Ohrievač VEECO MOCVD

Ohrievač VEECO MOCVD spoločnosti VeTeksemi je vyrobený z vysoko čistého grafitového materiálu s obsahom nečistôt prísne kontrolovaným pod 5 ppm a potiahnutý karbidom kremíka s ultra vysokou čistotou (SiC) s čistotou viac ako 99,99995 % prostredníctvomproces chemickej depozície z pár (CVD).. Táto kombinácia materiálov dáva ohrievaču rad kľúčových vlastností, ktoré zaisťujú jeho vynikajúci výkon vkovové organické chemické vylučovanie z plynnej fázy (MOCVD)proces.

Jednou z vynikajúcich vlastností ohrievača VEECO MOCVD je jeho mimoriadna chemická čistota. Grafitové jadro s vysokou čistotou výrazne znižuje potenciálne zanesenie kontaminantov do procesu pri vysokej teplote a zaisťuje proces ultračistého nanášania filmu. TheCVD SiC povlakposkytuje dodatočnú ochranu ohrievača a vytvára silnú bariéru, ktorá zabraňuje chemickým reakciám, ktoré môžu poškodiť kvalitu filmu. Táto bezkonkurenčná čistota je nevyhnutná pre výrobu vysokovýkonných a spoľahlivých polovodičových zariadení.

Súčasne ohrievač vykazuje extrémne vysokú tepelnú stabilitu a účinnosť. SiC má vysoký bod topenia a vynikajúcu tepelnú vodivosť, čo umožňuje ohrievaču efektívne riadiť a viesť teplo. To zaisťuje rovnomerné zahrievanie naprieč substrátom, čo zase pomáha dosiahnuť rovnomerné ukladanie filmu a znižuje chyby spôsobené teplotnými gradientmi. Takáto tepelná účinnosť je obzvlášť dôležitá pre presnú výrobu.

Ohrievač VEECO MOCVD vyniká aj elektrickým výkonom. Jeho vysoko čisté grafitové jadro má vynikajúcu elektrickú vodivosť, čo umožňuje ohrievaču zvládnuť vysoké požiadavky na elektrickú záťaž. Tento stabilný elektrický výkon umožňuje ohrievaču udržiavať presnú reguláciu teploty a rýchlosť vylučovania pri vysokom zaťažení, čo je rozhodujúce pre zabezpečenie konzistentných podmienok procesu a zlepšenie efektívnosti výroby polovodičov.

Povrchová úprava ohrievača bola starostlivo optimalizovaná, aby mala vysokú emisivitu substrátu, čo výrazne zlepšuje účinnosť prenosu tepla sálaním. Schopnosť rovnomerného ohrevu je kľúčovým faktorom na zabezpečenie konzistentnej hrúbky a vlastností nanášania filmu. Dizajn povrchu s vysokou emisivitou tiež zlepšuje celkovú tepelnú účinnosť ohrievača, čím znižuje spotrebu energie a prevádzkové náklady.

Pokiaľ ide o životnosť, ohrievač VEECO MOCVD spoločnosti VeTeksemi vykazuje vynikajúcu odolnosť proti korózii, odolnosť proti oxidácii a mechanickú pevnosť. CVD SiC povlak poskytuje pevnú bariéru voči korozívnym plynom a chemikáliám bežným v procesoch MOCVD, čím predlžuje životnosť zariadenia a znižuje potrebu údržby a nákladov na výmenu. Jeho odolnosť proti oxidácii zaisťuje, že ohrievač zostáva stabilný pri vysokých teplotách bez zhoršenia výkonu, čím je zaistená dlhodobá stabilita.

Okrem toho vysoká mechanická pevnosť ohrievača MOCVD od VeTeksemi mu umožňuje odolať fyzikálnemu namáhaniu vznikajúcemu počas tepelných cyklov a manipulácie so substrátom. Jeho robustnosť znižuje riziko mechanického zlyhania a zaisťuje spoľahlivú prevádzku zariadenia v náročných procesných podmienkach.

Ako pokročilý výrobca a dodávateľ vykurovacích produktov VEECO MOCVD poskytuje VeTeksemi aj rôzne vysokokvalitné vykurovacie produkty ako napr.Ohrievač povlaku TaC, keramický povlak z karbidu kremíka grafitový ohrievač, keramický ohrievač z karbidu kremíka, atď. VeTek Semiconductor sa zaviazal poskytovať pokročilé a prispôsobiteľné technológie a riešenia produktov pre polovodičový priemysel. Úprimne dúfame, že budeme vaším dlhodobým partnerom v Číne.