Nosič plátkov z vysoko čistého karbidu kremíka

VeTek Semiconductor High Pure Silicon Carbide Wafer Carrier sú dôležitými komponentmi pri spracovaní polovodičov, ktoré sú určené na bezpečné držanie a prepravu jemných kremíkových plátkov, ktoré zohrávajú kľúčovú úlohu vo všetkých fázach výroby. Nosiče doštičiek z vysoko čistého karbidu kremíka od VeTek Semiconductor sú starostlivo navrhnuté a vyrobené tak, aby zabezpečili vynikajúci výkon a spoľahlivosť. VeTek Semiconductor je odhodlaný poskytovať kvalitné produkty za konkurencieschopné ceny a tešíme sa, že budeme vaším dlhodobým partnerom v Číne.

Odoslať dopyt

Popis produktu

VeTek Semiconductor je profesionálny líder v Číne, výrobca nosičov doštičiek z vysoko čistého karbidu kremíka s vysokou kvalitou a rozumnou cenou. Vitajte a kontaktujte nás.

Nosič plátkov z vysoko čistého karbidu kremíka VeTek Semiconductor je nosič navrhnutý pre viacero plátkov na maximalizáciu priestorovej efektívnosti v procesnej komore. Tieto nosiče doštičiek z karbidu kremíka s vysokou čistotou sú zvyčajne pravouhlé alebo valcové a každý nosič má presne opracované štrbiny alebo drážky, ktoré sú od seba oddelené, aby pevne držali jeden plátok vo vertikálnej polohe. Nosič plátkov z vysoko čistého karbidu kremíka má vynikajúcu odolnosť voči vysokým teplotám, korozívnym chemikáliám a mechanickému namáhaniu, vďaka čomu sú ideálne na ochranu plátkov pred potenciálnym poškodením. Sú vyrobené z vysoko čistého karbidu kremíka (SiC), aby sa zabezpečila integrita a bezpečnosť doštičiek počas spracovania.

Nosiče plátkov s vysokým čistým karbidom kremíka hrajú dôležitú úlohu v zložitých procesoch, ako je difúzia, RTP a tepelné polia, slúžia ako stabilný nosič plátkov na dosiahnutie bezproblémového prenosu medzi rôznymi zariadeniami a stupňami. Jeho vertikálna štruktúra minimalizuje podlahový priestor v procesnej komore, optimalizuje výrobnú kapacitu a dokáže efektívne spracovať veľké dávky doštičiek. Nosiče plátkov z vysoko čistého karbidu kremíka sú známe svojou vynikajúcou odolnosťou voči vysokým teplotám, korózii a mechanickej pevnosti, aby chránili plátky pred potenciálnym poškodením.

VeTek Semiconductor's High Pure Silicon Carbide Wafer Carrier je vyrobený z vysoko čistého karbidu kremíka (SiC) a má vynikajúcu odolnosť voči vysokej teplote, chemickú koróziu a mechanickú pevnosť na ochranu integrity doštičiek v drsnom prostredí. Jeho starostlivo navrhnutá štruktúra a presne spracované štrbiny zaisťujú, že doštičky sú pevne umiestnené tak, aby vyhovovali potrebám vysoko presného spracovania.

VeTek Semiconductor sa zaviazal poskytovať zákazníkom vysokokvalitné produkty a spoľahlivú technickú podporu. Či už pri raste plátkov, difúzii, ukladaní tenkých vrstiev alebo iných kritických procesoch, nosič plátkov z vysoko čistého karbidu kremíka VeTek Semiconductor môže hrať dôležitú úlohu pri zabezpečovaní stability a konzistentnosti výrobného procesu. Tešíme sa, že sa staneme vaším dlhodobým partnerom v Číne.

Produktový parameter nosiča plátkov z vysoko čistého karbidu kremíka

Fyzikálne vlastnosti rekryštalizovaného karbidu kremíka
Nehnuteľnosť	Typická hodnota
Pracovná teplota (°C)	1600 °C (s kyslíkom), 1700 °C (redukujúce prostredie)
obsah SiC	> 99,96 %
Voľný obsah Si	< 0,1 %
Objemová hmotnosť	2,60-2,70 g/cm3
Zjavná pórovitosť	< 16 %
Pevnosť v tlaku	> 600 MPa
Pevnosť v ohybe za studena	80-90 MPa (20 °C)
Pevnosť v ohybe za tepla	90-100 MPa (1400 °C)
Tepelná rozťažnosť pri 1500°C	4,70 ± 10-6/°C
Tepelná vodivosť pri 1200°C	23 W/m•K
Modul pružnosti	240 GPa
Odolnosť voči tepelným šokom	Extremne dobry