Jedinečné karbidové povlaky VeTek Semiconductor poskytujú vynikajúcu ochranu grafitovým častiam v procese SiC Epitaxy na spracovanie náročných polovodičových a kompozitných polovodičových materiálov. Výsledkom je predĺžená životnosť grafitových komponentov, zachovanie stechiometrie reakcie, inhibícia migrácie nečistôt do epitaxných a rastových aplikácií, čo vedie k zvýšeniu výťažku a kvality.
Naše povlaky z karbidu tantalu (TaC) chránia kritické komponenty pecí a reaktorov pri vysokých teplotách (až do 2200 °C) pred horúcim amoniakom, vodíkom, parami kremíka a roztavenými kovmi. VeTek Semiconductor má širokú škálu možností spracovania a merania grafitu, aby vyhovoval vašim prispôsobeným požiadavkám, takže môžeme ponúknuť spoplatnený náter alebo kompletný servis s naším tímom odborných inžinierov pripravených navrhnúť správne riešenie pre vás a vašu konkrétnu aplikáciu. .
Zložené polovodičové kryštály
VeTek Semiconductor môže poskytnúť špeciálne TaC povlaky pre rôzne komponenty a nosiče. Prostredníctvom špičkového procesu poťahovania od spoločnosti VeTek Semiconductor môže povlak TaC získať vysokú čistotu, stabilitu pri vysokej teplote a vysokú chemickú odolnosť, čím sa zlepšuje kvalita produktu kryštálových vrstiev TaC/GaN) a EPl a predlžuje sa životnosť kritických komponentov reaktora.
Tepelné izolátory
Komponenty na rast kryštálov SiC, GaN a AlN vrátane téglikov, držiakov semien, deflektorov a filtrov. Priemyselné zostavy vrátane odporových vykurovacích telies, trysiek, tieniacich krúžkov a spájkovacích prípravkov, GaN a SiC epitaxiálnych CVD reaktorových komponentov vrátane nosičov plátkov, satelitných podnosov, sprchových hlavíc, uzáverov a podstavcov, MOCVD komponentov.
Nosič plátku LED (dióda vyžarujúca svetlo).
ALD (polovodičový) prijímač
EPI receptor (SiC epitaxný proces)
Satelitný susceptor potiahnutý TaC TaC povlakový susceptor a krúžok Časti povlaku TaC Časti Halfmoon s povlakom TaC
SiC | TaC | |
Hlavné rysy | Ultra vysoká čistota, vynikajúca plazmová odolnosť | Vynikajúca stabilita pri vysokej teplote (prispôsobenie procesu pri vysokej teplote) |
Čistota | >99,9999 % | >99,9999 % |
Hustota (g/cm 3) | 3.21 | 15 |
Tvrdosť (kg/mm 2) | 2900-3300 | 6,7-7,2 |
Odpor [Ωcm] | 0,1-15 000 | <1 |
Tepelná vodivosť (W/m-K) | 200-360 | 22 |
Koeficient tepelnej rozťažnosti (10-6/℃) | 4,5-5 | 6.3 |
Aplikácia | Polovodičové vybavenie Keramický prípravok (zaostrovací krúžok, sprchová hlavica, maketa plátku) | SiC rast monokryštálov, Epi, časti UV LED zariadenia |
VeTek Semiconductor je popredný výrobca a inovátor TaC Coating Heater v Číne. Tento produkt má extrémne vysoký bod topenia (asi 3880 °C). Vysoká teplota topenia ohrievača TaC Coating Heater mu umožňuje pracovať pri extrémne vysokých teplotách, najmä pri raste epitaxných vrstiev nitridu gália (GaN) v procese metalorganického chemického nanášania pár (MOCVD). VeTek Semiconductor sa zaviazal poskytovať pokročilé technológie a produktové riešenia pre polovodičový priemysel. Tešíme sa, že sa staneme vaším dlhodobým partnerom v Číne.
Čítaj viacOdoslať dopytAko profesionálny výrobca a dodávateľ TaC Coated Chuck v Číne je TaC Coating Chuck VeTek Semiconductor špeciálne navrhnutý pre polovodičové pece. Vďaka svojej odolnosti voči vysokej teplote, chemickej inertnosti a vynikajúcemu výkonu poskytuje inovatívna technológia spoločnosti Vetek Semiconductor spoľahlivé riešenie pre priemysel výroby polovodičov na zabezpečenie vysoko kvalitných výrobných štandardov. Veríme, že naše produkty vám môžu priniesť pokročilé technológie a vysokokvalitné produktové riešenia.
Čítaj viacOdoslať dopytAko profesionálny výrobca a dodávateľ poťahovacích trubíc TaC v Číne je poťahovacia trubica TaC od VeTek Semiconductor kľúčovým komponentom pre úspešný rast monokryštálov karbidu kremíka. Vďaka vysokej teplotnej odolnosti, chemickej inertnosti a vynikajúcemu výkonu zaisťuje výrobu vysoko kvalitných kryštálov s konzistentnými výsledkami. Dôverujte našim inovatívnym riešeniam, aby ste zlepšili proces rastu kryštálov SiC metódou PVT a dosiahli vynikajúce výsledky. Vitajte a kontaktujte nás.
Čítaj viacOdoslať dopytVeTek Semiconductor je popredný výrobca, inovátor a líder CVD TAC Coating v Číne. Už mnoho rokov sa zameriavame na rôzne produkty CVD TAC Coating, ako je CVD TaC povlak, CVD TaC Coating Ring, nosič CVD TaC Coating atď. VeTek Semiconductor podporuje prispôsobené produktové služby a uspokojivé ceny produktov a teší sa na vaše ďalšie konzultácie.
Čítaj viacOdoslať dopytVeTek Semiconductor je profesionálny výrobca TaC Coating Plate a iných náhradných dielov TaC Coating v Číne. TaC Coating sa v súčasnosti používa hlavne v procesoch, ako je rast monokryštálov karbidu kremíka (metóda PVT), epitaxiálny disk (vrátane epitaxie karbidu kremíka, LED epitaxie) atď. V kombinácii s dobrou dlhodobou stabilitou TaC Coating Plate, VeTek Semiconductor TaC Coating Plate sa stal štandardom pre náhradné diely TaC Coating. Tešíme sa, že sa stanete našim dlhodobým partnerom.
Čítaj viacOdoslať dopytVeTek Semiconductor je profesionálny výrobca GaN na SiC epi susceptor, CVD SiC povlak a CVD TAC COATING grafitový susceptor v Číne. Spomedzi nich hrá GaN na SiC epi susceptore dôležitú úlohu pri spracovaní polovodičov. Vďaka svojej vynikajúcej tepelnej vodivosti, schopnosti spracovania pri vysokých teplotách a chemickej stabilite zaisťuje vysokú účinnosť a kvalitu materiálu procesu epitaxného rastu GaN. Úprimne sa tešíme na vašu ďalšiu konzultáciu.
Čítaj viacOdoslať dopyt