Robotické rameno na manipuláciu s plátkami

Vetek Semiconductor je profesionál v robotickom ramene na manipuláciu s plátkami vyrobenými technológiou tepelného striekania.

1. Technológia tepelného striekania môže účinne zlepšiť odolnosť ramena robota proti opotrebovaniu. Rameno robota na manipuláciu s plátkami sa počas prevádzky často dotýka plátkov a iných zariadení. Tento vysokofrekvenčný kontakt a pohyb môže ľahko spôsobiť opotrebovanie mechanických častí. Nastriekaním materiálov odolných voči opotrebeniu na povrch ramena robota možno výrazne znížiť opotrebenie dielov, predĺžiť životnosť ramena robota a znížiť náklady na údržbu.

2. Významnou výhodou technológie žiarového striekania je aj zlepšenie odolnosti proti korózii. V procese výroby polovodičov musí robotické rameno pracovať v prostredí plnom korozívnych plynov a chemických činidiel. Tieto chemikálie môžu spôsobiť koróziu ramena robota, čo ovplyvňuje jeho výkon a presnosť. Technológia tepelného nástreku môže na povrchu ramena robota vytvoriť hustý antikorózny povlak, ktorý účinne zabráni invázii korozívnych látok, čím sa zabezpečí stabilná prevádzka ramena robota v drsnom prostredí.

3. Technológia tepelného striekania môže tiež zvýšiť tepelnú stabilitu ramena robota. V procese výroby polovodičov budú niektoré procesy generovať vysoké teploty a rameno robota musí udržiavať presnú prevádzku v prostredí s vysokou teplotou. Technológia tepelného nástreku zaisťuje, že sa rameno robota nedeformuje ani nedegraduje pri vysokých teplotách potiahnutím povrchu ramena robota materiálmi s vysokou teplotnou stabilitou, čím sa zlepší spoľahlivosť a presnosť celej výrobnej linky.

4. Aplikácia antistatického náteru ďalej zlepšuje výkon ramena robota. Oblátky sú veľmi citlivé na statickú elektrinu a nahromadenie statickej elektriny môže spôsobiť kontamináciu povrchu plátku alebo poškodenie elektronických zariadení. Prostredníctvom technológie tepelného nástreku môže byť na povrchu ramena robota vytvorený antistatický povlak, ktorý účinne znižuje tvorbu statickej elektriny, chráni plátok pred poškodením statickou elektrinou a zaisťuje kvalitu a bezpečnosť produktu.

5. Technológia tepelného nástreku môže tiež znížiť kontamináciu ramena robota časticami počas prevádzky. Pri výrobe polovodičov môže každá kontaminácia malými časticami ovplyvniť kvalitu doštičky. Použitím technológie žiarového striekania možno na povrchu ramena robota vytvoriť hladký a hustý povlak, ktorý zníži odlupovanie častíc, zachová čistotu výrobného prostredia, a tým zlepší výťažnosť produktu.