Oxidačné a difúzne pece sa používajú v rôznych oblastiach, ako sú polovodičové zariadenia, diskrétne zariadenia, optoelektronické zariadenia, výkonové elektronické zariadenia, solárne články a výroba integrovaných obvodov vo veľkom meradle. Používajú sa na procesy vrátane difúzie, oxidácie, žíhania, legovania a spekania plátkov.
VeTek Semiconductor je popredný výrobca špecializujúci sa na výrobu vysoko čistých komponentov z grafitu, karbidu kremíka a kremeňa v oxidačných a difúznych peciach. Zaviazali sme sa poskytovať vysokokvalitné komponenty pecí pre polovodičový a fotovoltaický priemysel a sme v popredí technológie povrchových náterov, ako sú CVD-SiC, CVD-TaC, pyrokarbón atď.
Vysoká teplotná odolnosť (až 1600 ℃)
Vynikajúca tepelná vodivosť a tepelná stabilita
Dobrá chemická odolnosť proti korózii
Nízky koeficient tepelnej rozťažnosti
Vysoká pevnosť a tvrdosť
Dlhá životnosť
V oxidačných a difúznych peciach v dôsledku prítomnosti vysokoteplotných a korozívnych plynov mnohé komponenty vyžadujú použitie materiálov odolných voči vysokej teplote a korózii, medzi ktorými je bežne používaný karbid kremíka (SiC). Nasledujú bežné zložky karbidu kremíka, ktoré sa nachádzajú v oxidačných peciach a difúznych peciach:
Oblátkový čln
Loď na doštičky z karbidu kremíka je nádoba používaná na prepravu kremíkových doštičiek, ktoré znesú vysoké teploty a nereagujú s kremíkovými doskami.
Rúrka pece
Rúrka pece je základnou súčasťou difúznej pece, ktorá sa používa na umiestnenie kremíkových plátkov a riadenie reakčného prostredia. Rúry pece z karbidu kremíka majú vynikajúcu odolnosť voči vysokej teplote a korózii.
Odrazová doska
Používa sa na reguláciu prúdenia vzduchu a rozloženia teploty vo vnútri pece
Ochranná trubica termočlánku
Používa sa na ochranu termočlánkov na meranie teploty pred priamym kontaktom s korozívnymi plynmi.
Konzolové pádlo
Konzolové lopatky z karbidu kremíka sú odolné voči vysokej teplote a korózii a používajú sa na prepravu kremíkových člnov alebo kremenných člnov nesúcich kremíkové doštičky do rúrok difúznej pece.
Plynový vstrekovač
Používa sa na zavádzanie reakčného plynu do pece, musí byť odolný voči vysokej teplote a korózii.
Lodný nosič
Lodný nosič z karbidu kremíka sa používa na upevnenie a podopretie kremíkových plátkov, ktoré majú výhody, ako je vysoká pevnosť, odolnosť proti korózii a dobrá štrukturálna stabilita.
Dvere pece
Povlaky alebo komponenty z karbidu kremíka sa môžu použiť aj na vnútornej strane dvierok pece.
Vyhrievacie teleso
Vyhrievacie prvky z karbidu kremíka sú vhodné pre vysoké teploty, vysoký výkon a môžu rýchlo zvýšiť teplotu nad 1000 ℃.
SiC vložka
Používa sa na ochranu vnútornej steny rúrok pece, môže pomôcť znížiť straty tepelnej energie a vydržať drsné prostredie, ako je vysoká teplota a vysoký tlak.
VeTek Semiconductor SiC Cantilever Paddle je veľmi výkonný produkt. Naša konzolová lopatka SiC sa zvyčajne používa v peciach na tepelné spracovanie na manipuláciu a podporu kremíkových plátkov, chemické nanášanie pár (CVD) a iné procesy spracovania v procesoch výroby polovodičov. Vysoká teplotná stabilita a vysoká tepelná vodivosť SiC materiálu zaisťuje vysokú účinnosť a spoľahlivosť v procese spracovania polovodičov. Zaviazali sme sa poskytovať vysokokvalitné produkty za konkurencieschopné ceny a tešíme sa, že sa staneme vaším dlhodobým partnerom v Číne.
Čítaj viacOdoslať dopytVeTek Semiconductor je profesionálny výrobca a dodávateľ v Číne pre čln z karbidu kremíka pre horizontálnu pec, s dlhoročnými skúsenosťami v oblasti výskumu a vývoja a výroby, dokáže dobre kontrolovať kvalitu a ponúka konkurencieschopnú cenu. Môžete si byť istí, že si od nás kúpite doštičkový čln z karbidu kremíka pre horizontálnu pec.
Čítaj viacOdoslať dopytVeTek Semiconductor je profesionálny výrobca a dodávateľ v Číne pre čln z karbidu kremíka potiahnutý SiC, s dlhoročnými skúsenosťami v oblasti výskumu a vývoja a výroby, môže dobre kontrolovať kvalitu a ponúkať konkurencieschopnú cenu. Vitajte na návšteve našej továrne a máte ďalšiu diskusiu o spolupráci.
Čítaj viacOdoslať dopytKonzolová lopatka z karbidu kremíka VeTek Semiconductor je dôležitou súčasťou v procese výroby polovodičov, obzvlášť vhodná pre difúzne pece alebo pece LPCVD vo vysokoteplotných procesoch, ako je difúzia a RTP. Naša konzolová lopatka z karbidu kremíka je starostlivo navrhnutá a vyrobená s vynikajúcou odolnosťou voči vysokým teplotám a mechanickou pevnosťou a môže bezpečne a spoľahlivo prepravovať doštičky do procesnej trubice v náročných procesných podmienkach pre rôzne vysokoteplotné procesy, ako je difúzia a RTP. Tešíme sa, že sa staneme vaším dlhodobým partnerom v Číne.
Čítaj viacOdoslať dopytVeTek Semiconductor High Pure Silicon Carbide Wafer Carrier sú dôležitými komponentmi pri spracovaní polovodičov, ktoré sú určené na bezpečné držanie a prepravu jemných kremíkových plátkov, ktoré zohrávajú kľúčovú úlohu vo všetkých fázach výroby. Nosiče doštičiek z vysoko čistého karbidu kremíka od VeTek Semiconductor sú starostlivo navrhnuté a vyrobené tak, aby zabezpečili vynikajúci výkon a spoľahlivosť. VeTek Semiconductor je odhodlaný poskytovať kvalitné produkty za konkurencieschopné ceny a tešíme sa, že budeme vaším dlhodobým partnerom v Číne.
Čítaj viacOdoslať dopytVysoko čistý kremíkový doštičkový čln VeTek Semiconductor je vyrobený z extrémne čistého materiálu karbidu kremíka s vynikajúcou tepelnou stabilitou, mechanickou pevnosťou a chemickou odolnosťou. Loď na doštičky z karbidu kremíka s vysokou čistotou sa používa v aplikáciách horúcej zóny pri výrobe polovodičov, najmä vo vysokoteplotnom prostredí, a hrá dôležitú úlohu pri ochrane doštičiek, preprave materiálov a udržiavaní stabilných procesov. VeTek Semiconductor bude pokračovať v usilovnej práci na inováciách a zlepšovaní výkonu vysokočistého kremíkového doštičkového člna, aby vyhovoval meniacim sa potrebám výroby polovodičov. Tešíme sa, že sa staneme vaším dlhodobým partnerom v Číne.
Čítaj viacOdoslať dopyt