VeTek Semiconductor je váš inovatívny partner v oblasti spracovania polovodičov. Vďaka nášmu rozsiahlemu portfóliu kombinácií materiálov polovodičovej keramiky z karbidu kremíka, možnostiam výroby komponentov a službám aplikačného inžinierstva vám môžeme pomôcť prekonať významné výzvy. Technická keramika z karbidu kremíka je široko používaná v polovodičovom priemysle vďaka ich výnimočnému materiálovému výkonu. Ultra čistá keramika z karbidu kremíka VeTek Semiconductor sa často používa počas celého cyklu výroby a spracovania polovodičov.
VeTek Semiconductor poskytuje skonštruované keramické komponenty špeciálne navrhnuté pre dávkovú difúziu a požiadavky LPCVD vrátane:
• Usmerňovače a držiaky
• Injektory
• Vložky a procesné rúrky
• Konzolové pádla z karbidu kremíka
• Oblátkové člny a podstavce
Konzolové pádlo SiC Procesné rúrky SiC Procesná trubica z karbidu kremíka SiC vertikálny plátkový čln SiC horizontálny plátkový čln SiC horizontálna štvorcová oblátková loď SiC LPCVD oblátkový čln SiC horizontálny tanierový čln SiC okrúhly čln s oblátkami
Minimalizujte kontamináciu a neplánovanú údržbu s vysoko čistými komponentmi navrhnutými pre náročné spracovanie plazmového leptania, vrátane:
Zaostrovacie krúžky
Trysky
Štíty
Sprchové hlavice
Okná / veká
Ďalšie vlastné komponenty
VeTek Semiconductor poskytuje pokročilé materiálové komponenty prispôsobené pre aplikácie vysokoteplotného tepelného spracovania v polovodičovom priemysle. Tieto aplikácie zahŕňajú RTP, Epi procesy, difúziu, oxidáciu a žíhanie. Naša technická keramika je navrhnutá tak, aby odolávala teplotným šokom a poskytovala spoľahlivý a konzistentný výkon. S komponentmi VeTek Semiconductor môžu výrobcovia polovodičov dosiahnuť efektívne a vysokokvalitné tepelné spracovanie, čo prispieva k celkovému úspechu výroby polovodičov.
• Difúzory
• Izolátory
• Susceptory
• Ďalšie vlastné tepelné komponenty
Fyzikálne vlastnosti rekryštalizovaného karbidu kremíka | |
Nehnuteľnosť | Typická hodnota |
Pracovná teplota (°C) | 1600 °C (s kyslíkom), 1700 °C (redukujúce prostredie) |
obsah SiC / SiC | > 99,96 % |
Obsah Si / Voľný Si | < 0,1 % |
Objemová hmotnosť | 2,60-2,70 g/cm3 |
Zjavná pórovitosť | < 16 % |
Pevnosť v tlaku | > 600 MPa |
Pevnosť v ohybe za studena | 80-90 MPa (20 °C) |
Pevnosť v ohybe za tepla | 90-100 MPa (1400 °C) |
Tepelná rozťažnosť pri 1500°C | 4,70 ± 10-6/°C |
Tepelná vodivosť pri 1200°C | 23 W/m•K |
Modul pružnosti | 240 GPa |
Odolnosť voči tepelným šokom | Extremne dobry |
Vysoko čistý kremíkový doštičkový čln VeTek Semiconductor je vyrobený z extrémne čistého materiálu karbidu kremíka s vynikajúcou tepelnou stabilitou, mechanickou pevnosťou a chemickou odolnosťou. Loď na doštičky z karbidu kremíka s vysokou čistotou sa používa v aplikáciách horúcej zóny pri výrobe polovodičov, najmä vo vysokoteplotnom prostredí, a hrá dôležitú úlohu pri ochrane doštičiek, preprave materiálov a udržiavaní stabilných procesov. VeTek Semiconductor bude pokračovať v usilovnej práci na inováciách a zlepšovaní výkonu vysokočistého kremíkového doštičkového člna, aby vyhovoval meniacim sa potrebám výroby polovodičov. Tešíme sa, že sa staneme vaším dlhodobým partnerom v Číne.
Čítaj viacOdoslať dopytVeTek Semiconductor je profesionálny výrobca a dodávateľ, ktorý sa venuje poskytovaniu vysokokvalitného prášku ultračistého karbidu kremíka pre rast kryštálov. S čistotou až 99,999 % hm. a extrémne nízkymi hladinami nečistôt dusíka, bóru, hliníka a iných nečistôt je špeciálne navrhnutý na zlepšenie poloizolačných vlastností vysoko čistého karbidu kremíka. Vitajte na dotaze a spolupracujte s nami!
Čítaj viacOdoslať dopyt