Jedinečné karbidové povlaky VeTek Semiconductor poskytujú vynikajúcu ochranu grafitovým častiam v procese SiC Epitaxy na spracovanie náročných polovodičových a kompozitných polovodičových materiálov. Výsledkom je predĺžená životnosť grafitových komponentov, zachovanie stechiometrie reakcie, inhibícia migrácie nečistôt do epitaxných a rastových aplikácií, čo vedie k zvýšeniu výťažku a kvality.
Naše povlaky z karbidu tantalu (TaC) chránia kritické komponenty pecí a reaktorov pri vysokých teplotách (až do 2200 °C) pred horúcim amoniakom, vodíkom, parami kremíka a roztavenými kovmi. VeTek Semiconductor má širokú škálu možností spracovania a merania grafitu, aby vyhovoval vašim prispôsobeným požiadavkám, takže môžeme ponúknuť spoplatnený náter alebo kompletný servis s naším tímom odborných inžinierov pripravených navrhnúť správne riešenie pre vás a vašu konkrétnu aplikáciu. .
Zložené polovodičové kryštály
VeTek Semiconductor môže poskytnúť špeciálne TaC povlaky pre rôzne komponenty a nosiče. Prostredníctvom špičkového procesu poťahovania od spoločnosti VeTek Semiconductor môže povlak TaC získať vysokú čistotu, stabilitu pri vysokej teplote a vysokú chemickú odolnosť, čím sa zlepšuje kvalita produktu kryštálových vrstiev TaC/GaN) a EPl a predlžuje sa životnosť kritických komponentov reaktora.
Tepelné izolátory
Komponenty na rast kryštálov SiC, GaN a AlN vrátane téglikov, držiakov semien, deflektorov a filtrov. Priemyselné zostavy vrátane odporových vykurovacích telies, trysiek, tieniacich krúžkov a spájkovacích prípravkov, GaN a SiC epitaxiálnych CVD reaktorových komponentov vrátane nosičov plátkov, satelitných podnosov, sprchových hlavíc, uzáverov a podstavcov, MOCVD komponentov.
Nosič plátku LED (dióda vyžarujúca svetlo).
ALD (polovodičový) prijímač
EPI receptor (SiC epitaxný proces)
Satelitný susceptor potiahnutý TaC TaC povlakový susceptor a krúžok Časti povlaku TaC Časti Halfmoon s povlakom TaC
SiC | TaC | |
Hlavné rysy | Ultra vysoká čistota, vynikajúca plazmová odolnosť | Vynikajúca stabilita pri vysokej teplote (prispôsobenie procesu pri vysokej teplote) |
Čistota | >99,9999 % | >99,9999 % |
Hustota (g/cm 3) | 3.21 | 15 |
Tvrdosť (kg/mm 2) | 2900-3300 | 6,7-7,2 |
Odpor [Ωcm] | 0,1-15 000 | <1 |
Tepelná vodivosť (W/m-K) | 200-360 | 22 |
Koeficient tepelnej rozťažnosti (10-6/℃) | 4,5-5 | 6.3 |
Aplikácia | Polovodičové vybavenie Keramický prípravok (zaostrovací krúžok, sprchová hlavica, maketa plátku) | SiC rast monokryštálov, Epi, časti UV LED zariadenia |
Porézny grafit potiahnutý karbidom tantalu je nepostrádateľným produktom v procese spracovania polovodičov, najmä v procese rastu kryštálov SIC. Po neustálych investíciách do výskumu a vývoja a modernizácii technológií si kvalita produktu TaC Coated Porous Graphite od spoločnosti VeTek Semiconductor získala veľkú pochvalu od európskych a amerických zákazníkov. Vitajte na vašej ďalšej konzultácii.
Čítaj viacOdoslať dopytPlanetárny epitaxný susceptor SiC povlakom CVD TaC je jednou z hlavných súčastí planetárneho reaktora MOCVD. Prostredníctvom CVD TaC povlaku planetárneho epitaxného susceptora SiC veľký disk obieha a malý disk rotuje a model horizontálneho toku sa rozširuje na viacčipové stroje, takže má vysokokvalitné riadenie rovnomernosti epitaxnej vlnovej dĺžky a optimalizáciu defektov -čipové stroje a výhody výrobných nákladov viacčipových strojov.VeTek Semiconductor môže zákazníkom poskytnúť vysoko prispôsobený planetárny epitaxiálny susceptor SiC povlak CVD TaC. Ak si aj vy chcete vyrobiť planétovú MOCVD pec ako Aixtron, príďte k nám!
Čítaj viacOdoslať dopytVeTek Semiconductor je čínska spoločnosť, ktorá je svetovým výrobcom a dodávateľom susceptora GaN Epitaxy. Už dlhú dobu pracujeme v polovodičovom priemysle, ako sú povlaky z karbidu kremíka a GaN Epitaxy susceptor. Môžeme vám poskytnúť vynikajúce produkty a priaznivé ceny. VeTek Semiconductor sa teší, že sa stane vaším dlhodobým partnerom.
Čítaj viacOdoslať dopyteTek Semiconductor TaC Coated Wafer Susceptor je grafitová tácka potiahnutá karbidom tantalu pre epitaxiálny rast karbidu kremíka na zlepšenie kvality a výkonu plátku. VeTek je vybraný z dôvodu jeho pokročilej technológie povrchovej úpravy a odolných riešení na zabezpečenie vynikajúcich výsledkov epitaxie SiC a predĺženej životnosti susceptora, privítajte vaše ďalšie otázky.
Čítaj viacOdoslať dopytAko popredný výrobca produktov vodiacich krúžkov s povlakom TaC v Číne sú vodiace krúžky s povlakom VeTek Semiconductor TaC dôležitými komponentmi zariadení MOCVD, ktoré zaisťujú presné a stabilné dodávanie plynu počas epitaxného rastu a sú nepostrádateľným materiálom pri epitaxnom raste polovodičov. Vitajte a poraďte sa s nami.
Čítaj viacOdoslať dopytVeTek Semiconductor je profesionálny výrobca a líder produktov z porézneho karbidu tantalu v Číne. Porézny karbid tantalu sa zvyčajne vyrába metódou chemickej depozície z pár (CVD), ktorá zaisťuje presnú kontrolu veľkosti pórov a distribúcie, a je to materiálový nástroj určený pre extrémne vysoké teploty. Vítam vašu ďalšiu konzultáciu.
Čítaj viacOdoslať dopyt