Skľučovadlo z karbidu kremíka

VeTek Semiconductor Silicon Carbide Wafer Chuck využíva vynikajúce vlastnosti materiálov z karbidu kremíka na splnenie prísnych požiadaviek výroby polovodičov, najmä pri spracovaní polovodičov, ktoré si vyžaduje extrémne vysokú presnosť a spoľahlivosť.

V procese spracovania polovodičov,Karbid kremíkamá vynikajúcu odolnosť voči vysokej teplote (môže pracovať stabilne až do 1400 °C), nízku vodivosť (SiC má relatívne nízku vodivosť, typicky 10^^-3S/m) a nízky koeficient tepelnej rozťažnosti (asi 4,0 × 10^^-6/°C), čo je nepostrádateľný a dôležitý materiál, zvlášť vhodný na výrobu skľučovadla z karbidu kremíka.

Počasproces epitaxného rastu, tenká vrstva polovodičového materiálu je nanesená na substrát, ktorý vyžaduje absolútnu stabilitu od plátku, aby sa zabezpečila rovnomerná a vysokokvalitná vrstva nanášania filmu. Vákuové skľučovadlo SiC to dosahuje vytvorením pevného, ​​konzistentného vákuového držania, aby sa zabránilo akémukoľvek pohybu alebo deformácii plátku.

Skľučovadlo z karbidu kremíka tiež ponúka vynikajúcu odolnosť voči tepelným šokom. Rýchle zmeny teploty sú bežné pri výrobe polovodičov a materiály, ktoré nevydržia tieto výkyvy, môžu prasknúť, ohnúť sa alebo zlyhať. Karbid kremíka má nízky koeficient tepelnej rozťažnosti a dokáže si zachovať svoj tvar a funkciu aj pri drastických zmenách teploty, čím zaisťuje, že plátok zostane bezpečný počas procesu epitaxie bez pohybu alebo nesprávneho zarovnania.

Navyše,proces epitaxiečasto zahŕňa reaktívne plyny a iné korozívne chemikálie. Chemická inertnosť skľučovadla SiC Wafer Chuck zaisťuje, že nie je ovplyvnené týmito drsnými prostrediami, zachováva si svoj výkon a predlžuje životnosť. Táto chemická odolnosť nielen znižuje frekvenciu výmeny Wafer Chuck, ale tiež zabezpečuje konzistentný výkon produktu počas viacerých výrobných cyklov, čo pomáha zlepšiť celkovú efektívnosť a nákladovú efektívnosť procesu výroby polovodičov.

VeTek Semiconductor je popredným výrobcom a dodávateľom výrobkov z karbidu kremíka Wafer Chuck v Číne. Vieme zabezpečiť rôzne druhy produktov Chuck ako naprPorézne keramické skľučovadlo SiC, Porézne vákuové skľučovadlo SiC, Porézne keramické vákuové skľučovadloaSkľučovadlo potiahnuté TaC, atď. VeTek Semiconductor sa zaviazal poskytovať pokročilé technológie a produktové riešenia pre polovodičový priemysel. Úprimne dúfame, že sa staneme vaším dlhodobým partnerom v Číne.

SEM ÚDAJE O CVDSIC FILM KRIŠTÁĽOVÁ ŠTRUKTÚRA：

VeTek Semiconductor Silicon Carbide Wafer Chuck Shops：