Konzolové pádlo z karbidu kremíka

Konzolová lopatka z karbidu kremíka VeTek Semiconductor je dôležitou súčasťou v procese výroby polovodičov, obzvlášť vhodná pre difúzne pece alebo pece LPCVD vo vysokoteplotných procesoch, ako je difúzia a RTP. Naša konzolová lopatka z karbidu kremíka je starostlivo navrhnutá a vyrobená s vynikajúcou odolnosťou voči vysokým teplotám a mechanickou pevnosťou a môže bezpečne a spoľahlivo prepravovať doštičky do procesnej trubice v náročných procesných podmienkach pre rôzne vysokoteplotné procesy, ako je difúzia a RTP. Tešíme sa, že sa staneme vaším dlhodobým partnerom v Číne.

Odoslať dopyt

Popis produktu

Môžete si byť istí, že si kúpite prispôsobené konzolové pádlo z karbidu kremíka od VeTek Semiconducto. Tešíme sa na spoluprácu, ak chcete vedieť viac, môžete sa s nami poradiť už teraz, včas vám odpovieme!

Konzolová pádla z karbidu kremíka VeTek Semiconductor je vyrobená z vysoko čistého karbidu kremíka a má vynikajúcu odolnosť voči vysokým teplotám a mechanickú pevnosť. Je nepostrádateľným kľúčovým komponentom v procese výroby polovodičov, najmä v difúznych alebo LPCVD peciach a RTP procesoch. Precízny dizajn a výroba konzolovej lopatky z karbidu kremíka zaisťuje bezpečné umiestnenie a prenos doštičiek, aby sa splnili požiadavky na vysoko presný proces.

VeTek Semiconductor's Silicon Carbide Cantilever Paddle je vyrobená z karbidu kremíka ako hlavného materiálu. Karbid kremíka sa vyznačuje vysokou pevnosťou a dobrou tepelnou stabilitou, takže môže vydržať drsné podmienky vo vysokoteplotnom procesnom prostredí polovodičových pecí. Jedným z dôvodov výberu karbidu kremíka je, že sa dokáže prispôsobiť vysokoteplotnému prostrediu v polovodičových peciach.

Konštrukcia konzolovej lopatky z karbidu kremíka umožňuje jej predĺženie do procesnej rúrky v peci a pevné upevnenie na jednom konci mimo rúrky. Táto konštrukcia zaisťuje, že spracovávaný plátok zostáva stabilný a podporovaný počas procesu a minimalizuje interferenciu s tepelným prostredím v peci.

VeTek Semiconductor sa zaviazal poskytovať vysokokvalitné produkty konzolových pádlov SiC. Naše produkty sú starostlivo navrhnuté a vyrobené tak, aby spĺňali prísne požiadavky procesu výroby polovodičov. Vynikajúci výkon a spoľahlivosť konzolového pádla z karbidu kremíka z neho robí nenahraditeľný kľúčový komponent v polovodičovom priemysle. VeTek Semiconductor je odhodlaný poskytovať kvalitné produkty za konkurencieschopné ceny a tešíme sa, že sa staneme vaším dlhodobým partnerom v Číne.

Parametre produktu konzolového pádla z karbidu kremíka

Fyzikálne vlastnosti rekryštalizovaného karbidu kremíka
Nehnuteľnosť	Typická hodnota
Pracovná teplota (°C)	1600 °C (s kyslíkom), 1700 °C (redukujúce prostredie)
obsah SiC	> 99,96 %
Voľný obsah Si	< 0,1 %
Objemová hmotnosť	2,60-2,70 g/cm3
Zjavná pórovitosť	< 16 %
Pevnosť v tlaku	> 600 MPa
Pevnosť v ohybe za studena	80-90 MPa (20 °C)
Pevnosť v ohybe za tepla	90-100 MPa (1400 °C)
Tepelná rozťažnosť pri 1500°C	4,70 ± 10-6/°C
Tepelná vodivosť pri 1200°C	23 W/m•K
Modul pružnosti	240 GPa
Odolnosť voči tepelným šokom	Extremne dobry