príjemca EPI

Susceptor EPI od VeTek Semiconductor je navrhnutý pre náročné aplikácie epitaxných zariadení. Jeho grafitová štruktúra pokrytá karbidom kremíka (SiC) s vysokou čistotou ponúka vynikajúcu tepelnú odolnosť, rovnomernú tepelnú rovnomernosť pre konzistentnú hrúbku a odolnosť epitaxnej vrstvy a dlhotrvajúcu chemickú odolnosť. Tešíme sa na spoluprácu s Vami.

Odoslať dopyt

Popis produktu

VeTek Semiconductor je popredný výrobca čínskych prijímačov EPI, planetárnych prijímačov ALD a grafitových prijímačov s povlakom TaC. a náš EPI susceptor je dôležitou súčasťouepitaxný rastV procese výroby polovodičov. Jeho hlavnou funkciou je podopierať a ohrievať oblátku tak, aby na povrchu oblátky mohla rovnomerne narásť kvalitná epitaxná vrstva.

Susceptory EPI VeTek Semiconductors sú zvyčajne vyrobené z vysoko čistého grafitu a potiahnuté vrstvou karbidu kremíka (SiC).Tento dizajn má nasledujúce kľúčové výhody:

● Vysoká teplotná stabilita: Susceptor EPI môže zostať stabilný v prostredí s vysokou teplotou, čím sa zabezpečí rovnomerný rast epitaxnej vrstvy.

● Odolnosť proti korózii: Povlak SiC má vynikajúcu odolnosť proti korózii a môže odolávať erózii chemických plynov, čím sa predlžuje životnosť vaničky.

● Tepelná vodivosť: Vysoká tepelná vodivosť SiC materiálu zaisťuje rovnomerné rozloženie teploty plátku počas ohrevu, čím zlepšuje kvalitu epitaxnej vrstvy.

● Prispôsobenie koeficientu tepelnej rozťažnosti: Koeficient tepelnej rozťažnosti SiC je podobný ako u grafitu, čím sa predchádza problémom s odlupovaním povlaku v dôsledku tepelnej rozťažnosti a kontrakcie.