Keramické vákuové skľučovadlo z hliníka

Alumina Ceramic Vacuum Chuck je držiak plátkov pre epitaxné procesy pri spracovaní polovodičov. Je to kľúčový nástroj na stabilizáciu plátkov a zabezpečenie rovnomerného rastu epitaxných vrstiev. Má široké využitie v epitaxných zariadeniach ako naprMOCVDaLPCVD.

Keramické vákuové skľučovadlo VeTek Semiconductor Alumina hrá dôležitú úlohu vo fázach stenčenia a brúsenia plátkov pri výrobe polovodičov. Tieto fázy zahŕňajú presné zníženie hrúbkyoblátkový substrátna zvýšenie odvodu tepla čipu, čo je nevyhnutné na zlepšenie účinnosti a životnosti polovodičových zariadení.

Kompatibilné s viacerými veľkosťami oblátok: Keramické vákuové skľučovadlo VeTek Semiconductor Alumina je navrhnuté tak, aby podporovalo širokú škálu veľkostí plátkov vrátane 2, 3, 4, 5, 6, 8 a 12 palcov. Táto prispôsobivosť ho robí vhodným pre rôzne prostredia výroby polovodičov, pričom zabezpečuje konzistentný a spoľahlivý výkon v rôznych veľkostiach plátkov.

Špičkové materiálové zloženie: Základňa keramického vákuového skľučovadla Alumina je vyrobená z ultračistého 99,9999 % oxidu hlinitého (Al₂O₃), ktorý ponúka vynikajúcu odolnosť voči chemickému napadnutiu a tepelnú stabilitu. Povrch skľučovadla je vyrobený z porézneho materiálukarbid kremíka (SiC). Porézny keramický materiál má hustú a jednotnú štruktúru, čo zlepšuje jeho odolnosť a výkon.

VýhodyTechnológia poréznej keramiky：

Čistota a odolnosť materiálu: Naše keramické vákuové skľučovadlo Alumina je vyrobené z 99,99 % čistého oxidu hlinitého, odoláva chemickému napadnutiu a ponúka vynikajúcu tepelnú stabilitu, vďaka čomu je ideálne pre extrémne náročné výrobné prostredia.

Optimálna pórovitosť a vzduchová priepustnosť: Rovnomerne rozmiestnené mikropóry poskytujú vynikajúcu priepustnosť vzduchu a rovnomernú adsorpčnú silu, výsledkom čoho je hladká a konzistentná prevádzka.

Vylepšená rovinnosť a paralelnosť: Mikroporézne keramické vákuové skľučovadlá z hliníka majú vynikajúcu rovinnosť a rovnobežnosť, čo zaisťuje presnú manipuláciu s plátkami a stabilitu.

Možnosti prispôsobených služieb: VeTekSemi môže poskytnúť rôzne prispôsobiteľné tvary, vrátane okrúhlych, štvorcových, prstencových a iných dizajnov, s hrúbkou od 3 mm do 10 mm. Toto prispôsobenie zaisťuje, že naše keramické vákuové skľučovadlá z oxidu hlinitého spĺňajú špecifické potreby rôznych procesov výroby polovodičov a sú určite vašou ideálnou voľbou.

Semiconductor VeTeksa zaviazal poskytovať pokročilé technológie a produktové riešenia pre polovodičový priemysel a úprimne dúfame, že budeme vaším dlhodobým partnerom v Číne.

TheChemický vzorechlinitá keramika：

Semiconductor VeTekPredajne keramických vákuových skľučovadiel z hliníka: