keramický ohrievač z karbidu kremíka

Semiconductor VeTekOhrievač keramického povlaku z karbidu kremíka je ohrievač navrhnutý pre vysoké teploty a drsné prostredia. Poťahuje vrstvu kremíkového uhlíkového keramického povlaku (SiC) na povrchu vykurovacieho telesa, čím poskytuje zariadeniu vynikajúcu tepelnú odolnosť, odolnosť proti korózii a tepelnú vodivosť. 

Ohrievač keramického povlaku z karbidu kremíkasa používa hlavne vo vákuových poťahovacích (odparovacích) zariadeniach. Bežne používané metódy sú PCD (Plasma Chemical Drying) a PVD (Physical vapor deposition), ktoré sa široko používajú pri výrobe polovodičov a iných priemyselných aplikáciách s vysokým dopytom.

V kombinácii s vysokovýkonným dizajnom povlaku keramického ohrievača z karbidu kremíka,môže poskytnúť vynikajúce riešenie vykurovania pre vysokoteplotné procesy.

Výborná tepelná vodivosť: Materiál SiC má vynikajúcu tepelnú vodivosť, čo zaisťuje, že ohrievač môže dosiahnuť rovnomerné rozloženie tepla v pracovnej oblasti a znížiť teplotné gradienty.

Zabezpečte rovnomerné rozloženie tepla: Ohrievač keramického povlaku z karbidu kremíka využíva vysokú tepelnú vodivosť materiálu SiC na dosiahnutie rovnomerného rozloženia teploty v celej oblasti ohrevu. To je rozhodujúce pre zabezpečenie rovnomerného tepelného spracovania polovodičových doštičiek v rôznych vysokoteplotných procesoch, ako je rýchle tepelné spracovanie (RTP), difúzia a oxidácia, čím sa zabráni defektom produktu spôsobeným lokálnym prehriatím alebo nerovnomernou teplotou.

Tolerancia vysokej teploty: Povlak SiC umožňuje ohrievaču odolávať extrémne vysokým teplotám, typicky až do 1600 °C, vhodné pre rôzne vysokoteplotné procesy spracovania.

Zlepšite tepelnú odolnosť: Because the coating can withstand extremely high temperatures, it performs well in processes that require long-term high-temperature operation. For example, in chemical vapor deposition (CVD) processes, Silicon Carbide Ceramic Coating Heater can ensure long-term stable operation of the equipment at high temperatures and maintain consistent heating performance, thereby improving process repeatability and reliability.

Chemická odolnosť proti korózii: Povlak SiC má extrémne vysokú odolnosť voči kyselinám, zásadám a korozívnym plynom a môže zostať stabilný po dlhú dobu v prostredí komplexnej chemickej atmosféry, čím sa predlžuje životnosť zariadenia. 

Predĺženie životnosti zariadenia: Povlak SiC má vynikajúcu odolnosť proti oxidácii a korózii a môže účinne odolávať chemickej erózii a oxidácii pri vysokých teplotách. To je veľmi dôležité v procese výroby polovodičov, najmä v prostredí, ktoré spracováva korozívne plyny a chemikálie. Ochranný účinok náteru môže výrazne predĺžiť životnosť ohrievača a znížiť frekvenciu výmeny zariadení a nákladov na údržbu.

Základné fyzikálne vlastnosti keramického ohrievača z karbidu kremíka:

Obchody s keramickým povlakom z karbidu kremíka Semiconductor VeTek:

Prehľad priemyselného reťazca epitaxie polovodičových čipov VeTek: