Podpora potiahnutá SiC pre LPE PE2061S

VeTek Semiconductor je popredným SiC potiahnutým nosičom pre LPE PE2061S výrobcu a inovátora v Číne. Špecializujeme sa na SiC povlakový materiál už mnoho rokov. Ponúkame SiC potiahnutý nosič pre LPE PE2061S navrhnutý špeciálne pre LPE kremíkový epitaxný reaktor. Táto podpera potiahnutá SiC pre LPE PE2061S je spodná časť susceptora hlavne. Vydrží vysokú teplotu 1600 stupňov Celzia, predlžuje životnosť grafitového náhradného dielu. Vitajte, ak nám pošlete dopyt.

Odoslať dopyt

Popis produktu

Vysoko kvalitnú SiC Coated Support pre LPE PE2061S ponúka čínsky výrobca VeTek Semiconductor. Kúpte si SiC Coated Support pre LPE PE2061S, ktorý je vysoko kvalitný priamo za nízku cenu.

VeTeK Semiconductor SiC Coated Support pre LPE PE2061S v silikónovom epitaxnom zariadení, ktorý sa používa v spojení so susceptorom valcového typu na podopretie a držanie epitaxných plátkov (alebo substrátov) počas procesu epitaxného rastu.

Spodná doska sa používa hlavne s valcovou epitaxnou pecou, valcová epitaxná pec má väčšiu reakčnú komoru a vyššiu efektivitu výroby ako plochý epitaxiálny susceptor.

Podpera má dizajn s okrúhlym otvorom a primárne sa používa na výstup výfukových plynov vo vnútri reaktora.

VeTeK Semiconductor SiC Coated Support pre LPE PE2061S je pre reaktorový systém s kvapalnou fázou epitaxie (LPE), s vysokou čistotou, rovnomerným povlakom, stabilitou pri vysokej teplote, odolnosťou proti korózii, vysokou tvrdosťou, vynikajúcou tepelnou vodivosťou, nízkym koeficientom tepelnej rozťažnosti a chemickou inertnosťou. .

Základné fyzikálne vlastnosti CVD SiC povlaku:

Základné fyzikálne vlastnosti CVD SiC povlaku
Nehnuteľnosť	Typická hodnota
Kryštálová štruktúra	FCC β fáza polykryštalická, hlavne (111) orientovaná
Hustota	3,21 g/cm³
Tvrdosť	Tvrdosť 2500 Vickers (záťaž 500g)
Veľkosť zrna	2 ~ 10 μm
Chemická čistota	99,99995 %
Tepelná kapacita	640 J·kg-1·K-1
Teplota sublimácie	2700 ℃
Ohybová pevnosť	415 MPa RT 4-bod
Youngov modul	Ohyb 430 Gpa 4pt, 1300 ℃
Tepelná vodivosť	300W·m-1·K-1
Tepelná expanzia (CTE)	4,5×10-6K-1