Čína Nitrid kremíka výrobca, dodávateľ, továreň

VeTek Semiconductor sa zameriava na výrobu nitridu kremíka a má výskumný a vývojový tím zložený zo starších odborníkov a špičkových technických talentov. Keramika z nitridu kremíka má výhody tvrdosti, tepelnej odolnosti, odolnosti proti opotrebeniu a korózii všeobecných keramických materiálov a má výhody dobrej odolnosti proti tepelným šokom, odolnosti proti tečeniu pri vysokej teplote, dobrej samomaznosti a dobrej chemickej stability a je široko používaný. používa sa v novej energetike, chemickom priemysle, letectve a polovodičových oblastiach.

Materiály z nitridu kremíka spoločnosti VeTek Semiconductor majú nasledujúce významné výhody:

1. Vynikajúca chemická stabilita

Keramika z nitridu kremíka má vynikajúcu chemickú stabilitu a odolá rôznym silným kyselinám, zásadám a korozívnym plynom. V procese výroby polovodičov sa často musia vysporiadať s korozívnymi chemikáliami, keramika z nitridu kremíka môže poskytnúť dlhodobú záruku stabilného výkonu.

2. Vynikajúce mechanické vlastnosti

Keramika z nitridu kremíka má vysokú tvrdosť, vynikajúcu pevnosť v tlaku a odolnosť proti opotrebeniu, je schopná odolávať mechanickému namáhaniu a povrchovému opotrebeniu, nie je ľahké ju deformovať alebo pretrhnúť. Vďaka tejto mechanickej vlastnosti je veľmi vhodný ako materiál pre konštrukčné a procesné časti v polovodičových zariadeniach.

3. Vysokoteplotná stabilita

Keramika z nitridu kremíka môže udržiavať stabilitu vo vysokoteplotnom prostredí, nie je ľahké zmäkčiť alebo roztaviť a môže vydržať vysokoteplotné spracovanie a manipuláciu v procese výroby polovodičov. To umožňuje jeho použitie pri výrobe kľúčových komponentov vysokoteplotných procesných zariadení, ako sú chápadlá, komponenty reakčných komôr atď.

4. Vynikajúce izolačné vlastnosti

Pri výrobe polovodičových súčiastok sú rozhodujúce izolačné vlastnosti. Keramika z nitridu kremíka má dobré izolačné vlastnosti, ktoré dokážu účinne izolovať a chrániť komponenty obvodu pred únikom prúdu alebo elektromagnetickým rušením, čo pomáha zlepšiť stabilitu a spoľahlivosť zariadenia.

5. Tepelná vodivosť a tepelná vodivosť

Keramika z nitridu kremíka má vysokú tepelnú vodivosť, dokáže efektívne viesť a odvádzať teplo generované zariadením, čím pomáha udržiavať teplotnú stabilitu zariadenia v prevádzkovom procese. To je rozhodujúce pre vysokovýkonnú prevádzku polovodičových zariadení.

Aplikácie materiálov z nitridu kremíka VeTek Semiconductor v solárnom a polovodičovom priemysle zahŕňajú najmä:

1. Elektrostatické skľučovadlá a komponenty leptacej komory

Keramika z nitridu kremíka sa často používa ako materiály pre elektrostatické skľučovadlá a komponenty leptacích komôr pri výrobe polovodičov kvôli ich vynikajúcej chemickej stabilite a vysokej teplotnej odolnosti. Elektrostatické skľučovadlá sa používajú na upevnenie a stabilizáciu plátkov alebo substrátov, zatiaľ čo komponenty leptacej komory sa používajú na odolanie korozívnym plynom a vysokoteplotnému prostrediu.

2. plynové distribučné dosky a reflektory

Keramika z nitridu kremíka sa používa aj pri výrobe polovodičových zariadení v doskách na rozvod plynu a reflektoroch. Dosky na distribúciu plynu sa používajú na rovnomernú distribúciu reaktívnych alebo ochranných plynov do reakčnej komory, zatiaľ čo reflektory sa používajú na optimalizáciu distribúcie a odrazu svetla v reakčnej komore na zlepšenie účinnosti a rovnomernosti reakcie.

3. Držiaky a tepelné komponenty

Keramika z nitridu kremíka sa často používa ako držiaky a komponenty tepelného manažmentu v zariadeniach na výrobu polovodičov. Tieto komponenty musia mať dobrú mechanickú pevnosť, odolnosť proti opotrebovaniu a tepelnú vodivosť, aby sa zabezpečila stabilná prevádzka zariadenia a presnosť spracovania zariadenia.

4. Podušky na chemické mechanické leštenie (CMP).

Keramika z nitridu kremíka sa široko používa ako materiál podložky v procese chemicko-mechanického leštenia (CMP). Má vynikajúcu rovinnosť a odolnosť proti opotrebeniu a môže poskytnúť stabilnú podporu počas procesu leštenia, aby sa zabezpečila rovinnosť a presnosť povrchu polovodičovej doštičky.