VeTek Semiconductor je váš inovatívny partner v oblasti spracovania polovodičov. Vďaka nášmu rozsiahlemu portfóliu kombinácií materiálov polovodičovej keramiky z karbidu kremíka, možnostiam výroby komponentov a službám aplikačného inžinierstva vám môžeme pomôcť prekonať významné výzvy. Technická keramika z karbidu kremíka je široko používaná v polovodičovom priemysle vďaka ich výnimočnému materiálovému výkonu. Ultra čistá keramika z karbidu kremíka VeTek Semiconductor sa často používa počas celého cyklu výroby a spracovania polovodičov.
VeTek Semiconductor poskytuje skonštruované keramické komponenty špeciálne navrhnuté pre dávkovú difúziu a požiadavky LPCVD vrátane:
• Usmerňovače a držiaky
• Injektory
• Vložky a procesné rúrky
• Konzolové pádla z karbidu kremíka
• Oblátkové člny a podstavce
Konzolové pádlo SiC Procesné rúrky SiC Procesná trubica z karbidu kremíka SiC vertikálny plátkový čln SiC horizontálny plátkový čln SiC horizontálna štvorcová oblátková loď SiC LPCVD oblátkový čln SiC horizontálny tanierový čln SiC okrúhly čln s oblátkami
Minimalizujte kontamináciu a neplánovanú údržbu s vysoko čistými komponentmi navrhnutými pre náročné spracovanie plazmového leptania, vrátane:
Zaostrovacie krúžky
Trysky
Štíty
Sprchové hlavice
Okná / veká
Ďalšie vlastné komponenty
VeTek Semiconductor poskytuje pokročilé materiálové komponenty prispôsobené pre aplikácie vysokoteplotného tepelného spracovania v polovodičovom priemysle. Tieto aplikácie zahŕňajú RTP, Epi procesy, difúziu, oxidáciu a žíhanie. Naša technická keramika je navrhnutá tak, aby odolávala teplotným šokom a poskytovala spoľahlivý a konzistentný výkon. S komponentmi VeTek Semiconductor môžu výrobcovia polovodičov dosiahnuť efektívne a vysokokvalitné tepelné spracovanie, čo prispieva k celkovému úspechu výroby polovodičov.
• Difúzory
• Izolátory
• Susceptory
• Ďalšie vlastné tepelné komponenty
Fyzikálne vlastnosti rekryštalizovaného karbidu kremíka | |
Nehnuteľnosť | Typická hodnota |
Pracovná teplota (°C) | 1600 °C (s kyslíkom), 1700 °C (redukujúce prostredie) |
obsah SiC / SiC | > 99,96 % |
Obsah Si / Voľný Si | < 0,1 % |
Objemová hmotnosť | 2,60-2,70 g/cm3 |
Zjavná pórovitosť | < 16 % |
Pevnosť v tlaku | > 600 MPa |
Pevnosť v ohybe za studena | 80-90 MPa (20 °C) |
Pevnosť v ohybe za tepla | 90-100 MPa (1400 °C) |
Tepelná rozťažnosť pri 1500°C | 4,70 ± 10-6/°C |
Tepelná vodivosť pri 1200°C | 23 W/m•K |
Modul pružnosti | 240 GPa |
Odolnosť voči tepelným šokom | Extremne dobry |
VeTek Semiconductor je popredným výrobcom a inovátorom vysoko čistých SiC konzolových pádlov v Číne. Konzolové lopatky SiC s vysokou čistotou sa bežne používajú v polovodičových difúznych peciach ako platformy na prenos alebo nakladanie plátkov. VeTek Semiconductor sa zaviazal poskytovať pokročilé technológie a produktové riešenia pre polovodičový priemysel. Tešíme sa, že sa staneme vaším dlhodobým partnerom v Číne.
Čítaj viacOdoslať dopytAko profesionálny výrobca a dodávateľ doštičiek a podstavcov s vertikálnym stĺpcom v Číne je čln a podstavec Vetek Semiconductor vyrobený z vysoko čistého kremeňa alebo kremíkových uhlíkových keramických (SiC) materiálov s vynikajúcou odolnosťou voči vysokým teplotám, chemickou stabilitou a mechanickou pevnosťou. a je nepostrádateľným základným komponentom v procese výroby polovodičov. Vitajte na vašej ďalšej konzultácii.
Čítaj viacOdoslať dopytVetek Semiconductor Contiguous Wafer Boat je moderné zariadenie na spracovanie polovodičov. Štruktúra produktu Contiguous Wafer Boat je starostlivo navrhnutá tak, aby zabezpečila efektívne spracovanie a výrobu presných oblátok. Vetek Semiconductor sa zaviazal poskytovať vynikajúce technológie a produktové riešenia pre polovodičový priemysel. Tešíme sa, že sa staneme vaším dlhodobým partnerom v Číne.
Čítaj viacOdoslať dopytVeTek Semiconductor je profesionálny čínsky výrobca kremíkového izolačného plátku, ALD Planetary Base a TaC Coated Graphite Base. Silicon On Insulator Wafer spoločnosti VeTek Semiconductor je dôležitým materiálom polovodičového substrátu a vďaka svojim vynikajúcim vlastnostiam produktu zohráva kľúčovú úlohu vo vysokovýkonných, nízkoenergetických, vysokointegračných a RF aplikáciách. Tešíme sa na ďalšiu spoluprácu s Vami.
Čítaj viacOdoslať dopytVeTek Semiconductor je profesionálny výrobca a dodávateľ vodiaceho krúžku potiahnutého TaC, horizontálneho nosiča doštičiek SiC a susceptorov potiahnutých SiC v Číne. Zaviazali sme sa poskytovať dokonalú technickú podporu a špičkové produktové riešenia pre polovodičový priemysel. Vitajte a kontaktujte nás.
Čítaj viacOdoslať dopytVeTek Semiconductor SiC Wafer Boat je veľmi výkonný produkt. Náš SiC Wafer Boat sa zvyčajne používa v polovodičových oxidačných difúznych peciach, aby sa zabezpečilo rovnomerné rozloženie teploty na plátku a zlepšila sa kvalita spracovania kremíkového plátku. Vysoká teplotná stabilita a vysoká tepelná vodivosť SiC materiálov zaisťuje efektívne a spoľahlivé spracovanie polovodičov. Zaviazali sme sa poskytovať kvalitné produkty za konkurencieschopné ceny a tešíme sa, že budeme vaším dlhodobým partnerom v Číne.
Čítaj viacOdoslať dopyt