Tento článok popisuje hlavne nízkoteplotnú epitaxnú technológiu na báze GaN, vrátane kryštálovej štruktúry materiálov na báze GaN, 3. požiadavky na epitaxnú technológiu a implementačné riešenia, výhody nízkoteplotnej epitaxnej technológie založenej na princípoch PVD a perspektívy vývoja nízkoteplotn......
Čítaj viac