Jedinečné karbidové povlaky VeTek Semiconductor poskytujú vynikajúcu ochranu grafitovým častiam v procese SiC Epitaxy na spracovanie náročných polovodičových a kompozitných polovodičových materiálov. Výsledkom je predĺžená životnosť grafitových komponentov, zachovanie stechiometrie reakcie, inhibícia migrácie nečistôt do epitaxných a rastových aplikácií, čo vedie k zvýšeniu výťažku a kvality.
Naše povlaky z karbidu tantalu (TaC) chránia kritické komponenty pecí a reaktorov pri vysokých teplotách (až do 2200 °C) pred horúcim amoniakom, vodíkom, parami kremíka a roztavenými kovmi. VeTek Semiconductor má širokú škálu možností spracovania a merania grafitu, aby vyhovoval vašim prispôsobeným požiadavkám, takže môžeme ponúknuť spoplatnený náter alebo kompletný servis s naším tímom odborných inžinierov pripravených navrhnúť správne riešenie pre vás a vašu konkrétnu aplikáciu. .
Zložené polovodičové kryštály
VeTek Semiconductor môže poskytnúť špeciálne TaC povlaky pre rôzne komponenty a nosiče. Prostredníctvom špičkového procesu poťahovania od spoločnosti VeTek Semiconductor môže povlak TaC získať vysokú čistotu, stabilitu pri vysokej teplote a vysokú chemickú odolnosť, čím sa zlepšuje kvalita produktu kryštálových vrstiev TaC/GaN) a EPl a predlžuje sa životnosť kritických komponentov reaktora.
Tepelné izolátory
Komponenty na rast kryštálov SiC, GaN a AlN vrátane téglikov, držiakov semien, deflektorov a filtrov. Priemyselné zostavy vrátane odporových vykurovacích telies, trysiek, tieniacich krúžkov a spájkovacích prípravkov, GaN a SiC epitaxiálnych CVD reaktorových komponentov vrátane nosičov plátkov, satelitných podnosov, sprchových hlavíc, uzáverov a podstavcov, MOCVD komponentov.
Nosič plátku LED (dióda vyžarujúca svetlo).
ALD (polovodičový) prijímač
EPI receptor (SiC epitaxný proces)
Satelitný susceptor potiahnutý TaC TaC povlakový susceptor a krúžok Časti povlaku TaC Časti Halfmoon s povlakom TaC
SiC | TaC | |
Hlavné rysy | Ultra vysoká čistota, vynikajúca plazmová odolnosť | Vynikajúca stabilita pri vysokej teplote (prispôsobenie procesu pri vysokej teplote) |
Čistota | >99,9999 % | >99,9999 % |
Hustota (g/cm 3) | 3.21 | 15 |
Tvrdosť (kg/mm 2) | 2900-3300 | 6,7-7,2 |
Odpor [Ωcm] | 0,1-15 000 | <1 |
Tepelná vodivosť (W/m-K) | 200-360 | 22 |
Koeficient tepelnej rozťažnosti (10-6/℃) | 4,5-5 | 6.3 |
Aplikácia | Polovodičové vybavenie Keramický prípravok (zaostrovací krúžok, sprchová hlavica, maketa plátku) | SiC rast monokryštálov, Epi, časti UV LED zariadenia |
VeTek Semiconductor je popredný výrobca a inovátor krúžkov s tromi okvetnými lístkami s povlakom TaC v Číne. Už mnoho rokov sa špecializujeme na povlaky TaC a SiC. Naše výrobky majú odolnosť proti korózii, vysokú pevnosť. Tešíme sa, že sa staneme vaším dlhodobým partnerom v Číne.
Čítaj viacOdoslať dopytVeTek Semiconductor je popredný výrobca a inovátor skľučovadla s povlakom z karbidu tantalu v Číne. Už mnoho rokov sa špecializujeme na povlakovanie TaC. Naše produkty majú vysokú čistotu a odolnosť voči vysokej teplote až do 2000 ℃. Tešíme sa, že sa staneme vaším dlhodobým partnerom v Číne.
Čítaj viacOdoslať dopytVeTek Semiconductor je popredným výrobcom a inovátorom krytov s povlakom z karbidu tantalu v Číne. Už mnoho rokov sa špecializujeme na povlaky TaC a SiC. Naše výrobky majú odolnosť proti korózii, vysokú pevnosť. Tešíme sa, že sa staneme vaším dlhodobým partnerom v Číne.
Čítaj viacOdoslať dopytVeTek Semiconductor je popredným výrobcom a inovátorom povlaku z karbidu tantalu v Číne. Zameriavame sa na poskytovanie vysoko čistých produktov z karbidu tantalu odolných voči vysokým teplotám. Náš kryt potiahnutý karbidom tantalu má vynikajúci výkon a spoľahlivosť a môže účinne chrániť materiály v extrémne vysokých teplotách a korozívnych prostrediach. Tešíme sa, že sa staneme vaším dlhodobým partnerom v Číne.
Čítaj viacOdoslať dopytDeflektorový krúžok potiahnutý TaC od VeTek Semiconductor je vysoko špecializovaný komponent navrhnutý pre procesy rastu kryštálov SiC. Povlak TaC poskytuje vynikajúcu odolnosť voči vysokým teplotám a chemickú inertnosť, aby sa vyrovnal s vysokými teplotami a korozívnym prostredím počas procesu rastu kryštálov. To zaisťuje stabilný výkon a dlhú životnosť komponentu, čím sa znižuje frekvencia výmeny a prestoje. Zaviazali sme sa poskytovať kvalitné produkty za konkurencieschopné ceny a tešíme sa, že budeme vaším dlhodobým partnerom v Číne.
Čítaj viacOdoslať dopytVeTek Semiconductor je rozsiahly krúžok s povlakom TaC pre výrobcu a inovátora SiC epitaxného reaktora v Číne. Na povlakovanie TaC sa špecializujeme už mnoho rokov. Naše výrobky majú vysokú čistotu, vysokú stabilitu, vynikajúcu odolnosť proti korózii, vysokú pevnosť spoja. vpred, aby ste sa stali vaším dlhodobým partnerom v Číne.
Čítaj viacOdoslať dopyt