Jedinečné karbidové povlaky VeTek Semiconductor poskytujú vynikajúcu ochranu grafitovým častiam v procese SiC Epitaxy na spracovanie náročných polovodičových a kompozitných polovodičových materiálov. Výsledkom je predĺžená životnosť grafitových komponentov, zachovanie stechiometrie reakcie, inhibícia migrácie nečistôt do epitaxných a rastových aplikácií, čo vedie k zvýšeniu výťažku a kvality.
Naše povlaky z karbidu tantalu (TaC) chránia kritické komponenty pecí a reaktorov pri vysokých teplotách (až do 2200 °C) pred horúcim amoniakom, vodíkom, parami kremíka a roztavenými kovmi. VeTek Semiconductor má širokú škálu možností spracovania a merania grafitu, aby vyhovoval vašim prispôsobeným požiadavkám, takže môžeme ponúknuť spoplatnený náter alebo kompletný servis s naším tímom odborných inžinierov pripravených navrhnúť správne riešenie pre vás a vašu konkrétnu aplikáciu. .
Zložené polovodičové kryštály
VeTek Semiconductor môže poskytnúť špeciálne TaC povlaky pre rôzne komponenty a nosiče. Prostredníctvom špičkového procesu poťahovania od spoločnosti VeTek Semiconductor môže povlak TaC získať vysokú čistotu, stabilitu pri vysokej teplote a vysokú chemickú odolnosť, čím sa zlepšuje kvalita produktu kryštálových vrstiev TaC/GaN) a EPl a predlžuje sa životnosť kritických komponentov reaktora.
Tepelné izolátory
Komponenty na rast kryštálov SiC, GaN a AlN vrátane téglikov, držiakov semien, deflektorov a filtrov. Priemyselné zostavy vrátane odporových vykurovacích telies, trysiek, tieniacich krúžkov a spájkovacích prípravkov, GaN a SiC epitaxiálnych CVD reaktorových komponentov vrátane nosičov plátkov, satelitných podnosov, sprchových hlavíc, uzáverov a podstavcov, MOCVD komponentov.
Nosič plátku LED (dióda vyžarujúca svetlo).
ALD (polovodičový) prijímač
EPI receptor (SiC epitaxný proces)
Satelitný susceptor potiahnutý TaC TaC povlakový susceptor a krúžok Časti povlaku TaC Časti Halfmoon s povlakom TaC
SiC | TaC | |
Hlavné rysy | Ultra vysoká čistota, vynikajúca plazmová odolnosť | Vynikajúca stabilita pri vysokej teplote (prispôsobenie procesu pri vysokej teplote) |
Čistota | >99,9999 % | >99,9999 % |
Hustota (g/cm 3) | 3.21 | 15 |
Tvrdosť (kg/mm 2) | 2900-3300 | 6,7-7,2 |
Odpor [Ωcm] | 0,1-15 000 | <1 |
Tepelná vodivosť (W/m-K) | 200-360 | 22 |
Koeficient tepelnej rozťažnosti (10-6/℃) | 4,5-5 | 6.3 |
Aplikácia | Polovodičové vybavenie Keramický prípravok (zaostrovací krúžok, sprchová hlavica, maketa plátku) | SiC rast monokryštálov, Epi, časti UV LED zariadenia |
Kryt CVD TaC od spoločnosti VeTek Semiconductor je vysoko špecializovaný komponent navrhnutý špeciálne pre náročné aplikácie. Vďaka svojim pokročilým funkciám a výnimočnému výkonu ponúka náš povlak CVD TaC kryt niekoľko kľúčových výhod. Náš povlak CVD TaC poskytuje potrebnú ochranu a výkon potrebný pre úspech. Tešíme sa na preskúmanie potenciálnej spolupráce s vami!
Čítaj viacOdoslať dopytPlanetárny susceptor VeTek Semiconductor'TaC Coating je výnimočný produkt pre epitaxné zariadenia Aixtron. Robustný povlak TaC poskytuje vynikajúcu odolnosť voči vysokým teplotám a chemickú inertnosť. Táto jedinečná kombinácia zaisťuje spoľahlivý výkon a dlhú životnosť aj v náročnom prostredí. VeTek sa zaviazal poskytovať vysokokvalitné produkty a slúžiť ako dlhodobý partner na čínskom trhu s konkurenčnými cenami.
Čítaj viacOdoslať dopytVeTek Semiconductor's TaC Coating Pedestal Support Plate je vysoko presný produkt navrhnutý tak, aby spĺňal špecifické požiadavky procesov epitaxie polovodičov. Vďaka povlaku TaC, odolnosti voči vysokej teplote a chemickej inertnosti vám náš produkt umožňuje vyrábať vysokokvalitné vrstvy EPI s vysokou kvalitou. Zaviazali sme sa poskytovať kvalitné produkty za konkurencieschopné ceny a tešíme sa, že budeme vaším dlhodobým partnerom v Číne.
Čítaj viacOdoslať dopytTaC povlakové skľučovadlo VeTek Semiconductor obsahuje vysokokvalitný povlak TaC, známy svojou vynikajúcou odolnosťou voči vysokým teplotám a chemickou inertnosťou, najmä v procesoch epitaxie (EPI) karbidu kremíka (SiC). Vďaka svojim výnimočným vlastnostiam a vynikajúcemu výkonu ponúka naše skľučovadlo TaC Coating Chuck niekoľko kľúčových výhod. Zaviazali sme sa poskytovať kvalitné produkty za konkurencieschopné ceny a tešíme sa, že budeme vaším dlhodobým partnerom v Číne.
Čítaj viacOdoslať dopytLPE SiC Epi Halfmoon od VeTek Semiconductor, revolučný produkt navrhnutý na zlepšenie procesov epitaxie SiC reaktora LPE. Toto špičkové riešenie sa môže pochváliť niekoľkými kľúčovými funkciami, ktoré zaisťujú vynikajúci výkon a efektivitu počas vašich výrobných operácií. Tešíme sa na nadviazanie dlhodobej spolupráce s vami.
Čítaj viacOdoslať dopytVeTek Semiconductor je popredným výrobcom a dodávateľom v Číne pre Tantal Carbide TaC Coated Halfmoon, špecializujeme sa na výskum, vývoj a výrobu, dokážeme dobre kontrolovať kvalitu a ponúknuť konkurencieschopnú cenu. Ste vítaní na návšteve našej továrne na ďalšiu diskusiu o dlhodobej spolupráci.
Čítaj viacOdoslať dopyt