CVD SiC povlak Epitaxný susceptor

VeTek Semiconductor's CVD SiC Coating Epitaxy Susceptor je presne skonštruovaný nástroj určený na manipuláciu a spracovanie polovodičových plátkov. Tento epitaxný susceptor SiC povlaku hrá dôležitú úlohu pri podpore rastu tenkých filmov, epivrstvy a iných povlakov a dokáže presne kontrolovať teplotu a vlastnosti materiálu. Vítame vaše ďalšie otázky.

Odoslať dopyt

Popis produktu

CVD SiC Coating Epitaxy Susceptor je typMOCVD LED Epi Suceptor, ktorý hrá ústrednú úlohu v CVD reaktore. Ako Epi Susceptor nie je len zdrojom tepla, ale poskytuje aj stabilnú podpornú platformu pre substrát počas procesu nanášania.SiC povlakmôže účinne znížiť oxidáciu a kontamináciu grafitového susceptora v prostredí s vysokou teplotou, čím sa zabezpečí vysoká čistota naneseného materiálu.

Základnéfyzikálne vlastnosti povlaku CVD SiC:

Základné fyzikálne vlastnosti CVD SiC povlaku
Nehnuteľnosť	Typická hodnota
Kryštálová štruktúra	FCC β fáza polykryštalická, hlavne (111) orientovaná
Hustota	3,21 g/cm³
Tvrdosť	Tvrdosť 2500 Vickers (záťaž 500g)
Veľkosť zrna	2 ~ 10 μm
Chemická čistota	99,99995 %
Tepelná kapacita	640 J·kg^-1·K^-1
Teplota sublimácie	2700 ℃
Pevnosť v ohybe	415 MPa RT 4-bod
Youngov modul	Ohyb 430 Gpa 4pt, 1300 ℃
Tepelná vodivosť	300 W·m^-1·K^-1
Tepelná expanzia (CTE)	4,5 × 10^-6K^-1

CVD SiC povlak Epitaxný susceptor Výhody produktu:

● Presné nanášanie: Pomocou CVD SiC Coating Epitaxy Susceptor môžete dosiahnuť presne kontrolované nanášanie tenkých vrstiev a povlakov, aby ste získali vysokokvalitné a opakovateľné výsledky.

● Znížená kontaminácia: Povlak SiC minimalizuje riziko kontaminácie zEpi Suceptorna báze grafitu, zaisťuje čistotu ukladaného materiálu.

● Trvanlivosť: Povlak SiC zvyšuje odolnosť grafitového epitaxného susceptora proti oxidácii a chemickej korózii, čím mu dáva dlhšiu životnosť a vyššiu spoľahlivosť.

Semiconductor VeTeksa zaviazal poskytovať vysokokvalitné produkty a konkurencieschopné ceny. Či už jeAk je prijímač EPIalebo vysoko čistý grafitový EPI susceptor, môžeme splniť vaše potreby. Tešíme sa, že budeme vaším dlhodobým partnerom v Číne.

Semiconductor VeTekCVD SiC Coating Epitaxy Susceptor Obchody s produktmi: