> Produkty > Povlak z karbidu tantalu

Produkty

nové produkty

Čína Povlak z karbidu tantalu výrobca, dodávateľ, továreň

VeTek semiconductor je popredný výrobca povlakových materiálov z karbidu tantalu pre polovodičový priemysel. Naše hlavné ponuky produktov zahŕňajú CVD povlakové diely z karbidu tantalu, spekané diely s povlakom TaC pre rast kryštálov SiC alebo proces epitaxie polovodičov. VeTek Semiconductor prešiel ISO9001 a má dobrú kontrolu kvality. VeTek Semiconductor je odhodlaný stať sa inovátorom v priemysle povlakov karbidu tantalu prostredníctvom prebiehajúceho výskumu a vývoja iteračných technológií.

Hlavnými produktmi súDefektný krúžok s povlakom karbidu tantalu, odvádzací krúžok s povlakom TaC, časti polmesiaca s povlakom TaC, planetárny rotačný disk s povlakom karbidu tantalu (Aixtron G10), téglik s povlakom TaC; krúžky potiahnuté TaC; porézny grafit potiahnutý TaC; Tantal Carbide Coating Graphite Susceptor; Vodiaci krúžok potiahnutý TaC; TaC doska potiahnutá karbidom tantalu; Susceptor plátku potiahnutý TaC; TaC povlakový krúžok; TaC povlak grafitový kryt; TaC Coated Chunkatď., čistota je nižšia ako 5 ppm, môže spĺňať požiadavky zákazníka.

TaC povlakový grafit je vytvorený potiahnutím povrchu vysoko čistého grafitového substrátu jemnou vrstvou karbidu tantalu patentovaným procesom chemického nanášania z plynnej fázy (CVD). Výhoda je znázornená na obrázku nižšie:

Performance Advantages of Tantalum Carbide Coating

Povlak z karbidu tantalu (TaC) si získal pozornosť vďaka svojmu vysokému bodu topenia až 3880°C, vynikajúcej mechanickej pevnosti, tvrdosti a odolnosti voči tepelným šokom, čo z neho robí atraktívnu alternatívu k procesom epitaxe zložených polovodičov s vyššími teplotnými požiadavkami, ako je Aixtron MOCVD systém a LPE SiC epitaxný proces. Má tiež široké uplatnenie v PVT metóde v procese rastu SiC kryštálov.

Kľúčové vlastnosti:

Teplotná stabilita

Ultra vysoká čistota

Odolnosť voči H2, NH3, SiH4, Si

Odolnosť voči tepelným zásobám

Silná priľnavosť ku grafitu

Konformné pokrytie povlakom

Veľkosť do priemeru 750 mm (jediný výrobca v Číne dosahuje túto veľkosť)

Aplikácie:

Nosič oblátok

Indukčný vykurovací susceptor

Odporové vykurovacie teleso

Satelitný disk

Sprchová hlavica

Vodiaci krúžok

LED prijímač Epi

Vstrekovacia tryska

Maskovací prsteň

Tepelný štít

Povlak karbidu tantalu (TaC) na mikroskopickom priereze:

Tantalum carbide (TaC) coating on a microscopic cross-section

Parameter povlaku VeTek Semiconductor Tantal Carbide Coating:

Fyzikálne vlastnosti povlaku TaC
Hustota	14,3 (g/cm³)
Špecifická emisivita	0.3
Koeficient tepelnej rozťažnosti	6.3 10^-6/K
Tvrdosť (HK)	2000 HK
Odpor	1×10^-5Ohm*cm
Tepelná stabilita	<2500 ℃
Veľkosť grafitu sa mení	-10~-20um
Hrúbka povlaku	≥20um typická hodnota (35um±10um)

Údaje EDX povlaku TaC：

TaC coating EDX data

Údaje o štruktúre kryštálov povlaku TaC

Prvok	Atómové percento
	Pt. 1	Pt. 2	Pt. 3	Priemerná
C K	52.10	57.41	52.37	53.96
Ta M	47.90	42.59	47.63	46.04

