Čína Pevný karbid kremíka výrobca, dodávateľ, továreň

VeTek Semiconductor Solid Silicon Carbide je dôležitou keramickou zložkou v zariadeniach na plazmové leptanie, pevný karbid kremíka (CVD karbid kremíka) časti v leptacom zariadení zahŕňajúzaostrovacie krúžky, plynová sprchová hlavica, podnos, okrajové krúžky atď. Vďaka nízkej reaktivite a vodivosti pevného karbidu kremíka (CVD karbid kremíka) na leptacie plyny obsahujúce chlór a fluór je ideálnym materiálom pre zariadenia na plazmové leptanie, zaostrovacie krúžky a iné komponentov.

Napríklad zaostrovací krúžok je dôležitou súčasťou umiestnenou mimo doštičky a v priamom kontakte s doštičkou, privedením napätia na krúžok na zaostrenie plazmy prechádzajúcej prstencom, čím sa plazma zaostrí na doštičku, aby sa zlepšila rovnomernosť spracovanie. Tradičný zaostrovací krúžok je vyrobený zo silikónu respkremeň, vodivý kremík ako bežný ohniskový prstencový materiál, je takmer blízky vodivosti kremíkových plátkov, ale nedostatkom je slabá odolnosť proti leptaniu v plazme s obsahom fluóru, materiáloch na leptanie častí strojov, ktoré sa často používajú po určitú dobu, bude vážne jav korózie, ktorý vážne znižuje jeho výrobnú efektivitu.

STvrdý zaostrovací krúžok SiCPracovný princíp：

Working Principle of Solid SiC Focus Ring

Porovnanie zaostrovacieho krúžku na báze Si a zaostrovacieho krúžku CVD SiC:

Porovnanie zaostrovacieho krúžku na báze Si a zaostrovacieho krúžku CVD SiC
Položka	A	CVD SiC
Hustota (g/cm³)	2.33	3.21
Pásmová medzera (eV)	1.12	2.3
Tepelná vodivosť (W/cm℃)	1.5	5
CTE (x10^-6/℃)	2.6	4
Modul pružnosti (GPa)	150	440
Tvrdosť (GPa)	11.4	24.5
Odolnosť proti opotrebovaniu a korózii	Chudák	Výborne

VeTek Semiconductor ponúka pokročilé diely z pevného karbidu kremíka (CVD karbid kremíka), ako sú zaostrovacie krúžky SiC pre polovodičové zariadenia. Naše pevné zaostrovacie krúžky z karbidu kremíka prekonávajú tradičný kremík z hľadiska mechanickej pevnosti, chemickej odolnosti, tepelnej vodivosti, odolnosti voči vysokej teplote a odolnosti voči iónovému leptaniu.

Kľúčové vlastnosti našich zaostrovacích krúžkov SiC zahŕňajú:

Vysoká hustota pre zníženú rýchlosť leptania.

Vynikajúca izolácia s vysokou bandgap.

Vysoká tepelná vodivosť a nízky koeficient tepelnej rozťažnosti.

Vynikajúca odolnosť voči mechanickému nárazu a elasticita.

Vysoká tvrdosť, odolnosť proti opotrebovaniu a odolnosť proti korózii.

Vyrobené s použitímplazmou posilnená chemická depozícia z plynnej fázy (PECVD)naše SiC zaostrovacie krúžky spĺňajú rastúce požiadavky leptacích procesov pri výrobe polovodičov. Sú navrhnuté tak, aby vydržali vyšší plazmový výkon a energiu, konkrétne vkapacitne viazaná plazma (CCP)systémov.

Zaostrovacie krúžky SiC spoločnosti VeTek Semiconductor poskytujú výnimočný výkon a spoľahlivosť pri výrobe polovodičových zariadení. Vyberte si naše SiC komponenty pre vynikajúcu kvalitu a efektivitu.

View as

Pevný nosič doštičiek SiC

Pevný nosič SiC doštičiek VeTek Semiconductor je navrhnutý pre prostredia odolné voči vysokej teplote a korózii v polovodičových epitaxných procesoch a je vhodný pre všetky typy procesov výroby doštičiek s vysokými požiadavkami na čistotu. VeTek Semiconductor je popredným dodávateľom doštičiek v Číne a teší sa, že sa stane vaším dlhodobým partnerom v polovodičovom priemysle.

Čítaj viac Odoslať dopyt

Masívna sprchová hlavica v tvare disku SiC

VeTek Semiconductor je popredný výrobca polovodičových zariadení v Číne a profesionálny výrobca a dodávateľ sprchovej hlavice v tvare pevného disku SiC. Naša sprchová hlavica v tvare disku sa široko používa pri výrobe nanášania tenkých vrstiev, ako je proces CVD, aby sa zabezpečila rovnomerná distribúcia reakčného plynu a je jednou z hlavných súčastí CVD pece.

Čítaj viac Odoslať dopyt

SiC tesniaca časť

Ako pokročilý výrobca a továreň na tesniace diely SiC v Číne. Tesniaca časť VeTek Semiconducto SiC je vysokovýkonná tesniaca súčasť široko používaná pri spracovaní polovodičov a iných procesoch s extrémne vysokou teplotou a vysokým tlakom. Vítam vašu ďalšiu konzultáciu.

Čítaj viac Odoslať dopyt

Sprchová hlavica z karbidu kremíka

VeTek Semiconductor je popredný výrobca a dodávateľ sprchových hlavíc z karbidu kremíka v Číne. Sprchová hlavica SiC má vynikajúcu toleranciu vysokej teploty, chemickú stabilitu, tepelnú vodivosť a dobrý výkon pri distribúcii plynu, čo môže dosiahnuť rovnomernú distribúciu plynu a zlepšiť kvalitu filmu. Preto sa zvyčajne používa pri vysokoteplotných procesoch, ako je chemické vylučovanie z plynnej fázy (CVD) alebo fyzikálne vylučovanie z plynnej fázy (PVD). Vítam vašu ďalšiu konzultáciu.

Čítaj viac Odoslať dopyt

Tesniaci krúžok z karbidu kremíka

Ako profesionálny výrobca a továreň na tesniace krúžky z karbidu kremíka v Číne je tesniaci krúžok z karbidu kremíka VeTek široko používaný v zariadeniach na spracovanie polovodičov vďaka svojej vynikajúcej tepelnej odolnosti, odolnosti proti korózii, mechanickej pevnosti a tepelnej vodivosti. Je obzvlášť vhodný pre procesy zahŕňajúce vysokoteplotné a reaktívne plyny, ako je CVD, PVD a plazmové leptanie, a je kľúčovou voľbou materiálu v procese výroby polovodičov. Vaše ďalšie otázky sú vítané.

Čítaj viac Odoslať dopyt

CVD SiC blok pre rast kryštálov SiC

VeTek Semiconductor sa zameriava na výskum, vývoj a industrializáciu objemových zdrojov CVD-SiC, povlakov CVD SiC a povlakov CVD TaC. Ak vezmeme ako príklad CVD blok SiC pre rast kryštálov SiC, technológia spracovania produktu je pokročilá, rýchlosť rastu je rýchla, odolnosť voči vysokej teplote a odolnosť proti korózii sú silné. Vitajte na dotaze.

Čítaj viac Odoslať dopyt

<1 2 >

Ako profesionálny výrobca a dodávateľ Pevný karbid kremíka v Číne máme vlastnú továreň. Či už potrebujete prispôsobené služby, ktoré spĺňajú špecifické potreby vášho regiónu, alebo si chcete kúpiť moderné a odolné Pevný karbid kremíka vyrobené v Číne, môžete nám zanechať správu.