Domov > Produkty > Povlak z karbidu kremíka

Čína Povlak z karbidu kremíka výrobca, dodávateľ, továreň

VeTek Semiconductor sa špecializuje na výrobu ultračistých produktov s povlakom z karbidu kremíka, tieto povlaky sú určené na aplikáciu na čistený grafit, keramiku a žiaruvzdorné kovové komponenty.


Naše vysoko čisté nátery sú primárne určené na použitie v polovodičovom a elektronickom priemysle. Slúžia ako ochranná vrstva pre doštičkové nosiče, susceptory a vyhrievacie prvky a chránia ich pred korozívnym a reaktívnym prostredím, ktoré sa vyskytuje v procesoch ako MOCVD a EPI. Tieto procesy sú neoddeliteľnou súčasťou spracovania plátkov a výroby zariadení. Okrem toho sú naše nátery vhodné pre aplikácie vo vákuových peciach a ohrev vzoriek, kde sa stretávame s vysokým vákuom, reaktívnym a kyslíkovým prostredím.


Vo VeTek Semiconductor ponúkame komplexné riešenie s našimi pokročilými možnosťami strojárskej dielne. To nám umožňuje vyrábať základné komponenty s použitím grafitu, keramiky alebo žiaruvzdorných kovov a nanášať keramické povlaky SiC alebo TaC vo vlastnej réžii. Poskytujeme tiež lakovacie služby pre diely dodané zákazníkom, čím zaisťujeme flexibilitu pri splnení rôznych potrieb.


Naše produkty s povlakom z karbidu kremíka sa široko používajú v epitaxii Si, epitaxii SiC, systéme MOCVD, procese RTP / RTA, procese leptania, procese leptania ICP / PSS, procese rôznych typov LED vrátane modrej a zelenej LED, UV LED a hlbokého UV LED atď., Ktoré sú prispôsobené zariadeniam od LPE, Aixtron, Veeco, Nuflare, TEL, ASM, Annealsys, TSI atď.


Časti reaktora, ktoré vieme urobiť:


Aixtron G5 MOCVD Susceptors


Povlak z karbidu kremíka má niekoľko jedinečných výhod:

Silicon Carbide Coating several unique advantages



Parameter povlaku polovodičového karbidu kremíka VeTek

Základné fyzikálne vlastnosti CVD SiC povlaku
Nehnuteľnosť Typická hodnota
Kryštálová štruktúra FCC β fáza polykryštalická, hlavne (111) orientovaná
Hustota povlaku SiC 3,21 g/cm³
SiC povlak Tvrdosť Tvrdosť 2500 Vickers (záťaž 500g)
Veľkosť zrna 2 ~ 10 μm
Chemická čistota 99,99995 %
Tepelná kapacita 640 J·kg-1·K-1
Teplota sublimácie 2700 ℃
Pevnosť v ohybe 415 MPa RT 4-bod
Youngov modul Ohyb 430 Gpa 4pt, 1300 ℃
Tepelná vodivosť 300 W·m-1·K-1
Tepelná expanzia (CTE) 4,5×10-6K-1

CVD SIC FILM KRIŠTÁĽOVÁ ŠTRUKTÚRA

CVD SIC FILM CRYSTAL STRUCTURE



View as  
 
ICP nosič leptania potiahnutý SiC

ICP nosič leptania potiahnutý SiC

VeTek Semiconductor SiC Coated ICP Etching Carrier je navrhnutý pre najnáročnejšie aplikácie epitaxných zariadení. Náš nosič na leptanie ICP s povlakom SiC, vyrobený z vysoko kvalitného ultračistého grafitového materiálu, má vysoko plochý povrch a vynikajúcu odolnosť proti korózii, aby odolal drsným podmienkam pri manipulácii. Vysoká tepelná vodivosť nosiča potiahnutého SiC zaisťuje rovnomerné rozloženie tepla pre vynikajúce výsledky leptania. VeTek Semiconductor nadviazal dlhodobú spoluprácu s mnohými výrobcami polovodičov. Tešíme sa aj na budovanie dlhodobého partnerstva s vami.

