Koncový efektor na manipuláciu s plátkami

Vetek Semiconductor Wafer Handling End Effector je dôležitou súčasťou pri spracovaní polovodičov, preprave doštičiek a ochrane ich povrchov pred poškodením. VeTek Semiconductor, ako popredný výrobca a dodávateľ koncového efektora na manipuláciu s oblátkami, je vždy odhodlaný poskytovať zákazníkom vynikajúce produkty robotického ramena na manipuláciu s plátkami a tie najlepšie služby. Tešíme sa, že sa staneme vaším dlhodobým partnerom v oblasti nástrojov na manipuláciu s plátkami.

Odoslať dopyt

Popis produktu

Wafer Handling End Effector je typ robotickej ruky navrhnutý špeciálne pre polovodičový priemysel, ktorý sa zvyčajne používa na manipuláciu a prenosoblátky. Výrobné prostredie doštičiek vyžaduje extrémne vysokú čistotu, pretože drobné čiastočky alebo nečistoty môžu spôsobiť zlyhanie triesok počas spracovania. Keramické materiály sú pri výrobe týchto rúk široko používané pre ich vynikajúce fyzikálne a chemické vlastnosti.

V porovnaní s tradičnými kovovými materiálmi sú výhodykeramikav materiáloch sa odrážajú najmä v týchto aspektoch:

End Effector for Wafer Handling Operation Scenario

•Odolnosť proti korózii: Oblátky sú počas výrobného procesu vystavené rôznym chemikáliám a keramické materiály môžu účinne odolávať korózii a zabezpečiť dlhodobé používanie zariadenia.

•Nízke uvoľňovanie častíc: Vzhľadom k tomu, že keramika má extrémne nízke uvoľňovanie častíc, počas procesu manipulácie len ťažko vytvorí častice, čím sa zníži riziko kontaminácie plátku.

•Dobrá odolnosť voči vysokým teplotám: V niektorých procesoch je potrebné s plátkami manipulovať v prostredí s vysokou teplotou a vysoká teplotná odolnosť robota na manipuláciu s plátkami z keramických materiálov im umožňuje prispôsobiť sa týmto drsným prostrediam.

•Elektrická izolácia: Keramika je prírodný elektrický izolant, ktorý je nevyhnutný pre procesy spracovania s prúdom a môže zabrániť tomu, aby statická elektrina ovplyvňovala doštičky.

Bežné zariadenia na manipuláciu s plátkami sú vyrobené z hliníka, VetekSemi Wafer Handling SiC Boat vyrobený z SiC má mnoho výhod. SiC je známy svojou vynikajúcou mechanickou pevnosťou, vynikajúcou tepelnou stabilitou a odolnosťou proti korózii. Tieto vlastnosti z neho robia ideálny materiál pre robotické rameno na manipuláciu s plátkami, kde je čistota, presnosť a spoľahlivosť rozhodujúce.

S neustálym vývojom polovodičovej technológie sa veľkosť doštičiek postupne zväčšovala, čo kládlo vyššie požiadavky na dizajn a výrobu Wafer Handling End Effector. V budúcnosti, so zdokonaľovaním automatizačnej technológie, sa presnosť, rýchlosť a spoľahlivosť End Effector for Wafer Handling bude naďalej zlepšovať.

Ako jedno zo základných zariadení vo výrobe polovodičov zaujímajú roboty na manipuláciu s plátkami dôležité postavenie v továrňach na výrobu polovodičov vďaka ich vysokej čistote, odolnosti voči korózii a vysokej teplotnej stabilite. VeTek Semiconductor môže zákazníkom poskytnúť prispôsobené produkty Wafer Handling End Effector a predpredajné a popredajné služby a tešíme sa na vašu konzultáciu.

VeTekSemKoncový efektor na manipuláciu s plátkami:

Wafer Handling End Effector shops veteksemi