Akceptor MOCVD

Ako výrobca CVD SiC povlakov by vám VeTek Semiconductor rád poskytol susceptory Aixtron G5 MOCVD, ktoré sú vyrobené z vysoko čistého grafitu a CVD SiC povlak (menej ako 5 ppm).

Vitajte a spýtajte sa nás.

Technológia Micro LED narúša existujúci ekosystém LED pomocou metód a prístupov, ktoré boli doteraz možné vidieť len v LCD alebo polovodičovom priemysle, a systém Aixtron G5 MOCVD dokonale podporuje tieto prísne rozšírené požiadavky. Aixtron G5 je výkonný MOCVD reaktor navrhnutý predovšetkým pre rast epitaxie GaN na báze kremíka.

Je nevyhnutné, aby všetky vyrobené epitaxné doštičky mali veľmi tesné rozloženie vlnových dĺžok a veľmi nízke úrovne povrchových defektov, čo si vyžaduje inovatívnu technológiu MOCVD.

Aixtron G5 je horizontálny planetárny disk epitaxný systém, hlavne planetárny disk, MOCVD susceptor, krycí krúžok, strop, nosný krúžok, krycí disk, výfukový kolektor, kolíková podložka, kolektorový vstupný krúžok atď., Hlavnými produktovými materiálmi sú CVD SiC povlak + grafit vysokej čistoty, polovodičový kremeň, povlak CVD TaC + grafit vysokej čistoty, tuhá plsť a iné materiály.

Vlastnosti susceptora MOCVD sú nasledovné:

Ochrana základného materiálu: CVD SiC povlak pôsobí ako ochranná vrstva v epitaxnom procese, ktorá môže účinne zabrániť erózii a poškodeniu vonkajšieho prostredia základného materiálu, poskytnúť spoľahlivé ochranné opatrenia a predĺžiť životnosť zariadenia.

Vynikajúca tepelná vodivosť: Povlak CVD SiC má vynikajúcu tepelnú vodivosť a dokáže rýchlo prenášať teplo zo základného materiálu na povrch povlaku, čím sa zlepšuje účinnosť tepelného manažmentu počas epitaxie a zabezpečuje sa, že zariadenie pracuje v príslušnom teplotnom rozsahu.

Zlepšenie kvality filmu: povlak CVD SiC môže poskytnúť plochý, jednotný povrch, ktorý poskytuje dobrý základ pre rast filmu. Môže znížiť chyby spôsobené nesúladom mriežky, zlepšiť kryštalinitu a kvalitu filmu, a tým zlepšiť výkon a spoľahlivosť epitaxného filmu.

Základné fyzikálne vlastnosti CVD SiC povlaku:

Priemyselný reťazec:

Výrobný obchod