Ako poprední čínski výrobcovia a dodávatelia sic doštičiek je VeTek Semiconductor CVD SiC povlak Dummy wafer špecializovaný nástroj na výrobu polovodičov, ktorý sa používa hlavne na účely testovania kremíkových plátkov a procesu testovania plátkov. Vaše ďalšie otázky sú vítané.
● Odolnosť voči plynom pri vysokej teplote: SiC Dummy Wafer má vynikajúcu odolnosť proti vysokoteplotnej plynovej erózii, vhodný na použitie v extrémnych podmienkach. Táto odolnosť zaisťuje konzistentný výkon aj v tých najnáročnejších prostrediach.
● Dlhodobá štrukturálna integrita: CVD SiC povlak Falošné doštičky sú navrhnuté tak, aby odolali ohybu a deformácii po dlhú dobu. Ich odolnosť zaisťuje, že zostávajú spoľahlivé počas viacerých testovacích cyklov, čím sa znižuje potreba častej výmeny.
● Povrch bez častíc: Falošné doštičky SiC majú ľahko čistiteľný povrch, ktorý minimalizuje problémy s časticami, čo je rozhodujúce pre udržanie prostredia bez kontaminácie. Táto funkcia podporuje vysokokvalitné výsledky a znižuje riziko chýb.
● Chemická stabilita: Chemická stabilita fiktívneho plátku s povlakom SiC mu umožňuje odolať rôznym korozívnym látkam bez degradácie. Táto vlastnosť je rozhodujúca pre zachovanie integrity plátku počas vystavenia chemikáliám.
● Všestranné testovanie a experimentovanie: Falošné doštičky potiahnuté SiC sú nevyhnutné vo všetkých fázach výroby polovodičov a poskytujú bezpečný a spoľahlivý prostriedok na testovanie a experimentovanie. Sú nevyhnutné na začiatku výrobného procesu a zabezpečujú, že všetky parametre sú optimálne pred použitím cenných výrobných plátkov.
● Ochrana počas difúzie: Počas procesu difúzie hrajú fiktívne doštičky zásadnú úlohu tým, že chránia štandardné kremíkové doštičky. Táto ochranná funkcia zabraňuje poškodeniu a kontaminácii, čím zachováva integritu a kvalitu pôvodného plátku.
● Presnosť merania: Tieto doštičky sa starostlivo používajú na meranie hrúbky filmu, odolnosti voči tlaku a indexu odrazu. Pomáhajú tiež zisťovať prítomnosť pinballov a vyhodnocovať rozmery vzorov v litografii, čím významne prispievajú k presnosti procesu a redukcii defektov.
V skutočnosti VeTek Semiconductor podporuje prispôsobené produktové služby a môže poskytnúť užívateľom definovanú serializáciu na každom fiktívnom plátku CVD SiC podľa potrieb zákazníka, čo umožňuje prispôsobenú veľkosť a hrúbku. Vlastné laserové gravírovanie ďalej eliminuje riziko krížovej kontaminácie a zabezpečuje vysoký stupeň čistoty a spoľahlivosti.