Planetárny rotačný disk potiahnutý karbidom tantalu

VeTek Semiconductor je popredný výrobca a inovátor planetárnych rotačných diskov s povlakom z karbidu tantalu v Číne. Už mnoho rokov sa špecializujeme na keramické povlaky. Naše produkty majú vysokú čistotu a odolnosť voči vysokej teplote. Tešíme sa, že sa staneme vaším dlhodobým partnerom v Čína.

Odoslať dopyt

Popis produktu

Vysoko kvalitný planetárny rotačný disk potiahnutý karbidom tantalu ponúka čínsky výrobca VeTek Semiconductor. KúpiťPotiahnutý karbidom tantaluPlanetárny rotačný disk, ktorý je vysoko kvalitný priamo s nízkou cenou.

Planétový rotačný disk potiahnutý karbidom tantalu je príslušenstvo navrhnuté pre systém AIXTRON G10 MOCVD s cieľom zvýšiť efektivitu a kvalitu výroby polovodičov. Planétový rotačný disk potiahnutý karbidom tantalu, vyrobený z vysoko kvalitných materiálov a vyrobený s presnosťou, ponúka vynikajúci výkon a spoľahlivosť preKovovo-organické chemické vylučovanie z pár (MOCVD) procesy.

Planetárny disk je skonštruovaný s použitím grafitového substrátu potiahnutéhoCVD TaCposkytuje vynikajúcu tepelnú stabilitu, vysokú čistotu a odolnosť voči vysokým teplotám.

Planetárny disk, ktorý je možné prispôsobiť rôznym veľkostiam polovodičových doštičiek, je vhodný pre rôzne výrobné požiadavky. Jeho robustná konštrukcia je špeciálne navrhnutá tak, aby odolala náročným prevádzkovým podmienkam systému MOCVD, zaisťuje dlhotrvajúci výkon a minimalizuje prestoje a náklady na údržbu spojené s nosičmi plátkov a susceptormi.

S planetárnym diskom,Systém AIXTRON G10 MOCVDmôže dosiahnuť vyššiu účinnosť a vynikajúce výsledky pri výrobe polovodičov. Jeho výnimočná tepelná stabilita, kompatibilita s rôznymi veľkosťami plátkov a spoľahlivý výkon z neho robia základný nástroj na optimalizáciu efektivity výroby a dosahovanie vynikajúcich výsledkov v náročnom prostredí MOCVD.

Produktový parameter planetárneho rotačného disku potiahnutého karbidom tantalu:

Fyzikálne vlastnosti povlaku TaC
Hustota	14,3 (g/cm³)
Špecifická emisivita	0.3
Koeficient tepelnej rozťažnosti	6,3*10^-6/K
Tvrdosť (HK)	2000 HK
Odpor	1×10^-5Ohm*cm
Tepelná stabilita	<2500 ℃
Veľkosť grafitu sa mení	-10~-20um
Hrúbka povlaku	≥20um typická hodnota (35um±10um)