Rotačná doska povlaku TaC

Rotačná doska TaC povlaku VeTek Semiconductor má zloženie vysokej čistoty, obsah nečistôt menej ako 5 ppm a hustú a jednotnú štruktúru, ktorá sa široko používa v systémoch LPE EPI, systémoch Aixtron, systémoch Nuflare, systémoch TEL CVD, systémoch VEECO, TSI. systémov.

Vynikajúce mechanické vlastnosti:

Tvrdosť povlaku do 2300HV s vynikajúcou odolnosťou proti opotrebovaniu.

Priľnavosť medzi náterom a podkladom je silná a nie je ľahké odpadávať alebo odlupovať.

Povlak môže stále udržiavať dobrú štrukturálnu stabilitu pri vysokej teplote.

Vynikajúca odolnosť proti korózii:

Samotný materiál TaC má vynikajúcu chemickú stabilitu a odolnosť proti korózii.

Povlaky polovodičov VeTek fungujú dobre v rôznych prostrediach agresívnych plynov.

Dokáže účinne chrániť vnútorné komponenty zariadenia pred poškodením koróziou.

Vysoká povrchová úprava:

Polovodič VeTek využíva presný proces povrchovej úpravy na vytvorenie požadovaného povrchu.

Nízka drsnosť povrchu pomáha znižovať hromadenie a usadzovanie častíc.

Konzistencia náteru je dobrá:

Semiconductor VeTekmá systém kontroly kvality zvuku na zabezpečenie konzistentného výkonu medzi jednotlivými šaržami.

Hrúbka náteru je rovnomerne rozložená a nevyskytujú sa žiadne zjavné lokálne defekty.

Vynikajúci praktický aplikačný výkon:

Povlak TaC polovodičov VeTek je široko používaný u mnohých známych výrobcov epitaxných zariadení doma aj v zahraničí.

Fyzikálny parameter produktu rotačnej dosky potiahnutej TaC: