Jedinečné karbidové povlaky VeTek Semiconductor poskytujú vynikajúcu ochranu grafitovým častiam v procese SiC Epitaxy na spracovanie náročných polovodičových a kompozitných polovodičových materiálov. Výsledkom je predĺžená životnosť grafitových komponentov, zachovanie stechiometrie reakcie, inhibícia migrácie nečistôt do epitaxných a rastových aplikácií, čo vedie k zvýšeniu výťažku a kvality.
Naše povlaky z karbidu tantalu (TaC) chránia kritické komponenty pecí a reaktorov pri vysokých teplotách (až do 2200 °C) pred horúcim amoniakom, vodíkom, parami kremíka a roztavenými kovmi. VeTek Semiconductor má širokú škálu možností spracovania a merania grafitu, aby vyhovoval vašim prispôsobeným požiadavkám, takže môžeme ponúknuť spoplatnený náter alebo kompletný servis s naším tímom odborných inžinierov pripravených navrhnúť správne riešenie pre vás a vašu konkrétnu aplikáciu. .
Zložené polovodičové kryštály
VeTek Semiconductor môže poskytnúť špeciálne TaC povlaky pre rôzne komponenty a nosiče. Prostredníctvom špičkového procesu poťahovania od spoločnosti VeTek Semiconductor môže povlak TaC získať vysokú čistotu, stabilitu pri vysokej teplote a vysokú chemickú odolnosť, čím sa zlepšuje kvalita produktu kryštálových vrstiev TaC/GaN) a EPl a predlžuje sa životnosť kritických komponentov reaktora.
Tepelné izolátory
Komponenty na rast kryštálov SiC, GaN a AlN vrátane téglikov, držiakov semien, deflektorov a filtrov. Priemyselné zostavy vrátane odporových vykurovacích telies, trysiek, tieniacich krúžkov a spájkovacích prípravkov, GaN a SiC epitaxiálnych CVD reaktorových komponentov vrátane nosičov plátkov, satelitných podnosov, sprchových hlavíc, uzáverov a podstavcov, MOCVD komponentov.
Nosič plátku LED (dióda vyžarujúca svetlo).
ALD (polovodičový) prijímač
EPI receptor (SiC epitaxný proces)
Satelitný susceptor potiahnutý TaC TaC povlakový susceptor a krúžok Časti povlaku TaC Časti Halfmoon s povlakom TaC
SiC | TaC | |
Hlavné rysy | Ultra vysoká čistota, vynikajúca plazmová odolnosť | Vynikajúca stabilita pri vysokej teplote (prispôsobenie procesu pri vysokej teplote) |
Čistota | >99,9999 % | >99,9999 % |
Hustota (g/cm 3) | 3.21 | 15 |
Tvrdosť (kg/mm 2) | 2900-3300 | 6,7-7,2 |
Odpor [Ωcm] | 0,1-15 000 | <1 |
Tepelná vodivosť (W/m-K) | 200-360 | 22 |
Koeficient tepelnej rozťažnosti (10-6/℃) | 4,5-5 | 6.3 |
Aplikácia | Polovodičové vybavenie Keramický prípravok (zaostrovací krúžok, sprchová hlavica, maketa plátku) | SiC rast monokryštálov, Epi, časti UV LED zariadenia |
VeTek Semiconductor CVD TaC Coating Wafer Carrier, ako profesionálny výrobca a továreň na nosiče povlakov CVD TaC v Číne, je nástroj na prenášanie plátkov špeciálne navrhnutý pre vysokoteplotné a korozívne prostredie pri výrobe polovodičov. Tento výrobok má vysokú mechanickú pevnosť, vynikajúcu odolnosť proti korózii a tepelnú stabilitu, čo poskytuje potrebnú záruku na výrobu vysoko kvalitných polovodičových súčiastok. Vaše ďalšie otázky sú vítané.
Čítaj viacOdoslať dopytVeTek Semiconductor je popredný výrobca a inovátor TaC Coating Heater v Číne. Tento produkt má extrémne vysoký bod topenia (asi 3880 °C). Vysoká teplota topenia ohrievača TaC Coating Heater mu umožňuje pracovať pri extrémne vysokých teplotách, najmä pri raste epitaxných vrstiev nitridu gália (GaN) v procese metalorganického chemického nanášania pár (MOCVD). VeTek Semiconductor sa zaviazal poskytovať pokročilé technológie a produktové riešenia pre polovodičový priemysel. Tešíme sa, že sa staneme vaším dlhodobým partnerom v Číne.
Čítaj viacOdoslať dopytAko profesionálny výrobca a dodávateľ TaC Coated Chuck v Číne je TaC Coating Chuck VeTek Semiconductor špeciálne navrhnutý pre polovodičové pece. Vďaka svojej odolnosti voči vysokej teplote, chemickej inertnosti a vynikajúcemu výkonu poskytuje inovatívna technológia spoločnosti Vetek Semiconductor spoľahlivé riešenie pre priemysel výroby polovodičov na zabezpečenie vysoko kvalitných výrobných štandardov. Veríme, že naše produkty vám môžu priniesť pokročilé technológie a vysokokvalitné produktové riešenia.
Čítaj viacOdoslať dopytAko profesionálny výrobca a dodávateľ poťahovacích trubíc TaC v Číne je poťahovacia trubica TaC od VeTek Semiconductor kľúčovým komponentom pre úspešný rast monokryštálov karbidu kremíka. Vďaka vysokej teplotnej odolnosti, chemickej inertnosti a vynikajúcemu výkonu zaisťuje výrobu vysoko kvalitných kryštálov s konzistentnými výsledkami. Dôverujte našim inovatívnym riešeniam, aby ste zlepšili proces rastu kryštálov SiC metódou PVT a dosiahli vynikajúce výsledky. Vitajte a kontaktujte nás.
Čítaj viacOdoslať dopytVeTek Semiconductor je popredný výrobca, inovátor a líder CVD TAC Coating v Číne. Už mnoho rokov sa zameriavame na rôzne produkty CVD TAC Coating, ako je CVD TaC povlak, CVD TaC Coating Ring, nosič CVD TaC Coating atď. VeTek Semiconductor podporuje prispôsobené produktové služby a uspokojivé ceny produktov a teší sa na vaše ďalšie konzultácie.
Čítaj viacOdoslať dopytVeTek Semiconductor je profesionálny výrobca TaC Coating Plate a iných náhradných dielov TaC Coating v Číne. TaC Coating sa v súčasnosti používa hlavne v procesoch, ako je rast monokryštálov karbidu kremíka (metóda PVT), epitaxiálny disk (vrátane epitaxie karbidu kremíka, LED epitaxie) atď. V kombinácii s dobrou dlhodobou stabilitou TaC Coating Plate, VeTek Semiconductor TaC Coating Plate sa stal štandardom pre náhradné diely TaC Coating. Tešíme sa, že sa stanete našim dlhodobým partnerom.
Čítaj viacOdoslať dopyt