Čína Pevný karbid kremíka výrobca, dodávateľ, továreň

VeTek Semiconductor Solid Silicon Carbide je dôležitou keramickou zložkou v zariadeniach na plazmové leptanie, pevný karbid kremíka (CVD karbid kremíka) časti v leptacom zariadení zahŕňajúzaostrovacie krúžky, plynová sprchová hlavica, podnos, okrajové krúžky atď. Vďaka nízkej reaktivite a vodivosti pevného karbidu kremíka (CVD karbid kremíka) na leptacie plyny obsahujúce chlór a fluór je ideálnym materiálom pre zariadenia na plazmové leptanie, zaostrovacie krúžky a iné komponentov.

Napríklad zaostrovací krúžok je dôležitou súčasťou umiestnenou mimo doštičky a v priamom kontakte s doštičkou, privedením napätia na krúžok na zaostrenie plazmy prechádzajúcej prstencom, čím sa plazma zaostrí na doštičku, aby sa zlepšila rovnomernosť spracovanie. Tradičný zaostrovací krúžok je vyrobený zo silikónu respkremeň, vodivý kremík ako bežný ohniskový prstencový materiál, je takmer blízky vodivosti kremíkových plátkov, ale nedostatkom je slabá odolnosť proti leptaniu v plazme s obsahom fluóru, materiáloch na leptanie častí strojov, ktoré sa často používajú po určitú dobu, bude vážne jav korózie, ktorý vážne znižuje jeho výrobnú efektivitu.

STvrdý zaostrovací krúžok SiCPracovný princíp：

Working Principle of Solid SiC Focus Ring

Porovnanie zaostrovacieho krúžku na báze Si a zaostrovacieho krúžku CVD SiC:

Porovnanie zaostrovacieho krúžku na báze Si a zaostrovacieho krúžku CVD SiC
Položka	A	CVD SiC
Hustota (g/cm³)	2.33	3.21
Pásmová medzera (eV)	1.12	2.3
Tepelná vodivosť (W/cm℃)	1.5	5
CTE (x10^-6/℃)	2.6	4
Modul pružnosti (GPa)	150	440
Tvrdosť (GPa)	11.4	24.5
Odolnosť proti opotrebovaniu a korózii	Chudák	Výborne

VeTek Semiconductor ponúka pokročilé diely z pevného karbidu kremíka (CVD karbid kremíka), ako sú zaostrovacie krúžky SiC pre polovodičové zariadenia. Naše pevné zaostrovacie krúžky z karbidu kremíka prekonávajú tradičný kremík z hľadiska mechanickej pevnosti, chemickej odolnosti, tepelnej vodivosti, odolnosti voči vysokej teplote a odolnosti voči iónovému leptaniu.

Kľúčové vlastnosti našich zaostrovacích krúžkov SiC zahŕňajú:

Vysoká hustota pre zníženú rýchlosť leptania.

Vynikajúca izolácia s vysokou bandgap.

Vysoká tepelná vodivosť a nízky koeficient tepelnej rozťažnosti.

Vynikajúca odolnosť voči mechanickému nárazu a elasticita.

Vysoká tvrdosť, odolnosť proti opotrebovaniu a odolnosť proti korózii.

Vyrobené s použitímplazmou posilnená chemická depozícia z plynnej fázy (PECVD)naše SiC zaostrovacie krúžky spĺňajú rastúce požiadavky leptacích procesov pri výrobe polovodičov. Sú navrhnuté tak, aby vydržali vyšší plazmový výkon a energiu, konkrétne vkapacitne viazaná plazma (CCP)systémov.

Zaostrovacie krúžky SiC spoločnosti VeTek Semiconductor poskytujú výnimočný výkon a spoľahlivosť pri výrobe polovodičových zariadení. Vyberte si naše SiC komponenty pre vynikajúcu kvalitu a efektivitu.

View as

Masívna plynová sprchová hlavica SiC

VeTek Semiconductor je popredným výrobcom a inovátorom plynovej sprchovej hlavice z pevného SiC v Číne. Už mnoho rokov sa špecializujeme na polovodičový materiál. Viacporézny dizajn hlavice VeTek Semiconductor z plynovej sprchovej hlavice SiC zaisťuje, že teplo generované v procese CVD môže byť rozptýlené , čím sa zabezpečí rovnomerné zahrievanie substrátu. Tešíme sa na dlhodobé zriadenie s vami v Číne.

Čítaj viac Odoslať dopyt

Proces chemického naparovania Pevný okrajový krúžok SiC

VeTek Semiconductor je popredným výrobcom a inovátorom pevného SiC krúžku v oblasti chemického naparovania v Číne. Už mnoho rokov sa špecializujeme na polovodičový materiál. Pevný okrajový krúžok VeTek Semiconductor ponúka vylepšenú rovnomernosť leptania a presné umiestnenie plátku pri použití s elektrostatickým skľučovadlom , zabezpečujúce konzistentné a spoľahlivé výsledky leptania. Tešíme sa, že sa staneme vaším dlhodobým partnerom v Číne.

Čítaj viac Odoslať dopyt

Masívny zaostrovací krúžok na leptanie SiC

VeTek Semiconductor je popredným výrobcom a inovátorom zaostrovacích krúžkov na leptanie pevných SiC v Číne. Už mnoho rokov sa špecializujeme na materiál SiC. Pevný SiC je vybraný ako materiál zaostrovacieho prstenca vďaka svojej vynikajúcej termochemickej stabilite, vysokej mechanickej pevnosti a odolnosti voči plazme erózia. Tešíme sa, že sa staneme vaším dlhodobým partnerom v Číne.

Čítaj viac Odoslať dopyt

<1 2 >

Ako profesionálny výrobca a dodávateľ Pevný karbid kremíka v Číne máme vlastnú továreň. Či už potrebujete prispôsobené služby, ktoré spĺňajú špecifické potreby vášho regiónu, alebo si chcete kúpiť moderné a odolné Pevný karbid kremíka vyrobené v Číne, môžete nám zanechať správu.