Podpora povlaku z karbidu tantalu

Hlavná funkcia VeTek SemiconductorPovlak z karbidu tantalu (TaC).Podpora je zlepšiťtepelná odolnosť, odolnosť proti opotrebovaniu a odolnosť proti koróziisubstrátu potiahnutím vrstvou karbidu tantalu, aby sa zlepšila presnosť a spoľahlivosť procesu a predĺžila sa životnosť komponentov. Ide o vysokovýkonný náterový produkt používaný v oblasti spracovania polovodičov.

VeTek Semiconductor's Tantalum Carbide Coating Support má tvrdosť podľa Mohsa takmer 9 ~ 10, čo je druhá po diamante. Má extrémne silnú odolnosť proti opotrebeniu a dokáže účinne odolávať povrchovému opotrebeniu a nárazom počas spracovania, čím efektívne predlžuje životnosť komponentov zariadenia. V kombinácii s vysokým bodom topenia okolo 3880 °C sa často používa na poťahovanie kľúčových komponentov polovodičových zariadení, ako sú povrchové nátery nosných konštrukcií, zariadení na tepelné spracovanie, komôr alebo tesnení v polovodičových zariadeniach na zvýšenie odolnosti proti opotrebovaniu a vysokej teplote. odpor.

Vzhľadom na extrémne vysokú teplotu topenia karbidu tantalu okolo 3880 °C, v procesoch spracovania polovodičov, ako napr.chemická depozícia z pár (CVD)afyzikálne nanášanie pár (PVD), TaC Coating so silnou odolnosťou voči vysokej teplote a chemickou odolnosťou proti korózii môže účinne chrániť komponenty zariadenia a predchádzať korózii alebo poškodeniu substrátu v extrémnych prostrediach, čím poskytuje účinnú ochranu pre vysokoteplotné prostredia pri výrobe plátkov. Táto funkcia tiež určuje, že podpora povlaku z karbidu tantalu VeTek Semiconductor sa často používa pri leptaní a korozívnych procesoch.

Tantal Carbide Coating Support má tiež funkciu znižovania kontaminácie časticami. Počas spracovania doštičky povrchové opotrebenie zvyčajne spôsobuje kontamináciu časticami, čo ovplyvňuje kvalitu produktu doštičky. Extrémne vlastnosti produktu TaC Coating s tvrdosťou takmer 9-10 Mohs môžu účinne znížiť toto opotrebovanie, čím sa zníži tvorba častíc. V kombinácii s vynikajúcou tepelnou vodivosťou povlaku TaC (približne 21 W/m·K) dokáže udržať dobrú tepelnú vodivosť za podmienok vysokej teploty, čím výrazne zlepšuje výťažnosť a konzistenciu výroby plátkov.

Medzi hlavné produkty TaC Coating spoločnosti VeTek Semiconductor patriaOhrievač povlaku TaC, CVD TaC poťahovací téglik, Rotačný susceptor povlaku TaCaNáhradný diel na povlak TaCatď. a podporujú prispôsobené produktové služby. VeTek Semiconductor je odhodlaný poskytovať vynikajúce produkty a technické riešenia pre polovodičový priemysel. Úprimne dúfame, že sa staneme vaším dlhodobým partnerom v Číne.

Povlak karbidu tantalu (TaC) na mikroskopickom priereze:

Základné fyzikálne vlastnosti povlaku CVD TaC：