VeTek semiconductor je popredný výrobca povlakových materiálov z karbidu tantalu pre polovodičový priemysel. Naše hlavné ponuky produktov zahŕňajú CVD povlakové diely z karbidu tantalu, spekané diely s povlakom TaC pre rast kryštálov SiC alebo proces epitaxie polovodičov. VeTek Semiconductor prešiel ISO9001 a má dobrú kontrolu kvality. VeTek Semiconductor je odhodlaný stať sa inovátorom v priemysle povlakov karbidu tantalu prostredníctvom prebiehajúceho výskumu a vývoja iteračných technológií.
Hlavnými produktmi súDefektný krúžok s povlakom karbidu tantalu, odvádzací krúžok s povlakom TaC, časti polmesiaca s povlakom TaC, planetárny rotačný disk s povlakom karbidu tantalu (Aixtron G10), téglik s povlakom TaC; krúžky potiahnuté TaC; porézny grafit potiahnutý TaC; Tantal Carbide Coating Graphite Susceptor; Vodiaci krúžok potiahnutý TaC; TaC doska potiahnutá karbidom tantalu; Susceptor plátku potiahnutý TaC; TaC povlakový krúžok; TaC povlak grafitový kryt; TaC Coated Chunkatď., čistota je nižšia ako 5 ppm, môže spĺňať požiadavky zákazníka.
TaC povlakový grafit je vytvorený potiahnutím povrchu vysoko čistého grafitového substrátu jemnou vrstvou karbidu tantalu patentovaným procesom chemického nanášania z plynnej fázy (CVD). Výhoda je znázornená na obrázku nižšie:
Povlak z karbidu tantalu (TaC) si získal pozornosť vďaka svojmu vysokému bodu topenia až 3880°C, vynikajúcej mechanickej pevnosti, tvrdosti a odolnosti voči tepelným šokom, čo z neho robí atraktívnu alternatívu k procesom epitaxe zložených polovodičov s vyššími teplotnými požiadavkami, ako je Aixtron MOCVD systém a LPE SiC epitaxný proces. Má tiež široké uplatnenie v PVT metóde v procese rastu SiC kryštálov.
●Teplotná stabilita
●Ultra vysoká čistota
●Odolnosť voči H2, NH3, SiH4, Si
●Odolnosť voči tepelným zásobám
●Silná priľnavosť ku grafitu
●Konformné pokrytie povlakom
● Veľkosť do priemeru 750 mm (jediný výrobca v Číne dosahuje túto veľkosť)
● Indukčný vykurovací susceptor
● Odporové vykurovacie teleso
● Tepelný štít
Fyzikálne vlastnosti povlaku TaC | |
Hustota | 14,3 (g/cm³) |
Špecifická emisivita | 0.3 |
Koeficient tepelnej rozťažnosti | 6.3 10-6/K |
Tvrdosť (HK) | 2000 HK |
Odpor | 1×10-5Ohm*cm |
Tepelná stabilita | <2500 ℃ |
Veľkosť grafitu sa mení | -10~-20um |
Hrúbka povlaku | ≥20um typická hodnota (35um±10um) |
Prvok | Atómové percento | |||
Pt. 1 | Pt. 2 | Pt. 3 | Priemerná | |
C K | 52.10 | 57.41 | 52.37 | 53.96 |
M | 47.90 | 42.59 | 47.63 | 46.04 |
Porézny grafit potiahnutý karbidom tantalu je nepostrádateľným produktom v procese spracovania polovodičov, najmä v procese rastu kryštálov SIC. Po neustálych investíciách do výskumu a vývoja a modernizácii technológií si kvalita produktu TaC Coated Porous Graphite od spoločnosti VeTek Semiconductor získala veľkú pochvalu od európskych a amerických zákazníkov. Vitajte na vašej ďalšej konzultácii.
Čítaj viacOdoslať dopytPlanetárny epitaxný susceptor SiC povlakom CVD TaC je jednou z hlavných súčastí planetárneho reaktora MOCVD. Prostredníctvom CVD TaC povlaku planetárneho epitaxného susceptora SiC veľký disk obieha a malý disk rotuje a model horizontálneho toku sa rozširuje na viacčipové stroje, takže má vysokokvalitné riadenie rovnomernosti epitaxnej vlnovej dĺžky a optimalizáciu defektov -čipové stroje a výhody výrobných nákladov viacčipových strojov.VeTek Semiconductor môže zákazníkom poskytnúť vysoko prispôsobený planetárny epitaxiálny susceptor SiC povlak CVD TaC. Ak si aj vy chcete vyrobiť planétovú MOCVD pec ako Aixtron, príďte k nám!
Čítaj viacOdoslať dopytAko popredný výrobca a dodávateľ prstencových produktov s povlakom TaC v Číne sa VeTek Semiconductor zameriava na výskum, vývoj a výrobu rôznych produktov na poťahovanie TaC. Ako hlavní zákazníci produktov TaC Coating, európski a americkí výrobcovia vysoko chvália naše náterové produkty. Vitajte na vašej ďalšej konzultácii.
Čítaj viacOdoslať dopytVeTek Semiconductor je čínska spoločnosť, ktorá je svetovým výrobcom a dodávateľom susceptora GaN Epitaxy. Už dlhú dobu pracujeme v polovodičovom priemysle, ako sú povlaky z karbidu kremíka a GaN Epitaxy susceptor. Môžeme vám poskytnúť vynikajúce produkty a priaznivé ceny. VeTek Semiconductor sa teší, že sa stane vaším dlhodobým partnerom.
Čítaj viacOdoslať dopyteTek Semiconductor TaC Coated Wafer Susceptor je grafitová tácka potiahnutá karbidom tantalu pre epitaxiálny rast karbidu kremíka na zlepšenie kvality a výkonu plátku. VeTek je vybraný z dôvodu jeho pokročilej technológie povrchovej úpravy a odolných riešení na zabezpečenie vynikajúcich výsledkov epitaxie SiC a predĺženej životnosti susceptora, privítajte vaše ďalšie otázky.
Čítaj viacOdoslať dopytAko popredný výrobca produktov vodiacich krúžkov s povlakom TaC v Číne sú vodiace krúžky s povlakom VeTek Semiconductor TaC dôležitými komponentmi zariadení MOCVD, ktoré zaisťujú presné a stabilné dodávanie plynu počas epitaxného rastu a sú nepostrádateľným materiálom pri epitaxnom raste polovodičov. Vitajte a poraďte sa s nami.
Čítaj viacOdoslať dopyt