Loď z karbidu kremíka

Vysoko čistý kremíkový doštičkový čln VeTek Semiconductor je vyrobený z extrémne čistého materiálu karbidu kremíka s vynikajúcou tepelnou stabilitou, mechanickou pevnosťou a chemickou odolnosťou. Loď na doštičky z karbidu kremíka s vysokou čistotou sa používa v aplikáciách horúcej zóny pri výrobe polovodičov, najmä vo vysokoteplotnom prostredí, a hrá dôležitú úlohu pri ochrane doštičiek, preprave materiálov a udržiavaní stabilných procesov. VeTek Semiconductor bude pokračovať v usilovnej práci na inováciách a zlepšovaní výkonu vysokočistého kremíkového doštičkového člna, aby vyhovoval meniacim sa potrebám výroby polovodičov. Tešíme sa, že sa staneme vaším dlhodobým partnerom v Číne.

Odoslať dopyt

Popis produktu

Ako profesionálny výrobca by vám VeTek Semiconductor rád poskytol vysokokvalitný čln z karbidu kremíka.

Vynikajúci tepelný výkon: Vysoko čistý čln z karbidu kremíka VeTek Semiconductor má vynikajúci tepelný výkon, je stabilný vo vysokoteplotnom prostredí a má vynikajúcu tepelnú vodivosť, čo im umožňuje pracovať pri teplotách vysoko nad okolitým prostredím. Vďaka tomu je vysoko čistý čln z karbidu kremíka ideálny pre vysokovýkonné a vysokoteplotné aplikácie.

Vynikajúca odolnosť proti korózii: Čln s vysoko čistým karbidom kremíka je kľúčovým nástrojom na výrobu polovodičov a má silnú odolnosť voči rôznym korozívnym činidlám. Ako spoľahlivý nosič odolá účinkom vysokej teploty a korózie v chemickom prostredí, čím zaisťuje bezpečné a efektívne spracovanie doštičiek z karbidu kremíka. Ako spoľahlivý nosič odolá účinkom vysokej teploty a korózie v chemickom prostredí, čím zaisťuje bezpečné a efektívne spracovanie doštičiek z karbidu kremíka.

Rozmerová integrita: Vysoko čistý kremíkový doštičkový čln sa počas procesu spekania nezmršťuje, zachováva rozmerovú integritu a eliminuje zvyškové napätia, ktoré by mohli spôsobiť deformáciu alebo prasknutie dielov. To umožňuje výrobu tvarovo zložitých dielov s presnými rozmermi. Či už pri výrobe polovodičových zariadení alebo v iných priemyselných oblastiach, vysoko čistý kremíkový doštičkový čln poskytuje spoľahlivú kontrolu rozmerov, aby sa zabezpečilo, že diely spĺňajú špecifikácie.

Ako všestranný nástroj možno vysoko čistý kremíkový doštičkový čln VeTek Semiconductor použiť na rôzne technológie výroby polovodičov, vrátane epitaxného rastu a chemického nanášania pár. Vďaka svojej odolnej konštrukcii a nereaktívnej povahe je čln s oblátkami z karbidu kremíka s vysokou čistotou vhodný pre rôzne chemické procesy spracovania, čo zaisťuje, že sa dokáže hladko prispôsobiť rôznym prostrediam spracovania.

Pri výrobe polovodičov sú epitaxný rast a chemické nanášanie pár bežnými procesnými krokmi používanými na pestovanie vysokokvalitných doštičiek a tenkých vrstiev. Vysoko čistý SiC čln hrá dôležitú úlohu ako nosič, ktorý dokáže odolávať vplyvom vysokých teplôt a chemikálií, aby sa zabezpečili presné rastové a depozičné procesy.

Okrem odolného dizajnu je čln z vysoko čistého SiC tiež nereaktívny. To znamená, že nebude nepriaznivo reagovať so spracovateľskými chemikáliami, čím sa zachová integrita a výkon člna. To poskytuje výrobcom polovodičov spoľahlivý nástroj na zabezpečenie konzistentnosti a opakovateľnosti vo výrobnom procese.

Fyzikálne vlastnosti rekryštalizovaného karbidu kremíka

Fyzikálne vlastnosti rekryštalizovaného karbidu kremíka
Nehnuteľnosť	Typická hodnota
Pracovná teplota (°C)	1600 °C (s kyslíkom), 1700 °C (redukujúce prostredie)
obsah SiC	> 99,96 %
Voľný obsah Si	< 0,1 %
Objemová hmotnosť	2,60-2,70 g/cm3
Zjavná pórovitosť	< 16 %
Pevnosť v tlaku	> 600 MPa
Pevnosť v ohybe za studena	80-90 MPa (20 °C)
Pevnosť v ohybe za tepla	90-100 MPa (1400 °C)
Tepelná rozťažnosť pri 1500°C	4,70 ± 10-6/°C
Tepelná vodivosť pri 1200°C	23 W/m•K
Modul pružnosti	240 GPa
Odolnosť voči tepelným šokom	Extremne dobry