhodnú teplotu (hlavne zafírový substrát, SiC substrát a Si substrát) sú plynné látky indium (In), gálium (Ga), hliník (Al), fosfor (P) regulované na povrch. substrátu na rast špecifického monokryštálového filmu. V súčasnosti využíva technológia rastu LED epitaxnej fólie hlavne metódu MOCVD (organic metal chemical meteorological deposition).

LED epitaxný substrátový materiál

1. Červená a žltá LED:

GaP a GaAs sú bežne používané substráty pre červené a žlté LED diódy. GaP substráty sa používajú v metóde epitaxie v kvapalnej fáze (LPE), výsledkom čoho je široký rozsah vlnových dĺžok 565-700 nm. Pri metóde epitaxie v plynnej fáze (VPE) sa epitaxné vrstvy GaAsP pestujú, čím sa získajú vlnové dĺžky medzi 630-650 nm. Pri použití MOCVD sa pri raste epitaxných štruktúr AlInGaP typicky používajú substráty GaAs. To pomáha prekonať nevýhody absorpcie svetla substrátov GaAs, hoci to zavádza nesúlad mriežky, čo si vyžaduje vyrovnávacie vrstvy na pestovanie štruktúr InGaP a AlGaInP.

VeTek Semiconductor poskytuje LED EPI susceptor s povlakom SiC, povlakom TaC:

Červený a žltý LED EPI susceptor VEECO TaC povlak použitý v LED EPI susceptore

2. modrá a zelená LED:

GaN Substrát: GaN monokryštál je ideálny substrát pre rast GaN, zlepšuje kvalitu kryštálov, životnosť čipu, svetelnú účinnosť a prúdovú hustotu. Jeho aplikácia však obmedzuje jeho náročná príprava.

Zafírový substrát: Zafír (Al2O3) je najbežnejším substrátom pre rast GaN, ponúka dobrú chemickú stabilitu a žiadnu absorpciu viditeľného svetla. Pri vysokoprúdovej prevádzke výkonových čipov však čelí problémom s nedostatočnou tepelnou vodivosťou.

Substrát SiC: SiC je ďalší substrát používaný na rast GaN, ktorý je na druhom mieste v podiele na trhu. Poskytuje dobrú chemickú stabilitu, elektrickú vodivosť, tepelnú vodivosť a žiadnu absorpciu viditeľného svetla. V porovnaní so zafírom má však vyššie ceny a nižšiu kvalitu. SiC nie je vhodný pre UV LED pod 380 nm. Vynikajúca elektrická a tepelná vodivosť SiC eliminuje potrebu spájania flip-chip na odvádzanie tepla v výkonových diódach GaN LED na zafírových substrátoch. Štruktúra hornej a spodnej elektródy je účinná na odvod tepla v zariadeniach GaN LED s výkonom.

AMEC modrý a zelený LED EPI susceptor Susceptor MOCVD s povlakom TaC

3. Hlboké UV LED EPI:

V hlbokej ultrafialovej (DUV) LED epitaxii, hlbokej UV LED alebo DUV LED epitaxii bežne používané chemické materiály ako substráty zahŕňajú nitrid hliníka (AlN), karbid kremíka (SiC) a nitrid gália (GaN). Tieto materiály majú dobrú tepelnú vodivosť, elektrickú izoláciu a kvalitu kryštálov, vďaka čomu sú vhodné pre aplikácie DUV LED vo vysokovýkonnom a vysokoteplotnom prostredí. Výber materiálu substrátu závisí od faktorov, ako sú požiadavky na aplikáciu, výrobné procesy a úvahy o nákladoch.

Hlboký UV LED susceptor potiahnutý SiC Deep UV LED Susceptor potiahnutý TaC