Oxidačné a difúzne pece sa používajú v rôznych oblastiach, ako sú polovodičové zariadenia, diskrétne zariadenia, optoelektronické zariadenia, výkonové elektronické zariadenia, solárne články a výroba integrovaných obvodov vo veľkom meradle. Používajú sa na procesy vrátane difúzie, oxidácie, žíhania, legovania a spekania plátkov.
VeTek Semiconductor je popredný výrobca špecializujúci sa na výrobu vysoko čistých komponentov z grafitu, karbidu kremíka a kremeňa v oxidačných a difúznych peciach. Zaviazali sme sa poskytovať vysokokvalitné komponenty pecí pre polovodičový a fotovoltaický priemysel a sme v popredí technológie povrchových náterov, ako sú CVD-SiC, CVD-TaC, pyrokarbón atď.
Vysoká teplotná odolnosť (až 1600 ℃)
Vynikajúca tepelná vodivosť a tepelná stabilita
Dobrá chemická odolnosť proti korózii
Nízky koeficient tepelnej rozťažnosti
Vysoká pevnosť a tvrdosť
Dlhá životnosť
V oxidačných a difúznych peciach v dôsledku prítomnosti vysokoteplotných a korozívnych plynov mnohé komponenty vyžadujú použitie materiálov odolných voči vysokej teplote a korózii, medzi ktorými je bežne používaný karbid kremíka (SiC). Nasledujú bežné zložky karbidu kremíka, ktoré sa nachádzajú v oxidačných peciach a difúznych peciach:
Oblátkový čln
Loď na doštičky z karbidu kremíka je nádoba používaná na prepravu kremíkových doštičiek, ktoré znesú vysoké teploty a nereagujú s kremíkovými doskami.
Rúrka pece
Rúrka pece je základnou súčasťou difúznej pece, ktorá sa používa na umiestnenie kremíkových plátkov a riadenie reakčného prostredia. Rúry pece z karbidu kremíka majú vynikajúcu odolnosť voči vysokej teplote a korózii.
Odrazová doska
Používa sa na reguláciu prúdenia vzduchu a rozloženia teploty vo vnútri pece
Ochranná trubica termočlánku
Používa sa na ochranu termočlánkov na meranie teploty pred priamym kontaktom s korozívnymi plynmi.
Konzolové pádlo
Konzolové lopatky z karbidu kremíka sú odolné voči vysokej teplote a korózii a používajú sa na prepravu kremíkových člnov alebo kremenných člnov nesúcich kremíkové doštičky do rúrok difúznej pece.
Plynový vstrekovač
Používa sa na zavádzanie reakčného plynu do pece, musí byť odolný voči vysokej teplote a korózii.
Lodný nosič
Lodný nosič z karbidu kremíka sa používa na upevnenie a podopretie kremíkových plátkov, ktoré majú výhody, ako je vysoká pevnosť, odolnosť proti korózii a dobrá štrukturálna stabilita.
Dvere pece
Povlaky alebo komponenty z karbidu kremíka sa môžu použiť aj na vnútornej strane dvierok pece.
Vyhrievacie teleso
Vyhrievacie prvky z karbidu kremíka sú vhodné pre vysoké teploty, vysoký výkon a môžu rýchlo zvýšiť teplotu nad 1000 ℃.
SiC vložka
Používa sa na ochranu vnútornej steny rúrok pece, môže pomôcť znížiť straty tepelnej energie a vydržať drsné prostredie, ako je vysoká teplota a vysoký tlak.
VeTek Semiconductor je popredným výrobcom a inovátorom vysoko čistých SiC konzolových pádlov v Číne. Konzolové lopatky SiC s vysokou čistotou sa bežne používajú v polovodičových difúznych peciach ako platformy na prenos alebo nakladanie plátkov. VeTek Semiconductor sa zaviazal poskytovať pokročilé technológie a produktové riešenia pre polovodičový priemysel. Tešíme sa, že sa staneme vaším dlhodobým partnerom v Číne.
Čítaj viacOdoslať dopytAko profesionálny výrobca a dodávateľ doštičiek a podstavcov s vertikálnym stĺpcom v Číne je čln a podstavec Vetek Semiconductor vyrobený z vysoko čistého kremeňa alebo kremíkových uhlíkových keramických (SiC) materiálov s vynikajúcou odolnosťou voči vysokým teplotám, chemickou stabilitou a mechanickou pevnosťou. a je nepostrádateľným základným komponentom v procese výroby polovodičov. Vitajte na vašej ďalšej konzultácii.
Čítaj viacOdoslať dopytVetek Semiconductor Contiguous Wafer Boat je moderné zariadenie na spracovanie polovodičov. Štruktúra produktu Contiguous Wafer Boat je starostlivo navrhnutá tak, aby zabezpečila efektívne spracovanie a výrobu presných oblátok. Vetek Semiconductor sa zaviazal poskytovať vynikajúce technológie a produktové riešenia pre polovodičový priemysel. Tešíme sa, že sa staneme vaším dlhodobým partnerom v Číne.
Čítaj viacOdoslať dopytVeTek Semiconductor je profesionálny výrobca a dodávateľ vodiaceho krúžku potiahnutého TaC, horizontálneho nosiča doštičiek SiC a susceptorov potiahnutých SiC v Číne. Zaviazali sme sa poskytovať dokonalú technickú podporu a špičkové produktové riešenia pre polovodičový priemysel. Vitajte a kontaktujte nás.
Čítaj viacOdoslať dopytVeTek Semiconductor SiC Wafer Boat je veľmi výkonný produkt. Náš SiC Wafer Boat sa zvyčajne používa v polovodičových oxidačných difúznych peciach, aby sa zabezpečilo rovnomerné rozloženie teploty na plátku a zlepšila sa kvalita spracovania kremíkového plátku. Vysoká teplotná stabilita a vysoká tepelná vodivosť SiC materiálov zaisťuje efektívne a spoľahlivé spracovanie polovodičov. Zaviazali sme sa poskytovať kvalitné produkty za konkurencieschopné ceny a tešíme sa, že budeme vaším dlhodobým partnerom v Číne.
Čítaj viacOdoslať dopytVeTek Semiconductor poskytuje vysokovýkonné procesné elektrónky SiC pre výrobu polovodičov. Naše procesné rúrky SiC vynikajú v oxidačných a difúznych procesoch. Vďaka vynikajúcej kvalite a remeselnému spracovaniu ponúkajú tieto elektrónky stabilitu pri vysokej teplote a tepelnú vodivosť pre efektívne spracovanie polovodičov. Ponúkame konkurencieschopné ceny a snažíme sa byť vaším dlhodobým partnerom v Číne.
Čítaj viacOdoslať dopyt