Porézny karbid tantalu

VeTek polovodičový porézny karbid tantalu (TaC) je vysoko výkonný keramický materiál, ktorý kombinuje vlastnosti tantalu a uhlíka. Jeho porézna štruktúra je veľmi vhodná pre špecifické aplikácie vo vysokých teplotách a extrémnych prostrediach. TaC kombinuje vynikajúcu tvrdosť, tepelnú stabilitu a chemickú odolnosť, čo z neho robí ideálnu voľbu materiálu pri spracovaní polovodičov.

Porézny karbid tantalu (TaC) je zložený z tantalu (Ta) a uhlíka (C), v ktorých tantal vytvára silnú chemickú väzbu s atómami uhlíka, čo dáva materiálu extrémne vysokú životnosť a odolnosť proti opotrebeniu. Pórovitá štruktúra porézneho TaC sa vytvára počas výrobného procesu materiálu a pórovitosť možno kontrolovať podľa špecifických potrieb aplikácie. Tento produkt je zvyčajne vyrábaný spoločnosťouchemická depozícia z pár (CVD)spôsob, ktorý zaisťuje presnú kontrolu veľkosti a distribúcie jeho pórov.

Molekulárna štruktúra karbidu tantalu

Polovodičový porézny karbid tantalu (TaC) VeTek má nasledujúce vlastnosti produktu:

- Pórovitosť: Porézna štruktúra mu dáva rôzne funkcie v špecifických aplikačných scenároch, vrátane difúzie plynu, filtrácie alebo riadeného rozptylu tepla.

- Vysoká teplota topenia: Karbid tantalu má extrémne vysoký bod topenia približne 3 880 °C, čo je vhodné pre prostredie s extrémne vysokou teplotou.

- Vynikajúca tvrdosť: Porézny TaC má extrémne vysokú tvrdosť okolo 9-10 v Mohsovej stupnici tvrdosti, podobne ako diamant. a môže odolávať mechanickému opotrebovaniu v extrémnych podmienkach.

- Tepelná stabilita: Materiál karbidu tantalu (TaC) môže zostať stabilný v prostrediach s vysokou teplotou a má silnú tepelnú stabilitu, čo zabezpečuje jeho konzistentný výkon v prostrediach s vysokou teplotou.

- Vysoká tepelná vodivosť: Napriek svojej pórovitosti si porézny karbid tantalu stále zachováva dobrú tepelnú vodivosť a zabezpečuje efektívny prenos tepla.

- Nízky koeficient tepelnej rozťažnosti: Nízky koeficient tepelnej rozťažnosti karbidu tantalu (TaC) pomáha materiálu zostať rozmerovo stabilný pri výrazných teplotných výkyvoch a znižuje vplyv tepelného namáhania.

Fyzikálne vlastnosti povlaku TaC：

Pri výrobe polovodičov hrá porézny karbid tantalu (TaC) nasledujúcu špecifickú kľúčovú úlohus:

Pri vysokoteplotných procesoch ako naprplazmové leptaniea CVD, VeTek polovodičový porézny karbid tantalu sa často používa ako ochranný povlak pre spracovateľské zariadenia. Je to spôsobené silnou odolnosťou proti koróziiTaC povlaka jeho vysokoteplotnej stability. Tieto vlastnosti zabezpečujú, že účinne chráni povrchy vystavené reaktívnym plynom alebo extrémnym teplotám, čím zabezpečuje normálnu reakciu vysokoteplotných procesov.

V difúznych procesoch môže porézny karbid tantalu slúžiť ako účinná difúzna bariéra, ktorá zabraňuje miešaniu materiálov pri vysokoteplotných procesoch. Táto vlastnosť sa často používa na riadenie difúzie dopujúcich látok v procesoch, ako je implantácia iónov a kontrola čistoty polovodičových doštičiek.

Porézna štruktúra polovodičového porézneho karbidu tantalu VeTek je veľmi vhodná pre prostredia spracovania polovodičov, ktoré vyžadujú presné riadenie prietoku plynu alebo filtráciu. V tomto procese hrá pórovitý TaC hlavne úlohu filtrácie a distribúcie plynu. Jeho chemická inertnosť zaisťuje, že sa počas procesu filtrácie nedostanú žiadne nečistoty. To účinne zaručuje čistotu spracovaného produktu.

Povlak karbidu tantalu (TaC) na mikroskopickom priereze: