VeTek Semiconductor sa špecializuje na výrobu ultračistých produktov s povlakom z karbidu kremíka, tieto povlaky sú určené na aplikáciu na čistený grafit, keramiku a žiaruvzdorné kovové komponenty.
Naše vysoko čisté nátery sú primárne určené na použitie v polovodičovom a elektronickom priemysle. Slúžia ako ochranná vrstva pre doštičkové nosiče, susceptory a vyhrievacie prvky a chránia ich pred korozívnym a reaktívnym prostredím, ktoré sa vyskytuje v procesoch ako MOCVD a EPI. Tieto procesy sú neoddeliteľnou súčasťou spracovania plátkov a výroby zariadení. Okrem toho sú naše nátery vhodné pre aplikácie vo vákuových peciach a ohrev vzoriek, kde sa stretávame s vysokým vákuom, reaktívnym a kyslíkovým prostredím.
Vo VeTek Semiconductor ponúkame komplexné riešenie s našimi pokročilými možnosťami strojárskej dielne. To nám umožňuje vyrábať základné komponenty s použitím grafitu, keramiky alebo žiaruvzdorných kovov a nanášať keramické povlaky SiC alebo TaC vo vlastnej réžii. Poskytujeme tiež lakovacie služby pre diely dodané zákazníkom, čím zaisťujeme flexibilitu pri splnení rôznych potrieb.
Naše produkty s povlakom z karbidu kremíka sa široko používajú v epitaxii Si, epitaxii SiC, systéme MOCVD, procese RTP / RTA, procese leptania, procese leptania ICP / PSS, procese rôznych typov LED vrátane modrej a zelenej LED, UV LED a hlbokého UV LED atď., Ktoré sú prispôsobené zariadeniam od LPE, Aixtron, Veeco, Nuflare, TEL, ASM, Annealsys, TSI atď.
Základné fyzikálne vlastnosti CVD SiC povlaku | |
Nehnuteľnosť | Typická hodnota |
Kryštálová štruktúra | FCC β fáza polykryštalická, hlavne (111) orientovaná |
Hustota | 3,21 g/cm³ |
Tvrdosť | Tvrdosť 2500 Vickers (záťaž 500g) |
Veľkosť zrna | 2 ~ 10 μm |
Chemická čistota | 99,99995 % |
Tepelná kapacita | 640 J·kg-1·K-1 |
Teplota sublimácie | 2700 ℃ |
Pevnosť v ohybe | 415 MPa RT 4-bod |
Youngov modul | Ohyb 430 Gpa 4pt, 1300 ℃ |
Tepelná vodivosť | 300W·m-1·K-1 |
Tepelná expanzia (CTE) | 4,5×10-6K-1 |
Ako popredný výrobca a dodávateľ produktov skľučovadla z karbidu kremíka v Číne hrá skľučovadlo z karbidu kremíka spoločnosti VeTek nenahraditeľnú úlohu v procese epitaxného rastu vďaka svojej vynikajúcej odolnosti voči vysokej teplote, odolnosti voči chemickej korózii a odolnosti voči tepelným šokom. Vítam vašu ďalšiu konzultáciu.
Čítaj viacOdoslať dopytVeTek Semiconductor je popredný výrobca a dodávateľ sprchových hlavíc z karbidu kremíka v Číne. Sprchová hlavica SiC má vynikajúcu toleranciu vysokej teploty, chemickú stabilitu, tepelnú vodivosť a dobrý výkon pri distribúcii plynu, čo môže dosiahnuť rovnomernú distribúciu plynu a zlepšiť kvalitu filmu. Preto sa zvyčajne používa pri vysokoteplotných procesoch, ako je chemické vylučovanie z plynnej fázy (CVD) alebo fyzikálne vylučovanie z plynnej fázy (PVD). Vítam vašu ďalšiu konzultáciu.
Čítaj viacOdoslať dopytAko profesionálny výrobca a továreň na tesniace krúžky z karbidu kremíka v Číne je tesniaci krúžok z karbidu kremíka VeTek široko používaný v zariadeniach na spracovanie polovodičov vďaka svojej vynikajúcej tepelnej odolnosti, odolnosti proti korózii, mechanickej pevnosti a tepelnej vodivosti. Je obzvlášť vhodný pre procesy zahŕňajúce vysokoteplotné a reaktívne plyny, ako je CVD, PVD a plazmové leptanie, a je kľúčovou voľbou materiálu v procese výroby polovodičov. Vaše ďalšie otázky sú vítané.
Čítaj viacOdoslať dopytVeTek Semiconductor je profesionálny výrobca a líder produktov držiakov doštičiek potiahnutých SiC v Číne. Držiak plátku potiahnutý SiC je držiak plátku pre proces epitaxie pri spracovaní polovodičov. Je to nenahraditeľné zariadenie, ktoré stabilizuje oblátku a zabezpečuje rovnomerný rast epitaxnej vrstvy. Vítam vašu ďalšiu konzultáciu.
Čítaj viacOdoslať dopytVeTek Semiconductor je profesionálny výrobca a továreň Epi Wafer Holder v Číne. Epi Wafer Holder je držiak doštičiek pre proces epitaxie pri spracovaní polovodičov. Je to kľúčový nástroj na stabilizáciu plátku a zabezpečenie rovnomerného rastu epitaxnej vrstvy. Je široko používaný v epitaxných zariadeniach, ako sú MOCVD a LPCVD. Je to nenahraditeľné zariadenie v procese epitaxie. Vítam vašu ďalšiu konzultáciu.
Čítaj viacOdoslať dopytAko profesionálny výrobca a inovátor Aixtron Satellite Wafer Carrier v Číne, VeTek Semiconductor's Aixtron Satellite Wafer Carrier je nosič plátkov používaný v zariadeniach AIXTRON, ktorý sa používa hlavne v procesoch MOCVD pri spracovaní polovodičov a je vhodný najmä pre vysokoteplotné a vysoko presné procesy spracovania polovodičov. Nosič môže poskytnúť stabilnú podporu plátku a rovnomerné ukladanie filmu počas epitaxného rastu MOCVD, čo je nevyhnutné pre proces ukladania vrstvy. Vítam vašu ďalšiu konzultáciu.
Čítaj viacOdoslať dopyt