Prsteň potiahnutý karbidom tantalu

Polovodičový prstenec s povlakom z karbidu tantalu VeTek je vyrobený zgrafita potiahnuté karbidom tantalu, čo je kombinácia, ktorá využíva najlepšie vlastnosti oboch materiálov na zabezpečenie vynikajúceho výkonu a dlhej životnosti. 

Povlak TaC na povlakovom prstenci z karbidu tantalu zaisťuje, že zostáva chemicky inertný v reaktívnych atmosférach pecí na rast kryštálov SiC, ktoré často zahŕňajú plyny, ako je vodík, argón a dusík. Táto chemická inertnosť je životne dôležitá, aby sa zabránilo akejkoľvek kontaminácii rastúceho kryštálu, čo by mohlo viesť k poruchám a zníženiu výkonu finálnych polovodičových produktov. Okrem toho tepelná stabilita poskytovaná povlakom TaC umožňuje, aby povlakový krúžok z karbidu tantalu efektívne fungoval pri vysokých teplotách požadovaných pre rast kryštálov SiC, typicky presahujúcich 2000 °C.

Mechanické vlastnosti TaC výrazne znižujú opotrebovanie povlakového krúžku z karbidu tantalu. To je rozhodujúce kvôli opakujúcej sa povahe procesu rastu kryštálov, ktorý vystavuje vodiaci krúžok častým tepelným cyklom a mechanickému namáhaniu. Tvrdosť a odolnosť proti opotrebeniu TaC zaisťujú, že krúžok s povlakom TaC si zachováva svoju štrukturálnu integritu a presné rozmery po dlhú dobu, čím sa minimalizuje potreba častých výmen a znižuje sa prestoje vo výrobnom procese. 

Okrem toho kombinácia grafitu a TaC v povlakovom prstenci z karbidu tantalu optimalizuje tepelné riadenie v peci na rast kryštálov. Vysoká tepelná vodivosť grafitu efektívne rozvádza teplo, zabraňuje vzniku horúcich miest a podporuje rovnomerný rast kryštálov. Medzitým povlak TaC slúži ako tepelná bariéra, ktorá chráni grafitové jadro pred priamym vystavením vysokým teplotám a reaktívnym plynom. Výsledkom tejto synergie medzi materiálom jadra a povlaku je vodiaci krúžok, ktorý nielenže odolá drsným podmienkamRast kryštálov SiCale tiež zvyšuje celkovú efektivitu a kvalitu procesu.

VeTek semiconductor Tantalum Carbide Coated Ring je základný komponent v polovodičovom priemysle, špeciálne navrhnutý pre rastKryštály karbidu kremíka. Jeho dizajn využíva silné stránky grafitu a karbidu tantalu, aby poskytoval výnimočný výkon v prostredí s vysokou teplotou a vysokým namáhaním. Povlak TaC zaisťuje chemickú inertnosť, mechanickú odolnosť a tepelnú stabilitu, ktoré sú rozhodujúce pre výrobu vysoko kvalitných kryštálov SiC. Udržiavaním svojej integrity a funkčnosti v extrémnych podmienkach podporuje krúžok efektívny a bezchybný rast kryštálov SiC, čo prispieva k rozvoju vysokovýkonných a vysokofrekvenčných polovodičových zariadení.

VeTek Semiconductor je popredným výrobcom a dodávateľomPovlak z karbidu tantalu, Povlak z karbidu kremíkaaŠpeciálny grafitv Číne. Dlho sme sa zaviazali poskytovať pokročilé technológie a produktové riešenia pre polovodičový priemysel a úprimne dúfame, že budeme vaším dlhodobým partnerom v Číne.

Povlak z karbidu tantalu (TaC).na mikroskopickom reze：

Prehľad opriemyselný reťazec epitaxie polovodičových čipov：