VeTek Semiconductor sa špecializuje na výrobu ultračistých produktov s povlakom z karbidu kremíka, tieto povlaky sú určené na aplikáciu na čistený grafit, keramiku a žiaruvzdorné kovové komponenty.
Naše vysoko čisté nátery sú primárne určené na použitie v polovodičovom a elektronickom priemysle. Slúžia ako ochranná vrstva pre doštičkové nosiče, susceptory a vyhrievacie prvky a chránia ich pred korozívnym a reaktívnym prostredím, ktoré sa vyskytuje v procesoch ako MOCVD a EPI. Tieto procesy sú neoddeliteľnou súčasťou spracovania plátkov a výroby zariadení. Okrem toho sú naše nátery vhodné pre aplikácie vo vákuových peciach a ohrev vzoriek, kde sa stretávame s vysokým vákuom, reaktívnym a kyslíkovým prostredím.
Vo VeTek Semiconductor ponúkame komplexné riešenie s našimi pokročilými možnosťami strojárskej dielne. To nám umožňuje vyrábať základné komponenty s použitím grafitu, keramiky alebo žiaruvzdorných kovov a nanášať keramické povlaky SiC alebo TaC vo vlastnej réžii. Poskytujeme tiež lakovacie služby pre diely dodané zákazníkom, čím zaisťujeme flexibilitu pri splnení rôznych potrieb.
Naše produkty s povlakom z karbidu kremíka sa široko používajú v epitaxii Si, epitaxii SiC, systéme MOCVD, procese RTP / RTA, procese leptania, procese leptania ICP / PSS, procese rôznych typov LED vrátane modrej a zelenej LED, UV LED a hlbokého UV LED atď., Ktoré sú prispôsobené zariadeniam od LPE, Aixtron, Veeco, Nuflare, TEL, ASM, Annealsys, TSI atď.
Základné fyzikálne vlastnosti CVD SiC povlaku | |
Nehnuteľnosť | Typická hodnota |
Kryštálová štruktúra | FCC β fáza polykryštalická, hlavne (111) orientovaná |
Hustota | 3,21 g/cm³ |
Tvrdosť | Tvrdosť 2500 Vickers (záťaž 500g) |
Veľkosť zrna | 2 ~ 10 μm |
Chemická čistota | 99,99995 % |
Tepelná kapacita | 640 J·kg-1·K-1 |
Teplota sublimácie | 2700 ℃ |
Pevnosť v ohybe | 415 MPa RT 4-bod |
Youngov modul | Ohyb 430 Gpa 4pt, 1300 ℃ |
Tepelná vodivosť | 300W·m-1·K-1 |
Tepelná expanzia (CTE) | 4,5×10-6K-1 |
Vetek Semiconductor je profesionál vo výrobe CVD SiC povlaku, TaC povlaku na grafite a materiáli z karbidu kremíka. Poskytujeme produkty OEM a ODM, ako je podstavec s povlakom SiC, nosič doštičiek, skľučovadlo na doštičky, podnos nosiča doštičiek, planetárny disk atď. čoskoro od vás.
Čítaj viacOdoslať dopytVetek Semiconductor vyniká v úzkej spolupráci s klientmi pri vytváraní návrhov na mieru pre vstupný krúžok SiC Coating prispôsobený špecifickým potrebám. Tento vstupný krúžok SiC povlaku sú starostlivo navrhnuté pre rôzne aplikácie, ako sú zariadenia CVD SiC a epitaxia karbidu kremíka. Pre prispôsobené riešenia SiC Coating Inlet Ring, neváhajte osloviť Vetek Semiconductor pre personalizovanú pomoc.
Čítaj viacOdoslať dopytVeTek Semiconductor je profesionálny čínsky výrobca a dodávateľ, ktorý vyrába hlavne oporné krúžky potiahnuté SiC, povlaky CVD z karbidu kremíka (SiC), povlaky z karbidu tantalu (TaC), sypké SiC, SiC prášky a materiály SiC s vysokou čistotou. Zaviazali sme sa poskytovať dokonalú technickú podporu a dokonalé produktové riešenia pre polovodičový priemysel, kontaktujte nás.
Čítaj viacOdoslať dopytDoštičkové skľučovadlo Vetek Semiconductor hrá kľúčovú úlohu pri výrobe polovodičov a umožňuje rýchly a vysokokvalitný výstup. Vďaka vlastnej výrobe, konkurenčným cenám a robustnej podpore výskumu a vývoja vyniká Vetek Semiconductor v službách OEM/ODM pre presné komponenty. Tešíme sa na váš dopyt.
Čítaj viacOdoslať dopytProces ALD, znamená proces epitaxie atómovej vrstvy. Výrobcovia systémov Vetek Semiconductor a ALD vyvinuli a vyrobili planetárne susceptory ALD potiahnuté SiC, ktoré spĺňajú vysoké požiadavky procesu ALD na rovnomerné rozloženie prúdu vzduchu po substráte. Vysoko čistý CVD SiC povlak Vetek Semiconductor zároveň zaisťuje čistotu procesu. Vitajte na diskusii o spolupráci s nami.
Čítaj viacOdoslať dopytVetek Semiconductor sa zameriava na výskum, vývoj a industrializáciu CVD SiC povlaku a CVD TaC povlaku. Ak vezmeme ako príklad povlakový susceptor SiC, produkt je vysoko spracovaný s vysokou presnosťou, hustým povlakom CVD SIC, odolnosťou voči vysokej teplote a silnou odolnosťou proti korózii. Dopyt na nás je vítaný.
Čítaj viacOdoslať dopyt