Loď z karbidu kremíka s povlakom SiC

VeTek Semiconductor je profesionálny výrobca a dodávateľ v Číne pre čln z karbidu kremíka potiahnutý SiC, s dlhoročnými skúsenosťami v oblasti výskumu a vývoja a výroby, môže dobre kontrolovať kvalitu a ponúkať konkurencieschopnú cenu. Vitajte na návšteve našej továrne a máte ďalšiu diskusiu o spolupráci.

Odoslať dopyt

Popis produktu

VeTek Semiconductor je čínsky výrobca a dodávateľ, ktorý vyrába hlavne SiC potiahnutý kremíkový karbidový čln s dlhoročnými skúsenosťami. Dúfam, že s vami vybudujeme obchodný vzťah. Loď na doštičky z karbidu kremíka potiahnutá SiC sa používa v polovodičových difúznych peciach na prenášanie doštičiek pre rôzne vysokoteplotné procesy, ako je implantácia iónov, difúzia a žíhanie. Môže poskytnúť stabilné prostredie pre oblátky, čím sa zabezpečí rovnomernosť teploty a konzistencia počas spracovania.

Lodičky z karbidu kremíka s povlakom SiC majú vyššiu tepelnú odolnosť a chemickú stabilitu, čo im umožňuje pracovať pri vyšších teplotách a poskytovať dlhšiu životnosť. Okrem toho majú nižšie rýchlosti odparovania materiálu a rýchlosti adsorpcie plynu, čo pomáha znižovať vplyv nečistôt na spracovanie plátkov.

Môžeme vyrobiť rôzne typy člnov z karbidu kremíka, ako sú horizontálne plátkové člny, vertikálne plátkové člny a akékoľvek iné prispôsobené člny.

Výhody nášho karbidu kremíka s vysokou čistotou:

1.Vysokoteplotná stabilita

2. Chemická inertnosť

3. Nízky obsah nečistôt

4. Tepelná vodivosť

Fyzikálne vlastnosti rekryštalizovaného karbidu kremíka

Fyzikálne vlastnosti rekryštalizovaného karbidu kremíka
Nehnuteľnosť	Typická hodnota
Pracovná teplota (°C)	1600 °C (s kyslíkom), 1700 °C (redukujúce prostredie)
obsah SiC	> 99,96 %
Voľný obsah Si	< 0,1 %
Objemová hmotnosť	2,60-2,70 g/cm3
Zjavná pórovitosť	< 16 %
Pevnosť v tlaku	> 600 MPa
Pevnosť v ohybe za studena	80-90 MPa (20 °C)
Pevnosť v ohybe za tepla	90-100 MPa (1400 °C)
Tepelná rozťažnosť pri 1500°C	4,70 ± 10-6/°C
Tepelná vodivosť pri 1200°C	23 W/m•K
Modul pružnosti	240 GPa
Odolnosť voči tepelným šokom	Extremne dobry