Podperná doska podstavca s povlakom TaC

VeTek Semiconductor je čínsky výrobca a dodávateľ, ktorý vyrába hlavne CVD TaC povlakové susceptory, vstupný krúžok, Wafer Chunck, TaC potiahnutý držiak, TaC Coating Pedestal Support Plate s dlhoročnými skúsenosťami. Dúfam, že s vami vybudujeme obchodný vzťah.

TaC keramika má bod topenia až 3880 ℃, vysokú tvrdosť (tvrdosť podľa Mohsa 9 ~ 10), veľkú tepelnú vodivosť (22 W·m-1·K−1), veľkú pevnosť v ohybe (340 ~ 400 MPa) a malú tepelnú rozťažnosť koeficient (6,6×10−6K−1) a vykazujú vynikajúcu termochemickú stabilitu a vynikajúce fyzikálne vlastnosti. Má dobrú chemickú a mechanickú kompatibilitu s grafitom a kompozitnými materiálmi C/C, takže povlak TaC je široko používaný v leteckom priemysle, tepelnej ochrane, raste monokryštálov a epitaxných reaktoroch, ako je Aixtron, reaktor LPE EPI v polovodičovom priemysle. Grafit potiahnutý TaC má lepšiu odolnosť proti chemickej korózii ako atrament s holým kameňom alebo grafit potiahnutý SiC, môže byť stabilne použitý pri 2200 ° vysokej teplote, nereaguje s mnohými kovovými prvkami, je treťou generáciou polovodičových monokryštálov, epitaxie a leptania doštičiek povlaku s najlepším výkonom, môže výrazne zlepšiť proces kontroly teploty a nečistôt, Príprava vysoko kvalitných plátkov z karbidu kremíka a súvisiacich epitaxných plátkov. Je obzvlášť vhodný na pestovanie monokryštálov GaN alebo AlN v zariadeniach MOCVD a monokryštálov SiC v zariadeniach PVT a kvalita pestovaného monokryštálu sa zjavne zlepšuje.

Povlak TaC a povlak SiC Náhradné diely vieme urobiť:

Parametre povlaku TaC:

Priemyselný reťazec:

Výrobný obchod