VeTek Semiconductor sa špecializuje na výrobu ultračistých produktov s povlakom z karbidu kremíka, tieto povlaky sú určené na aplikáciu na čistený grafit, keramiku a žiaruvzdorné kovové komponenty.
Naše vysoko čisté nátery sú primárne určené na použitie v polovodičovom a elektronickom priemysle. Slúžia ako ochranná vrstva pre doštičkové nosiče, susceptory a vyhrievacie prvky a chránia ich pred korozívnym a reaktívnym prostredím, ktoré sa vyskytuje v procesoch ako MOCVD a EPI. Tieto procesy sú neoddeliteľnou súčasťou spracovania plátkov a výroby zariadení. Okrem toho sú naše nátery vhodné pre aplikácie vo vákuových peciach a ohrev vzoriek, kde sa stretávame s vysokým vákuom, reaktívnym a kyslíkovým prostredím.
Vo VeTek Semiconductor ponúkame komplexné riešenie s našimi pokročilými možnosťami strojárskej dielne. To nám umožňuje vyrábať základné komponenty s použitím grafitu, keramiky alebo žiaruvzdorných kovov a nanášať keramické povlaky SiC alebo TaC vo vlastnej réžii. Poskytujeme tiež lakovacie služby pre diely dodané zákazníkom, čím zaisťujeme flexibilitu pri splnení rôznych potrieb.
Naše produkty s povlakom z karbidu kremíka sa široko používajú v epitaxii Si, epitaxii SiC, systéme MOCVD, procese RTP / RTA, procese leptania, procese leptania ICP / PSS, procese rôznych typov LED vrátane modrej a zelenej LED, UV LED a hlbokého UV LED atď., Ktoré sú prispôsobené zariadeniam od LPE, Aixtron, Veeco, Nuflare, TEL, ASM, Annealsys, TSI atď.
Základné fyzikálne vlastnosti CVD SiC povlaku | |
Nehnuteľnosť | Typická hodnota |
Kryštálová štruktúra | FCC β fáza polykryštalická, hlavne (111) orientovaná |
Hustota | 3,21 g/cm³ |
Tvrdosť | Tvrdosť 2500 Vickers (záťaž 500g) |
Veľkosť zrna | 2 ~ 10 μm |
Chemická čistota | 99,99995 % |
Tepelná kapacita | 640 J·kg-1·K-1 |
Teplota sublimácie | 2700 ℃ |
Pevnosť v ohybe | 415 MPa RT 4-bod |
Youngov modul | Ohyb 430 Gpa 4pt, 1300 ℃ |
Tepelná vodivosť | 300W·m-1·K-1 |
Tepelná expanzia (CTE) | 4,5×10-6K-1 |
VeTek Semiconductor je popredným dodávateľom prispôsobených Upper Halfmoon Part SiC potiahnutých v Číne, ktorý sa špecializuje na pokročilé materiály už viac ako 20 rokov. VeTek Semiconductor Upper Halfmoon Part SiC potiahnutý je špeciálne navrhnutý pre SiC epitaxné zariadenia, ktoré slúžia ako kľúčový komponent v reakčnej komore. Vyrobené z ultračistého, polovodičového grafitu, zaisťuje vynikajúci výkon. Pozývame vás na návštevu našej továrne v Číne.
Čítaj viacOdoslať dopytVeTek Semiconductor je popredným prispôsobeným dodávateľom nosiča epitaxnej doštičky z karbidu kremíka v Číne. Špecializujeme sa na moderný materiál viac ako 20 rokov. Ponúkame nosič epitaxnej doštičky z karbidu kremíka na prenášanie substrátu SiC, rastúcu vrstvu epitaxie SiC v epitaxnom reaktore SiC. Tento nosič epitaxnej doštičky z karbidu kremíka je dôležitou súčasťou polomúnovej časti potiahnutej SiC, odolnosťou voči vysokej teplote, odolnosťou proti oxidácii, odolnosťou proti opotrebovaniu. Vítame vás na návšteve našej továrne v Číne.
Čítaj viacOdoslať dopytVeTek Semiconductor's SiC Coated MOCVD Susceptor je zariadenie s vynikajúcim procesom, odolnosťou a spoľahlivosťou. Vydržia vysoké teploty a chemické prostredie, udržujú stabilný výkon a dlhú životnosť, čím znižujú frekvenciu výmeny a údržby a zlepšujú efektivitu výroby. Náš epitaxný susceptor MOCVD je známy svojou vysokou hustotou, vynikajúcou rovinnosťou a vynikajúcou tepelnou kontrolou, vďaka čomu je preferovaným zariadením v náročných výrobných prostrediach. Tešíme sa na spoluprácu s Vami.
Čítaj viacOdoslať dopytVeTek Semiconductor SiC Coated ICP Etching Carrier je navrhnutý pre najnáročnejšie aplikácie epitaxných zariadení. Náš nosič na leptanie ICP s povlakom SiC je vyrobený z vysoko kvalitného ultračistého grafitového materiálu a má vysoko plochý povrch a vynikajúcu odolnosť proti korózii, aby odolal drsným podmienkam pri manipulácii. Vysoká tepelná vodivosť nosiča potiahnutého SiC zaisťuje rovnomerné rozloženie tepla pre vynikajúce výsledky leptania. VeTek Semiconductor sa teší na budovanie dlhodobého partnerstva s vami.
Čítaj viacOdoslať dopytVeTek Semiconductor PSS Etching Carrier Plate for Semiconductor je vysokokvalitný, ultračistý grafitový nosič určený pre procesy manipulácie s plátkami. Naše nosiče majú vynikajúci výkon a môžu dobre fungovať v drsnom prostredí, vysokých teplotách a drsných podmienkach chemického čistenia. Naše produkty sú široko používané na mnohých európskych a amerických trhoch a tešíme sa, že sa staneme vaším dlhodobým partnerom v Číne.
Čítaj viacOdoslať dopytVeTek Semiconductor je popredným výrobcom a inovátorom susceptorov rýchleho tepelného žíhania v Číne. Už mnoho rokov sa špecializujeme na povlakový materiál SiC. Ponúkame susceptor rýchleho tepelného žíhania s vysokou kvalitou, odolnosťou voči vysokým teplotám, super tenkým. Vítame vás na návšteve nášho továreň v Číne.
Čítaj viacOdoslať dopyt