Čítaj viacOdoslať dopyt
PSS leptacia nosná doska pre polovodiče

PSS leptacia nosná doska pre polovodiče

VeTek Semiconductor's PSS Etching Carrier Plate for Semiconductor je vysokokvalitný, ultračistý grafitový nosič určený pre procesy manipulácie s plátkami. Naše nosiče majú vynikajúci výkon a môžu dobre fungovať v drsnom prostredí, vysokých teplotách a drsných podmienkach chemického čistenia. Naše výrobky sú široko používané na mnohých európskych a amerických trhoch a tešíme sa, že sa staneme vaším dlhodobým partnerom v Číne. Srdečne vás pozývame do Číny, aby ste navštívili našu továreň a dozvedeli sa viac o našej technológii a produktoch.

Čítaj viacOdoslať dopyt
Susceptor rýchleho tepelného žíhania

Susceptor rýchleho tepelného žíhania

VeTek Semiconductor je popredný výrobca a dodávateľ susceptorov rýchleho tepelného žíhania v Číne, ktorý sa zameriava na poskytovanie vysokovýkonných riešení pre polovodičový priemysel. Máme dlhoročnú hlbokú technickú akumuláciu v oblasti povlakových materiálov SiC. Náš susceptor rýchleho tepelného žíhania má vynikajúcu odolnosť voči vysokej teplote a vynikajúcu tepelnú vodivosť, aby vyhovoval potrebám epitaxnej výroby plátkov. Ste vítaní na návšteve našej továrne v Číne, kde sa dozviete viac o našej technológii a produktoch.

Čítaj viacOdoslať dopyt
Epitaxný susceptor GaN na báze kremíka

Epitaxný susceptor GaN na báze kremíka

Epitaxný susceptor GaN na báze kremíka je základnou zložkou potrebnou na výrobu epitaxie GaN. VeTek Semiconductor, ako profesionálny výrobca a dodávateľ, sa zaviazal poskytovať vysokokvalitný epitaxný susceptor GaN na báze kremíka. Náš epitaxný susceptor GaN na báze kremíka je navrhnutý pre systémy epitaxných reaktorov GaN na báze kremíka a vyznačuje sa vysokou čistotou, vynikajúcou odolnosťou voči vysokým teplotám a odolnosťou proti korózii. VeTek Semiconductor sa zaväzuje poskytovať kvalitné produkty za konkurencieschopné ceny.

Čítaj viacOdoslať dopyt
8 palcový Halfmoon Part pre LPE reaktor

8 palcový Halfmoon Part pre LPE reaktor

VeTek Semiconductor je popredný výrobca polovodičových zariadení v Číne, ktorý sa zameriava na výskum a vývoj a výrobu 8-palcovej časti Halfmoon pre reaktor LPE. V priebehu rokov sme nazbierali bohaté skúsenosti, najmä v oblasti náterových materiálov SiC, a zaviazali sme sa poskytovať efektívne riešenia prispôsobené pre LPE epitaxné reaktory. Naša 8-palcová časť Halfmoon pre reaktor LPE má vynikajúci výkon a kompatibilitu a je nepostrádateľným kľúčovým komponentom pri epitaxnej výrobe. Vitajte vo svojom dopyte, aby ste sa dozvedeli viac o našich produktoch.

Čítaj viacOdoslať dopyt
Pancake susceptor potiahnutý SiC pre 6'' doštičky LPE PE3061S

Pancake susceptor potiahnutý SiC pre 6'' doštičky LPE PE3061S

Pancake Susceptor potiahnutý SiC pre 6'' doštičky LPE PE3061S je jedným z hlavných komponentov používaných pri spracovaní epitaxných plátkov 6'' plátkov. VeTek Semiconductor je v súčasnosti popredným výrobcom a dodávateľom SiC Coated Pancake Susceptor pre 6'' doštičky LPE PE3061S v ​​Číne. Pancake susceptor potiahnutý SiC, ktorý poskytuje, má vynikajúce vlastnosti, ako je vysoká odolnosť proti korózii, dobrá tepelná vodivosť a dobrá rovnomernosť. Tešíme sa na váš dopyt.

Čítaj viacOdoslať dopyt
Ako profesionálny výrobca a dodávateľ Povlak z karbidu kremíka v Číne máme vlastnú továreň. Či už potrebujete prispôsobené služby, ktoré spĺňajú špecifické potreby vášho regiónu, alebo si chcete kúpiť moderné a odolné Povlak z karbidu kremíka vyrobené v Číne, môžete nám zanechať správu.
X
We use cookies to offer you a better browsing experience, analyze site traffic and personalize content. By using this site, you agree to our use of cookies. Privacy Policy
Reject Accept