VeTek Semiconductor je profesionálny výrobca a dodávateľ v Číne pre čln z karbidu kremíka pre horizontálnu pec, s dlhoročnými skúsenosťami v oblasti výskumu a vývoja a výroby, dokáže dobre kontrolovať kvalitu a ponúka konkurencieschopnú cenu. Môžete si byť istí, že si od nás kúpite doštičkový čln z karbidu kremíka pre horizontálnu pec.
Vysoko kvalitný čln z karbidu kremíka pre horizontálnu pec ponúka čínsky výrobca VeTek Semiconductor. Kúpte si doštičkový čln z karbidu kremíka pre horizontálnu pec, ktorý je vysoko kvalitný priamo z výroby s nízkou cenou. Loď z karbidu kremíka pre horizontálnu pec sa používa v rúrach pecí na nakladanie a prenášanie plátkov pri vysokoteplotnom spracovaní. Vďaka vynikajúcim vlastnostiam materiálov z karbidu kremíka, ako je odolnosť voči vysokej teplote, odolnosť proti chemickej korózii a tepelná stabilita, sú široko používané v rôznych procesoch tepelného spracovania, ako je difúzia, oxidácia, CVD a žíhanie.
1. Vysoká tvrdosť a odolnosť proti opotrebovaniu: Karbid kremíka má tvrdosť na druhom mieste po diamante, vďaka čomu je vysoko odolný voči opotrebovaniu. To umožňuje lodiam z karbidu kremíka odolávať opakovaným mechanickým nárazom a treniu, čím sa predlžuje ich životnosť.
2. Odolnosť voči vysokej teplote: Karbid kremíka má bod topenia 2730 °C, vďaka čomu sú člny z karbidu kremíka vhodné pre vysokoteplotné prostredia a rôzne procesy výroby polovodičov, ako je napríklad vysokoteplotná oxidácia a difúzia.
3. Nízky koeficient tepelnej rozťažnosti: Karbid kremíka má nízky koeficient tepelnej rozťažnosti, ktorý pomáha udržiavať rozmerovú stabilitu pri vysokých teplotách, zabraňuje deformácii člna a ovplyvňuje presnosť spracovania plátkov.
4. Dobrá chemická stabilita: Karbid kremíka je odolný voči väčšine chemikálií a nereaguje s bežnými kyslými a alkalickými roztokmi, čím zaisťuje bezpečnosť a čistotu doštičiek.
Môžeme vyrobiť rôzne typy člnov z karbidu kremíka, ako sú horizontálne plátkové člny, vertikálne plátkové člny a akékoľvek iné prispôsobené člny.
Fyzikálne vlastnosti rekryštalizovaného karbidu kremíka | |
Nehnuteľnosť | Typická hodnota |
Pracovná teplota (°C) | 1600 °C (s kyslíkom), 1700 °C (redukujúce prostredie) |
obsah SiC | > 99,96 % |
Voľný obsah Si | < 0,1 % |
Objemová hmotnosť | 2,60-2,70 g/cm3 |
Zjavná pórovitosť | < 16 % |
Pevnosť v tlaku | > 600 MPa |
Pevnosť v ohybe za studena | 80-90 MPa (20 °C) |
Pevnosť v ohybe za tepla | 90-100 MPa (1400 °C) |
Tepelná rozťažnosť pri 1500°C | 4,70 ± 10-6/°C |
Tepelná vodivosť pri 1200°C | 23 W/m•K |
Modul pružnosti | 240 GPa |
Odolnosť voči tepelným šokom | Extremne dobry |
Lodička z karbidu kremíka pre horizontálne pece nachádza široké uplatnenie v polovodičovom a fotovoltaickom priemysle:
Čistenie a leptanie plátkov
Difúzia a oxidácia
Galvanické pokovovanie a leptanie
Chemické mechanické leštenie (CMP)
Tepelné spracovanie
Prenos a skladovanie oblátok