Diskový prijímač

Vetek Semiconductor poskytuje grafitový diskový susceptor na rezanie hrán. Povlak SiC poskytuje vynikajúcu tepelnú stabilitu, vynikajúcu chemickú odolnosť a vylepšenú jednotnosť procesu, čím zaisťuje optimálny výkon a spoľahlivosť. Zažite ďalšiu úroveň účinnosti a presnosti s diskovým susceptorom Vetek Semiconductor potiahnutým SiC.

Odoslať dopyt

Popis produktu

Vetek Semiconductor's Graphite Disc Susceptor, vysokovýkonný produkt pre pokročilé procesy výroby polovodičov. Náš grafitový diskový suceptor je navrhnutý tak, aby spĺňal náročné požiadavky priemyslu a poskytoval výnimočný výkon a spoľahlivosť.

Tento grafitový diskový susceptor je OEM pre platformu planétového reaktora AIX G5.

GaN-on-Si MOCVD sa používa na epitaxnú výrobu LED a reaktor Aixtron G5 zlepšuje výťažok a jednotnosť platformy MOCVD. Plne otočený symetrický jednotný vzor na piatich 200 mm doskách s použitím kremíkového substrátu so štandardnou hrúbkou a riadením správania pri ohýbaní doštičiek formalizoval to, čo potrebovali na výrobu kremíka.

Vysoko čistý grafitový diskový susceptor Vetek Semiconductor pre GaN-on-Si MOCVD, spoľahlivé a nákladovo efektívne riešenie pre pokročilé procesy výroby polovodičov.

Náš vysoko čistý grafitový diskový susceptor je špeciálne navrhnutý tak, aby spĺňal požiadavky procesov GaN-on-Si MOCVD. Vďaka svojej výnimočnej tepelnej stabilite a odolnosti voči teplu dokáže odolávať náročným teplotným podmienkam typicky v rozsahu od 800 °C do 1100 °C, čím zaisťuje optimálny výkon počas procesu nanášania.

Vysoko čistý grafitový materiál použitý v našom diskovom susceptore poskytuje vynikajúcu chemickú odolnosť, vďaka čomu je kompatibilný s amoniakom (NH3) a prekurzormi organických kovov bežne používanými v GaN-on-Si MOCVD. To eliminuje potrebu ďalších SiC povlakov, čím sa znižujú výrobné náklady bez zníženia výkonu.

Vysoko čistý grafitový diskový susceptor Vetek Semiconductor ponúka cenovo výhodné riešenie bez kompromisov v kvalite. Jeho spoľahlivosť, odolnosť a kompatibilita s procesmi GaN-on-Si MOCVD z neho robí preferovanú voľbu pre výrobcov polovodičov. Dôverujte spoločnosti Vetek Semiconductor, že dodá vysokovýkonné grafitové diskové susceptory pre vaše výrobné potreby GaN-on-Si MOCVD.