Porézny grafit potiahnutý karbidom tantalu

VeTek polovodičový porézny grafit potiahnutý karbidom tantalu sa stal kryštálom karbidu kremíka (SiC) vďaka svojej extrémne vysokej teplotnej odolnosti (bod topenia okolo 3880 °C), vynikajúcej tepelnej stabilite, mechanickej pevnosti a chemickej inertnosti v prostredí s vysokou teplotou. Nevyhnutný materiál v procese rastu. Najmä jeho porézna štruktúra poskytuje mnoho technických výhodproces rastu kryštálov. 

Nasleduje podrobná analýzaPorézny grafit potiahnutý karbidom tantaluhlavná úloha:

● Zlepšite účinnosť prietoku plynu a presne kontrolujte parametre procesu

Mikroporézna štruktúra porézneho grafitu môže podporovať rovnomernú distribúciu reakčných plynov (ako je karbidový plyn a dusík), čím sa optimalizuje atmosféra v reakčnej zóne. Táto charakteristika môže účinne zabrániť lokálnej akumulácii plynu alebo problémom s turbulenciou, zabezpečiť, že kryštály SiC sú rovnomerne namáhané počas celého procesu rastu a výrazne sa zníži miera defektov. Porézna štruktúra zároveň umožňuje presné nastavenie gradientov tlaku plynu, ďalej optimalizuje rýchlosť rastu kryštálov a zlepšuje konzistenciu produktu.

●  Znížte akumuláciu tepelného napätia a zlepšite integritu kryštálov

Vo vysokoteplotných prevádzkach elastické vlastnosti porézneho karbidu tantalu (TaC) výrazne zmierňujú koncentrácie tepelného napätia spôsobené teplotnými rozdielmi. Táto schopnosť je obzvlášť dôležitá pri pestovaní kryštálov SiC, čím sa znižuje riziko tvorby tepelných trhlín, čím sa zlepšuje integrita kryštálovej štruktúry a stabilita spracovania.

●  Optimalizujte distribúciu tepla a zvýšte efektivitu využitia energie

Povlak z karbidu tantalu poskytuje poréznemu grafitu nielen vyššiu tepelnú vodivosť, ale jeho porézne vlastnosti môžu tiež distribuovať teplo rovnomerne, čím sa zabezpečuje vysoko konzistentné rozloženie teploty v reakčnej oblasti. Tento jednotný tepelný manažment je základnou podmienkou výroby kryštálov SiC s vysokou čistotou. Môže tiež výrazne zlepšiť účinnosť vykurovania, znížiť spotrebu energie a urobiť výrobný proces hospodárnejším a efektívnejším.

●  Zvýšte odolnosť proti korózii a predĺžte životnosť komponentov

Plyny a vedľajšie produkty v prostredí s vysokou teplotou (ako je vodík alebo parná fáza karbidu kremíka) môžu spôsobiť ťažkú ​​koróziu materiálov. TaC Coating poskytuje vynikajúcu chemickú bariéru pre porézny grafit, výrazne znižuje rýchlosť korózie komponentu, čím predlžuje jeho životnosť. Okrem toho povlak zaisťuje dlhodobú stabilitu poréznej štruktúry, čím zaisťuje, že nie sú ovplyvnené vlastnosti prenosu plynu.

●  Účinne blokuje difúziu nečistôt a zaisťuje krištáľovú čistotu

Nepotiahnutá grafitová matrica môže uvoľňovať stopové množstvá nečistôt a povlak TaC pôsobí ako izolačná bariéra, ktorá zabraňuje týmto nečistotám difundovať do kryštálu SiC vo vysokoteplotnom prostredí. Tento tieniaci efekt je rozhodujúci pre zlepšenie kryštálovej čistoty a pomáha splniť prísne požiadavky polovodičového priemyslu na vysokokvalitné SiC materiály.

VeTek polovodičový porézny grafit potiahnutý karbidom tantalu výrazne zlepšuje efektivitu procesu a kvalitu kryštálov optimalizáciou toku plynu, znížením tepelného napätia, zlepšením tepelnej rovnomernosti, zvýšením odolnosti proti korózii a inhibíciou difúzie nečistôt počas procesu rastu kryštálov SiC. Aplikácia tohto materiálu zaisťuje nielen vysokú presnosť a čistotu vo výrobe, ale tiež výrazne znižuje prevádzkové náklady, čo z neho robí dôležitý pilier v modernej výrobe polovodičov.

Ešte dôležitejšie je, že VeTeksemi sa už dlho zaväzuje poskytovať pokročilé technológie a produktové riešenia pre priemysel výroby polovodičov a podporuje prispôsobené produktové služby porézneho grafitu s povlakom z karbidu tantalu. Úprimne sa tešíme, že sa staneme vaším dlhodobým partnerom v Číne.

Fyzikálne vlastnosti povlaku karbidu tantalu

Výroba polovodičov VeTek s poréznym grafitom potiahnutým karbidom tantalu