VeTek Semiconductor sa špecializuje na výrobu ultračistých produktov s povlakom z karbidu kremíka, tieto povlaky sú určené na aplikáciu na čistený grafit, keramiku a žiaruvzdorné kovové komponenty.
Naše vysoko čisté nátery sú primárne určené na použitie v polovodičovom a elektronickom priemysle. Slúžia ako ochranná vrstva pre doštičkové nosiče, susceptory a vyhrievacie prvky a chránia ich pred korozívnym a reaktívnym prostredím, ktoré sa vyskytuje v procesoch ako MOCVD a EPI. Tieto procesy sú neoddeliteľnou súčasťou spracovania plátkov a výroby zariadení. Okrem toho sú naše nátery vhodné pre aplikácie vo vákuových peciach a ohrev vzoriek, kde sa stretávame s vysokým vákuom, reaktívnym a kyslíkovým prostredím.
Vo VeTek Semiconductor ponúkame komplexné riešenie s našimi pokročilými možnosťami strojárskej dielne. To nám umožňuje vyrábať základné komponenty s použitím grafitu, keramiky alebo žiaruvzdorných kovov a nanášať keramické povlaky SiC alebo TaC vo vlastnej réžii. Poskytujeme tiež lakovacie služby pre diely dodané zákazníkom, čím zaisťujeme flexibilitu pri splnení rôznych potrieb.
Naše produkty s povlakom z karbidu kremíka sa široko používajú v epitaxii Si, epitaxii SiC, systéme MOCVD, procese RTP / RTA, procese leptania, procese leptania ICP / PSS, procese rôznych typov LED vrátane modrej a zelenej LED, UV LED a hlbokého UV LED atď., Ktoré sú prispôsobené zariadeniam od LPE, Aixtron, Veeco, Nuflare, TEL, ASM, Annealsys, TSI atď.
Základné fyzikálne vlastnosti CVD SiC povlaku | |
Nehnuteľnosť | Typická hodnota |
Kryštálová štruktúra | FCC β fáza polykryštalická, hlavne (111) orientovaná |
Hustota | 3,21 g/cm³ |
Tvrdosť | Tvrdosť 2500 Vickers (záťaž 500g) |
Veľkosť zrna | 2 ~ 10 μm |
Chemická čistota | 99,99995 % |
Tepelná kapacita | 640 J·kg-1·K-1 |
Teplota sublimácie | 2700 ℃ |
Pevnosť v ohybe | 415 MPa RT 4-bod |
Youngov modul | Ohyb 430 Gpa 4pt, 1300 ℃ |
Tepelná vodivosť | 300W·m-1·K-1 |
Tepelná expanzia (CTE) | 4,5×10-6K-1 |
Ako profesionálny výrobca a dodávateľ nosičov doštičiek SiC v Číne sa nosiče povlakov SiC spoločnosti Vetek Semiconductor používajú hlavne na zlepšenie rovnomernosti rastu epitaxnej vrstvy, čím sa zabezpečuje ich stabilita a integrita vo vysokoteplotnom a korozívnom prostredí. Tešíme sa na váš dopyt.
Čítaj viacOdoslať dopytVeTek Semiconductor je profesionálny výrobca ALD Susceptor, CVD SiC povlak, CVD TAC COATING grafitový základ v Číne. Vetek Semiconductor spoločne vyvinuli a vyrobili planétové základne ALD potiahnuté SiC s výrobcami systémov ALD, aby splnili vysoké požiadavky procesu ALD a rovnomerne rozložili prúd vzduchu na substrát. Tešíme sa na ďalšiu spoluprácu s Vami.
Čítaj viacOdoslať dopytAko profesionálny výrobca a dodávateľ stropov potiahnutých CVD SiC v Číne má strop potiahnutý CVD SiC od VeTek Semiconductor vynikajúce vlastnosti, ako je odolnosť voči vysokej teplote, odolnosť proti korózii, vysoká tvrdosť a nízky koeficient tepelnej rozťažnosti, čo z neho robí ideálnu voľbu materiálu pri výrobe polovodičov. Tešíme sa na ďalšiu spoluprácu s Vami.
Čítaj viacOdoslať dopytVeTek Semiconductor je profesionálny výrobca MOCVD LED Epi Susceptor, ALD Planetary Susceptor, TaC Coated Graphite Susceptor v Číne. VeTek Semiconductor MOCVD LED Epi Susceptor je navrhnutý pre náročné aplikácie epitaxných zariadení. Jeho vysoká tepelná vodivosť, chemická stabilita a odolnosť sú kľúčovými faktormi na zabezpečenie stabilného procesu epitaxného rastu a vysokokvalitnej výroby polovodičového filmu. Tešíme sa na ďalšiu spoluprácu s Vami.
Čítaj viacOdoslať dopytAko profesionálny výrobca a dodávateľ ALD susceptora s povlakom SiC v Číne je susceptor ALD povlaku SiC spoločnosti VeTek Semiconductor podporným komponentom špecificky používaným v procese nanášania atómovej vrstvy (ALD). Hrá kľúčovú úlohu v zariadení ALD, pričom zabezpečuje jednotnosť a presnosť procesu nanášania. Veríme, že naše produkty ALD Planetary Susceptor vám môžu priniesť vysokokvalitné produktové riešenia.
Čítaj viacOdoslať dopytVeTek Semiconductor je popredný výrobca, inovátor a líder produktov SiC Coating Epi Susceptor v Číne. Po mnoho rokov sa zameriavame na rôzne produkty SiC Coating, ako je SiC Coating Epi Susceptor, SiC Coating Wafer Carrier, SiC Coating Susceptor, SiC povlak ALD susceptor, atď. VeTek Semiconductor sa zaviazal poskytovať pokročilé technológie a produktové riešenia pre polovodiče priemyslu. Vítam vašu ďalšiu konzultáciu.
Čítaj viacOdoslať dopyt