Domov > Produkty > Povlak z karbidu kremíka

Čína Povlak z karbidu kremíka výrobca, dodávateľ, továreň

VeTek Semiconductor sa špecializuje na výrobu ultračistých produktov s povlakom z karbidu kremíka, tieto povlaky sú určené na aplikáciu na čistený grafit, keramiku a žiaruvzdorné kovové komponenty.

Naše vysoko čisté nátery sú primárne určené na použitie v polovodičovom a elektronickom priemysle. Slúžia ako ochranná vrstva pre doštičkové nosiče, susceptory a vyhrievacie prvky a chránia ich pred korozívnym a reaktívnym prostredím, ktoré sa vyskytuje v procesoch ako MOCVD a EPI. Tieto procesy sú neoddeliteľnou súčasťou spracovania plátkov a výroby zariadení. Okrem toho sú naše nátery vhodné pre aplikácie vo vákuových peciach a ohrev vzoriek, kde sa stretávame s vysokým vákuom, reaktívnym a kyslíkovým prostredím.

Vo VeTek Semiconductor ponúkame komplexné riešenie s našimi pokročilými možnosťami strojárskej dielne. To nám umožňuje vyrábať základné komponenty s použitím grafitu, keramiky alebo žiaruvzdorných kovov a nanášať keramické povlaky SiC alebo TaC vo vlastnej réžii. Poskytujeme tiež lakovacie služby pre diely dodané zákazníkom, čím zaisťujeme flexibilitu pri splnení rôznych potrieb.

Naše produkty s povlakom z karbidu kremíka sa široko používajú v epitaxii Si, epitaxii SiC, systéme MOCVD, procese RTP / RTA, procese leptania, procese leptania ICP / PSS, procese rôznych typov LED vrátane modrej a zelenej LED, UV LED a hlbokého UV LED atď., Ktoré sú prispôsobené zariadeniam od LPE, Aixtron, Veeco, Nuflare, TEL, ASM, Annealsys, TSI atď.


Časti reaktora, ktoré vieme urobiť:

Aixtron G5,EPI susceptor,MOCVD susceptor


Povlak z karbidu kremíka má niekoľko jedinečných výhod:

Silicon Carbide Coating several unique advantages


Parameter povlaku polovodičového karbidu kremíka VeTek:

Základné fyzikálne vlastnosti CVD SiC povlaku
Nehnuteľnosť Typická hodnota
Kryštálová štruktúra FCC β fáza polykryštalická, hlavne (111) orientovaná
Hustota 3,21 g/cm³
Tvrdosť Tvrdosť 2500 Vickers (záťaž 500g)
Veľkosť zrna 2 ~ 10 μm
Chemická čistota 99,99995 %
Tepelná kapacita 640 J·kg-1·K-1
Teplota sublimácie 2700 ℃
Pevnosť v ohybe 415 MPa RT 4-bod
Youngov modul Ohyb 430 Gpa 4pt, 1300 ℃
Tepelná vodivosť 300W·m-1·K-1
Tepelná expanzia (CTE) 4,5×10-6K-1

SEM data and structure of CVD SIC films


View as  
 
Zdvíhací kolík oblátky

Zdvíhací kolík oblátky

VeTek Semiconductor je popredný výrobca a inovátor EPI Wafer Lift Pin v Číne. Už mnoho rokov sa špecializujeme na povlak SiC na povrchu grafitu. Ponúkame EPI Wafer Lift Pin pre proces Epi. S vysokou kvalitou a konkurencieschopnou cenou vás vítame na návšteve našej továrne v Číne.

Čítaj viacOdoslať dopyt
Sudový susceptor potiahnutý SiC

Sudový susceptor potiahnutý SiC

VeTek Semiconductor ponúka komplexnú sadu riešení komponentov pre LPE silikónové epitaxné reakčné komory, ktoré poskytujú dlhú životnosť, stabilnú kvalitu a zlepšenú výťažnosť epitaxnej vrstvy. Náš produkt, ako je SiC Coated Barrel Susceptor, dostal od zákazníkov spätnú väzbu o polohe. Poskytujeme tiež technickú podporu pre Si Epi, SiC Epi, MOCVD, UV-LED Epitaxy a ďalšie. Neváhajte sa opýtať na informácie o cene.

Čítaj viacOdoslať dopyt
Ak je prijímač EPI

Ak je prijímač EPI

VeTek Semiconductor je továreň, ktorá kombinuje presné obrábanie a schopnosti polovodičových povlakov SiC a TaC. Susceptor Si Epi sudového typu poskytuje možnosti regulácie teploty a atmosféry, čím zvyšuje efektivitu výroby v procesoch epitaxného rastu polovodičov. Tešíme sa na nadviazanie spolupráce s vami.

Čítaj viacOdoslať dopyt
SiC potiahnutý Epi receptor

SiC potiahnutý Epi receptor

Ako popredný domáci výrobca povlakov z karbidu kremíka a karbidu tantalu je VeTek Semiconductor schopný zabezpečiť presné opracovanie a rovnomerné nanesenie povlaku SiC Coated Epi Susceptor, čím efektívne kontroluje čistotu povlaku a produktu pod 5 ppm. Životnosť produktu je porovnateľná so životnosťou SGL. Vitajte a opýtajte sa nás.

Čítaj viacOdoslať dopyt
LPE SI EPI Receptor Set

LPE SI EPI Receptor Set

VeTek Semiconductor je popredný výrobca a inovátor súpravy LPE Si Epi Susceptor Set v Číne. Už mnoho rokov sa špecializujeme na SiC povlak a TaC povlak. Ponúkame LPE Si Epi Susceptor Set navrhnutý špeciálne pre LPE PE2061S 4'' doštičky. Zodpovedajúci stupeň grafitového materiálu a povlaku SiC je dobrý, rovnomernosť je vynikajúca a životnosť je dlhá, čo môže zlepšiť výťažok rastu epitaxnej vrstvy počas procesu LPE (liquid Phase Epitaxy). Vítame vás na návšteve našej továrne v Čína.

Čítaj viacOdoslať dopyt
Susceptory Aixtron G5 MOCVD

Susceptory Aixtron G5 MOCVD

VeTek Semiconductor je popredným výrobcom a inovátorom susceptorov Aixtron G5 MOCVD v Číne. Špecializujeme sa na povlakový materiál SiC už mnoho rokov. Táto súprava susceptorov Aixtron G5 MOCVD je všestranným a efektívnym riešením pre výrobu polovodičov s optimálnou veľkosťou, kompatibilitou a vysokou produktivitou. Vitajte a kontaktujte nás.

Čítaj viacOdoslať dopyt
Ako profesionálny výrobca a dodávateľ Povlak z karbidu kremíka v Číne máme vlastnú továreň. Či už potrebujete prispôsobené služby, ktoré spĺňajú špecifické potreby vášho regiónu, alebo si chcete kúpiť moderné a odolné Povlak z karbidu kremíka vyrobené v Číne, môžete nám zanechať správu.
X
We use cookies to offer you a better browsing experience, analyze site traffic and personalize content. By using this site, you agree to our use of cookies. Privacy Policy
Reject Accept