TaC Coating Chuck Planetárny disk s povlakom TaC TaC potiahnutá doska Rotačná doska povlaku TaC Susceptor povlaku TaC CVD TaC povlak Kryt CVD TaC povlakový krúžok TaC poťahová doska

View as

Prsteň potiahnutý karbidom tantalu

Ako profesionálny inovátor a líder produktov s povlakom karbidu tantalu v Číne hrá polovodičový prstenec s povlakom karbidu tantalu nenahraditeľnú úlohu pri raste kryštálov SiC vďaka svojej vynikajúcej odolnosti voči vysokým teplotám, odolnosti proti opotrebovaniu a vynikajúcej tepelnej vodivosti. Vítam vašu ďalšiu konzultáciu.

Čítaj viac Odoslať dopyt

Porézny karbid tantalu

VeTek Semiconductor je profesionálny výrobca a líder produktov z porézneho karbidu tantalu v Číne. Porézny karbid tantalu sa zvyčajne vyrába metódou chemickej depozície z pár (CVD), ktorá zaisťuje presnú kontrolu veľkosti pórov a distribúcie, a je to materiálový nástroj určený pre extrémne vysoké teploty. Vítam vašu ďalšiu konzultáciu.

Čítaj viac Odoslať dopyt

Prsteň z karbidu tantalu

Ako pokročilý výrobca a výrobca produktov z karbidu tantalu v Číne má VeTek Semiconductor karbidu tantalu extrémne vysokú tvrdosť, odolnosť proti opotrebeniu, odolnosť voči vysokej teplote a chemickú stabilitu a je široko používaný v oblasti výroby polovodičov. Najmä v oblasti CVD, PVD, iónovej implantácie, leptania a spracovania a prepravy plátkov je nepostrádateľným produktom pre spracovanie a výrobu polovodičov. Tešíme sa na vašu ďalšiu konzultáciu.

Čítaj viac Odoslať dopyt

Podpora povlaku z karbidu tantalu

Ako profesionálny výrobca a továreň na nanášanie povlaku z karbidu tantalu v Číne sa VeTek Semiconductor na povlak karbidu tantalu zvyčajne používa na povrchové nátery konštrukčných komponentov alebo podporných komponentov v polovodičových zariadeniach, najmä na ochranu povrchu kľúčových komponentov zariadení v procesoch výroby polovodičov, ako napr. CVD a PVD. Vítam vašu ďalšiu konzultáciu.

Čítaj viac Odoslať dopyt

Vodiaci krúžok z karbidu tantalu

VeTek Semiconductor je profesionálny výrobca a líder produktov vodiacich krúžkov z karbidu tantalu v Číne. Náš vodiaci krúžok z karbidu tantalu (TaC) je vysoko výkonný krúžok vyrobený z karbidu tantalu, ktorý sa bežne používa v zariadeniach na spracovanie polovodičov, najmä vo vysokoteplotných a vysoko korozívnych prostrediach, ako je CVD, PVD, leptanie a difúzia. VeTek Semiconductor je odhodlaný poskytovať pokročilé technológie a produktové riešenia pre polovodičový priemysel a víta vaše ďalšie otázky.

Čítaj viac Odoslať dopyt

Rotačný susceptor povlaku TaC

Ako profesionálny výrobca, inovátor a líder produktov TaC Coating Rotation Susceptor v Číne. Rotačný susceptor VeTek Semiconductor TaC Coating sa zvyčajne inštaluje v zariadení na chemické vylučovanie z plynnej fázy (CVD) a epitaxiu molekulárnym lúčom (MBE) na podporu a otáčanie plátkov, aby sa zabezpečilo rovnomerné ukladanie materiálu a efektívna reakcia. Je to kľúčový komponent pri spracovaní polovodičov. Vítam vašu ďalšiu konzultáciu.

Čítaj viac Odoslať dopyt

<1 2 3 4 5...7 >

Ako profesionálny výrobca a dodávateľ Povlak z karbidu tantalu v Číne máme vlastnú továreň. Či už potrebujete prispôsobené služby, ktoré spĺňajú špecifické potreby vášho regiónu, alebo si chcete kúpiť moderné a odolné Povlak z karbidu tantalu vyrobené v Číne, môžete nám zanechať správu.